示教器及其操作方法、计算装置和计算机可读介质

    公开(公告)号:CN109841140A

    公开(公告)日:2019-06-04

    申请号:CN201711219015.7

    申请日:2017-11-28

    摘要: 本发明涉及机械自动化技术领域,公开了一种示教器及其操作方法、计算装置和计算机可读介质;其中,示教器操作方法,包括以下步骤:实时检测示教器屏幕前方设定范围内是否有人脸;当检测到人脸时,点亮屏幕。本发明实施例提供的示教器操作方法中,示教器可以自动检测其屏幕前方是否存在人脸,如果检测到人脸,即判断示教器前方有人,则屏幕自动点亮,以便于人员进行操作;因此,该示教器无需处于常亮状态,可以根据实际环境和需求自动点亮,从而可以节省能耗,延长显示屏幕使用寿命,并且该示教器的点亮操作完全自动化,可以提高用户体验。

    一种绑定设备及其控制方法

    公开(公告)号:CN112654229A

    公开(公告)日:2021-04-13

    申请号:CN202011534830.4

    申请日:2020-12-22

    IPC分类号: H05K13/04

    摘要: 本发明公开一种绑定设备及其控制方法,涉及微电子加工设备领域,旨在解决绑定设备在高频运动过程中引起的内部振动影响绑定精度的问题。该绑定设备包括:第一直线导轨,设置于基座上;主运动平台,设置于第一直线导轨上;第一驱动装置,用于驱动主运动平台运动;第二直线导轨,设置于主运动平台上,且与第一直线导轨同向设置;工作末端,设置于第二直线导轨上,工作末端的整体质量小于主运动平台的整体质量;第二驱动装置,用于驱动工作末端运动;控制装置,分别与第一驱动装置和第二驱动装置连接,用于控制主运动平台在第一直线导轨上运动,并控制工作末端在第二直线导轨上做往复运动。本发明用于微电子装备的加工。

    一种原点标定系统及方法

    公开(公告)号:CN109483549B

    公开(公告)日:2020-10-27

    申请号:CN201811591838.7

    申请日:2018-12-25

    IPC分类号: B25J9/16

    摘要: 本发明提供了一种原点标定系统,应用于自动化设备中,自动化设备包括关节基座、关节运动部、及用于驱动关节运动部运动的电机,该原点标定系统包括编码器、标定部件、原点传感器和控制器,其中,编码器安装于电机上,用于记录关节运动部的位置;当关节运动部相对于关节基座运动至标定部件与原点传感器对准时,原点传感器输出触发信号;控制器与原点传感器和编码器相连,用于接收原点传感器所输出的触发信号,并在开始接收到触发信号时获取编码器当前时刻的编码器值,根据所获取的编码器值确定原点所对应的编码器值。上述系统用于实现机器人等自动化设备原点的全自动标定,并提高标定精度,降低误差。

    一种转移设备、方法、装置、电子设备及介质

    公开(公告)号:CN113539915A

    公开(公告)日:2021-10-22

    申请号:CN202110737207.7

    申请日:2021-06-30

    IPC分类号: H01L21/677 H01L27/12

    摘要: 本发明提供了一种转移设备、方法、装置、电子设备及介质,所述方法包括:基于两个转移执行器的设备坐标和第一距离阈值,调整两个转移执行器沿第一坐标方向的距离;其中第一距离阈值是基准间距值的第一整数倍;基准间距值为沿第一坐标方向的任意两个相邻的转移目标的间距;移动基准龙门,以使两个转移执行器分别对准一个转移目标;以及移动两个辅助龙门,以使两个转移执行器分别对准一个待转移器件;控制两个转移执行器分别将对准的待转移器件转移至对准的转移目标上。该方法预先调整两个转移执行器沿第一坐标方向的距离,可以控制两个转移执行器微调以对准转移目标,最终分别将对准的待转移器件转移至对准的转移目标上,实现快速的转移。

    一种搬运机器人及其搬运控制方法、装置、设备及介质

    公开(公告)号:CN112894795A

    公开(公告)日:2021-06-04

    申请号:CN201911229270.9

    申请日:2019-12-04

    IPC分类号: B25J9/16

    摘要: 本发明提供一种搬运机器人及其搬运控制方法、装置、设备及介质,用以提高搬运机器人的利用率,并且提高自动化程度,节约示教时间。所述搬运机器人包括:手部,包括根部和多个手指,多个手指平行且沿第一方向排列,每个手指安装于根部且可沿第一方向移动,每个手指上设置有用于定位搬运对象的第一传感器,第一传感器可沿第二方向移动;第一驱动装置,与手指连接,用于驱动多个手指沿第一方向移动;第二驱动装置,与第一传感器连接,用于驱动第一传感器沿第二方向移动;控制器,分别与第一驱动装置和第二驱动装置连接,用于根据接收的搬运对象的尺寸,控制第一驱动装置调节手指的位置,以及控制第二驱动装置调节每个手指上第一传感器的位置。

    一种绑定设备及其控制方法

    公开(公告)号:CN112654229B

    公开(公告)日:2021-12-10

    申请号:CN202011534830.4

    申请日:2020-12-22

    IPC分类号: H05K13/04

    摘要: 本发明公开一种绑定设备及其控制方法,涉及微电子加工设备领域,旨在解决绑定设备在高频运动过程中引起的内部振动影响绑定精度的问题。该绑定设备包括:第一直线导轨,设置于基座上;主运动平台,设置于第一直线导轨上;第一驱动装置,用于驱动主运动平台运动;第二直线导轨,设置于主运动平台上,且与第一直线导轨同向设置;工作末端,设置于第二直线导轨上,工作末端的整体质量小于主运动平台的整体质量;第二驱动装置,用于驱动工作末端运动;控制装置,分别与第一驱动装置和第二驱动装置连接,用于控制主运动平台在第一直线导轨上运动,并控制工作末端在第二直线导轨上做往复运动。本发明用于微电子装备的加工。

    一种进行器件绑定的方法和装置及设备

    公开(公告)号:CN112346266A

    公开(公告)日:2021-02-09

    申请号:CN202011165631.0

    申请日:2020-10-27

    IPC分类号: G02F1/13

    摘要: 本发明提供了一种进行器件绑定的方法和装置及设备,所述方法包括:确定相机对准绑定目标时第一运动组的第一轴坐标;确定绑定目标在对应坐标系的目标设备坐标;根据第一轴坐标及预先标定的绑定头与所述相机的坐标关系,确定将绑定头移动至与绑定目标对准时对应的第二轴坐标;根据预先标定的被绑定器件的设备坐标与第二运动组的轴坐标的关系,确定被绑定器件移动至目标设备坐标时第二运动组的第三轴坐标;分别移动第一运动组和第二运动组至第二轴坐标和第三轴坐标时,控制绑定头绑定被绑定器件和绑定目标。利用本发明方法预先标定绑定设备的部组之间的关系,可以精密地控制绑定头和待绑定器件,使绑定头和待绑定器件对准绑定目标,实现精确地绑定。

    一种原点标定系统及方法

    公开(公告)号:CN109483549A

    公开(公告)日:2019-03-19

    申请号:CN201811591838.7

    申请日:2018-12-25

    IPC分类号: B25J9/16

    摘要: 本发明提供了一种原点标定系统,应用于自动化设备中,自动化设备包括关节基座、关节运动部、及用于驱动关节运动部运动的电机,该原点标定系统包括编码器、标定部件、原点传感器和控制器,其中,编码器安装于电机上,用于记录关节运动部的位置;当关节运动部相对于关节基座运动至标定部件与原点传感器对准时,原点传感器输出触发信号;控制器与原点传感器和编码器相连,用于接收原点传感器所输出的触发信号,并在开始接收到触发信号时获取编码器当前时刻的编码器值,根据所获取的编码器值确定原点所对应的编码器值。上述系统用于实现机器人等自动化设备原点的全自动标定,并提高标定精度,降低误差。

    一种双驱动升降台控制的方法和装置及设备

    公开(公告)号:CN114380238A

    公开(公告)日:2022-04-22

    申请号:CN202011124849.1

    申请日:2020-10-20

    摘要: 本发明提供了一种双驱动升降台控制的方法和装置及设备,所述方法包括:响应于调平指令,确定第一电机和第二电机驱动升降台过程中,从同一预设参考位置,运动至分别产生Z相脉冲时,所产生的Z相脉冲的当前间距;获取预先校准升降台的两侧高度相同情况下,确定的第一电机和第二电机驱动升降台过程中,从同一预设参考位置,运动至分别产生Z相脉冲时,所产生的Z相脉冲的标准间距;根据所述当前间距与标准间距的差值,对所述升降台进行调整。利用本发明公开的方法,可以实现自动调整双驱动升降台机构的升降台的两侧高度,确保两侧高度的一致性,提高设备的精度和稳定性,实现双驱动升降台自动纠偏功能。

    一种待转移器件的位置识别方法及设备

    公开(公告)号:CN114332205A

    公开(公告)日:2022-04-12

    申请号:CN202111525067.3

    申请日:2021-12-14

    IPC分类号: G06T7/70 G06T1/00 H01L21/67

    摘要: 本申请提供一种待转移器件的位置识别方法及设备;在转移设备的目标基台上承载的Wafer的分布区域中,识别到目标标记区域后,确定目标标记区域对应的标记点的第一目标位置坐标,分布区域为待转移器件在Wafer中的占用区域,基于第一目标位置坐标和标记点对应的第一历史位置坐标,确定坐标转换关系,第一历史位置坐标是基于预先识别的Wafer中各个待转移器件的第二历史位置坐标中的至少一个确定的,第二历史位置坐标是相对辅助设备的位置坐标,且转移设备和辅助设备的坐标系相同;基于坐标转换关系,对Wafer中的各个待转移器件的第二历史位置坐标进行转换,获得各个待转移器件相对转移设备的第二目标位置坐标,缩短识别时间。