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公开(公告)号：CN109324062B
公开(公告)日：2024-02-09
申请号：CN201810709621.5
申请日：2018-07-02
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
IPC: G01N21/90
Abstract: 本公开提供用于直接检查极紫外光容器的整个内部的单次拍摄测量。可提供包括与极紫外光容器整合的检查工具的一极紫外光容器。在检查过程中，检查工具移入极紫外光容器的主要聚焦区域。当检查工具是设置在主要聚焦区域，并且当通过一照明器向极紫外光容器的内部提供一实质地均匀且恒定的照明度时，极紫外光容器的内部的一全景影像可以通过检查工具的一单次拍摄来获取。之后，极紫外光容器中的多个元件上的锡污染程度可以基于极紫外光容器的内部的全景影像来量化。所量化的污染程度可以与一关键绩效指标做比较，并且可以实行一失控行动计划。
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公开(公告)号：CN109814341A
公开(公告)日：2019-05-28
申请号：CN201811381911.8
申请日：2018-11-20
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种光刻曝光工艺的方法。此方法包括以激光光束激化目标液滴，以产生极紫外线(EUV)光。此方法还包括以聚光器反射极紫外线光。此方法亦包括经由安置在聚光器旁的气体分配器排放清洁气体至聚光器上。在清洁气体离开气体分配器之前，一部分的清洁气体被转化为自由基，且自由基与清洁气体一起被排放至聚光器上。
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公开(公告)号：CN109426085A
公开(公告)日：2019-03-05
申请号：CN201710738608.8
申请日：2017-08-25
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 本公开提供一种用于清洁光刻设备的集光镜的装置及方法。上述装置包括一支撑杆、一伸缩杆、一控制单元及一黏附元件。伸缩杆具有相对的第一端及第二端，且第一端活动地连接支撑杆。控制单元配置用以控制伸缩杆相对支撑杆的运动及控制伸缩杆的伸缩。粘附元件设置于伸缩杆的第二端，用以清除集光镜上的污染物。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109148320A
公开(公告)日：2019-01-04
申请号：CN201711295773.7
申请日：2017-12-08
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
CPC classification number: H05G2/005 , G03F7/70033 , G03F7/70916 , H05G2/008 , H01L21/67011 , G03F7/20
Abstract: 极紫外光(EUV)辐射源设备包含收集器、用于产生锡(Sn)液滴的目标液滴产生器、可旋转碎片收集装置、以及围住至少收集器和可旋转碎片收集装置的腔室。可旋转碎片收集装置包含第一端支撑件、第二端支撑件以及多个叶片，这些叶片的端部分别由第一端支撑件和第二端支撑件支撑。这些叶片中的至少一个的表面涂覆将SnH4还原为Sn的催化剂层。
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公开(公告)号：CN109116683A
公开(公告)日：2019-01-01
申请号：CN201710487653.0
申请日：2017-06-23
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 提供一种喷嘴模块，喷嘴模块包括一喷嘴，喷嘴具有一腔体及一液体输出口。喷嘴模块还包括一毛细管，毛细管连接液体输出口而与腔体连通。喷嘴模块还包括一压电元件，压电元件夹持毛细管。再者，喷嘴模块包括一频率产生元件，频率产生元件设置于腔体的外表面，用以对腔体提供一振荡频率。
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公开(公告)号：CN109814341B
公开(公告)日：2023-07-07
申请号：CN201811381911.8
申请日：2018-11-20
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种光刻曝光工艺的方法。此方法包括以激光光束激化目标液滴，以产生极紫外线(EUV)光。此方法还包括以聚光器反射极紫外线光。此方法亦包括经由安置在聚光器旁的气体分配器排放清洁气体至聚光器上。在清洁气体离开气体分配器之前，一部分的清洁气体被转化为自由基，且自由基与清洁气体一起被排放至聚光器上。
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公开(公告)号：CN109116683B
公开(公告)日：2021-03-02
申请号：CN201710487653.0
申请日：2017-06-23
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 提供一种喷嘴模块，喷嘴模块包括一喷嘴，喷嘴具有一腔体及一液体输出口。喷嘴模块还包括一毛细管，毛细管连接液体输出口而与腔体连通。喷嘴模块还包括一压电元件，压电元件夹持毛细管。再者，喷嘴模块包括一频率产生元件，频率产生元件设置于腔体的外表面，用以对腔体提供一振荡频率。
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公开(公告)号：CN109324062A
公开(公告)日：2019-02-12
申请号：CN201810709621.5
申请日：2018-07-02
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
IPC: G01N21/90
Abstract: 本公开提供用于直接检查极紫外光容器的整个内部的单次拍摄测量。可提供包括与极紫外光容器整合的检查工具的一极紫外光容器。在检查过程中，检查工具移入极紫外光容器的主要聚焦区域。当检查工具是设置在主要聚焦区域，并且当通过一照明器向极紫外光容器的内部提供一实质地均匀且恒定的照明度时，极紫外光容器的内部的一全景影像可以通过检查工具的一单次拍摄来获取。之后，极紫外光容器中的多个元件上的锡污染程度可以基于极紫外光容器的内部的全景影像来量化。所量化的污染程度可以与一关键绩效指标做比较，并且可以实行一失控行动计划。
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