-
公开(公告)号：CN113829760A
公开(公告)日：2021-12-24
申请号：CN202010589511.7
申请日：2020-06-24
申请人： 合肥欣奕华智能机器有限公司
摘要： 本发明涉及半导体装备技术领域，公开了一种基板作业平台，该基板作业平台包括：架台组件，架台组件包括机架和支撑盘；基板承载组件，基板承载组件包括基板承载平台，基板承载平台安装于支撑盘；基板承载平台背离支撑盘的一侧形成承载面；至少一个龙门组件，每个龙门组件沿平行于承载面的第一方向可移动地安装于支撑盘；每个龙门组件上设至少一个工作组件，且至少一个工作组件沿平行于承载面的第二方向可移动地安装于龙门组件；每个工作组件与龙门组件间可拆卸连接；每个龙门组件上还设有驱动部，驱动部用于驱动工作组件动作；设于支撑盘、用于驱动龙门组件动作的驱动机构。上述基板作业平台通过装配不同工作组件，可以实现平台的多功能作业。
-
公开(公告)号：CN112654229B
公开(公告)日：2021-12-10
申请号：CN202011534830.4
申请日：2020-12-22
申请人： 合肥欣奕华智能机器有限公司
IPC分类号： H05K13/04
摘要： 本发明公开一种绑定设备及其控制方法，涉及微电子加工设备领域，旨在解决绑定设备在高频运动过程中引起的内部振动影响绑定精度的问题。该绑定设备包括：第一直线导轨，设置于基座上；主运动平台，设置于第一直线导轨上；第一驱动装置，用于驱动主运动平台运动；第二直线导轨，设置于主运动平台上，且与第一直线导轨同向设置；工作末端，设置于第二直线导轨上，工作末端的整体质量小于主运动平台的整体质量；第二驱动装置，用于驱动工作末端运动；控制装置，分别与第一驱动装置和第二驱动装置连接，用于控制主运动平台在第一直线导轨上运动，并控制工作末端在第二直线导轨上做往复运动。本发明用于微电子装备的加工。
-
公开(公告)号：CN109960183B
公开(公告)日：2020-10-23
申请号：CN201711406417.8
申请日：2017-12-22
申请人： 合肥欣奕华智能机器有限公司
IPC分类号： G05B19/042 , B25J9/16
摘要： 本发明公开了一种分布式控制系统和机器人设备，通过在子控制器内设置与微处理器连接的第一开关电路，采用第一开关电路可以方便设置安全传感器连接的位置，提高系统兼容性和可扩展性，以便在后续工作时，微处理器可以快速的根据安全传感器输出的信号向主控制器进行反馈，以缩短分布式控制系统对安全传感器动作的响应时间，并提高系统的安全性。
-
公开(公告)号：CN111337994A
公开(公告)日：2020-06-26
申请号：CN201811554633.1
申请日：2018-12-19
申请人： 合肥欣奕华智能机器有限公司
摘要： 本发明公开了一种基准值校准的方法和设备，涉及光电检测技术领域，用以解决基板映射传感器存储的基准值固定不变，容易出现对玻璃基板的漏判和误判问题，本发明方法包括：在基板映射传感器的检测区域无卡匣时触发基板映射传感器的检测通道对应的发光器发射N次红外光，其中基板映射传感器包括至少一个检测通道，且每个检测通道对应一个发光器以及至少一个接收器，N为正整数；获取检测通道对应的接收器输出的至少一个光强采样值；在检测通道稳定且光强采样值满足校准条件时，根据光强采样值对检测通道对应的接收器进行基准值校准，由于本发明实施例实现了对基准值的校准，减少了对玻璃基板的漏判和误判。
-
公开(公告)号：CN108127668B
公开(公告)日：2020-05-08
申请号：CN201711377871.5
申请日：2017-12-19
申请人： 合肥欣奕华智能机器有限公司
摘要： 本发明实施例提供一种机器人的示教方法、机器人的示教装置及机器人系统，涉及机器人技术领域，可解决现有技术中对机器人示教时，示教过程复杂的问题。该示教方法包括：根据待搬运物承载设备的标识获取所述待搬运物承载设备的标识对应的设备信息，所述设备信息包括基于所述待搬运物承载设备进行搬运操作所需的示教点相对于所述待搬运物承载设备上的基准点的位置；获取示教所述基准点的过程中得到的所述基准点的示教坐标；根据所述基准点的示教坐标和所述示教点相对于所述待搬运物承载设备上的基准点的位置得到所述示教点的示教坐标。本发明实施例提供的机器人示教方法用于对机器人进行示教。
-
公开(公告)号：CN109960183A
公开(公告)日：2019-07-02
申请号：CN201711406417.8
申请日：2017-12-22
申请人： 合肥欣奕华智能机器有限公司
IPC分类号： G05B19/042 , B25J9/16
摘要： 本发明公开了一种分布式控制系统和机器人设备，通过在子控制器内设置与微处理器连接的第一开关电路，采用第一开关电路可以方便设置安全传感器连接的位置，提高系统兼容性和可扩展性，以便在后续工作时，微处理器可以快速的根据安全传感器输出的信号向主控制器进行反馈，以缩短分布式控制系统对安全传感器动作的响应时间，并提高系统的安全性。
-
公开(公告)号：CN109955239A
公开(公告)日：2019-07-02
申请号：CN201711402028.8
申请日：2017-12-22
申请人： 合肥欣奕华智能机器有限公司
IPC分类号： B25J9/16
摘要： 本发明公开了一种分布式控制系统和机器人设备，通过在子控制器的微处理器与输入接口之间设置的输入隔离电路，以及与输入隔离电路连接的第三拨码开关，采用第三拨码开关设置输入接口连接的传感器的输出类型，采用输入隔离电路将传感器输出的信号经过电气隔离和电平转换后传输至微处理器，可以方便兼容不同输出类型的传感器，提高系统兼容性和可扩展性。
-
公开(公告)号：CN109483549A
公开(公告)日：2019-03-19
申请号：CN201811591838.7
申请日：2018-12-25
申请人： 合肥欣奕华智能机器有限公司
IPC分类号： B25J9/16
摘要： 本发明提供了一种原点标定系统，应用于自动化设备中，自动化设备包括关节基座、关节运动部、及用于驱动关节运动部运动的电机，该原点标定系统包括编码器、标定部件、原点传感器和控制器，其中，编码器安装于电机上，用于记录关节运动部的位置；当关节运动部相对于关节基座运动至标定部件与原点传感器对准时，原点传感器输出触发信号；控制器与原点传感器和编码器相连，用于接收原点传感器所输出的触发信号，并在开始接收到触发信号时获取编码器当前时刻的编码器值，根据所获取的编码器值确定原点所对应的编码器值。上述系统用于实现机器人等自动化设备原点的全自动标定，并提高标定精度，降低误差。
-
公开(公告)号：CN113539915A
公开(公告)日：2021-10-22
申请号：CN202110737207.7
申请日：2021-06-30
申请人： 合肥欣奕华智能机器有限公司
IPC分类号： H01L21/677 , H01L27/12
摘要： 本发明提供了一种转移设备、方法、装置、电子设备及介质，所述方法包括：基于两个转移执行器的设备坐标和第一距离阈值，调整两个转移执行器沿第一坐标方向的距离；其中第一距离阈值是基准间距值的第一整数倍；基准间距值为沿第一坐标方向的任意两个相邻的转移目标的间距；移动基准龙门，以使两个转移执行器分别对准一个转移目标；以及移动两个辅助龙门，以使两个转移执行器分别对准一个待转移器件；控制两个转移执行器分别将对准的待转移器件转移至对准的转移目标上。该方法预先调整两个转移执行器沿第一坐标方向的距离，可以控制两个转移执行器微调以对准转移目标，最终分别将对准的待转移器件转移至对准的转移目标上，实现快速的转移。
-
公开(公告)号：CN113031530A
公开(公告)日：2021-06-25
申请号：CN201911252019.4
申请日：2019-12-09
申请人： 合肥欣奕华智能机器有限公司
IPC分类号： G05B19/416
摘要： 本发明公开了一种机器人的控制方法、其控制装置及机器人，由于预先建立的对应关系是根据各所述轴在运动过程中的振动幅度建立的，所以确定出的各轴的第一参数对应的第二参数考虑了振动幅度的影响，以使得在进行运动规划以及控制各个轴进行运动时，考虑了振动幅度的影响，可以有利于将各轴的振动幅度控制在可接受范围内，从而对机器人各个轴的振动进行有效抑制，提高机器人运动的准确性。并且，本发明实施例提供的控制方法基于运动学方式来抑制轴的振动，不仅处理方式简单、处理效率高、也无需对控制装置的计算能力有较高的要求，以及无需对机器人的结构进行改动，同时与伺服驱动器的参数无关，无需受到伺服驱动器的影响，具有广泛的实用性。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
搜索结果
46 条记录 (耗时 0.035 秒)
