公开(公告)号：CN109426084A

公开(公告)日：2019-03-05

申请号：CN201710735382.6

申请日：2017-08-24

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 赖韦志 ,  郑力凯 ,  张汉龙 ,  刘柏村 ,  陈立锐

IPC: G03F7/20

Abstract: 本公开提供一种标靶材料供应系统，包括一标靶液滴产生器、一标靶液滴收集器及一标靶材料处理装置。标靶液滴产生器配置以产生多个标靶液滴，可供一极紫外光微影设备利用以产生极紫外光。标靶液滴收集器配置以收集上述标靶液滴的未被利用部分。标靶材料处理装置配置以将一熔融状态的一标靶材料供应至标靶液滴产生器，及配置以将从标靶液滴收集器回收的标靶液滴的未被利用部分重新供应至标靶液滴产生器。

公开(公告)号：CN109324062B

公开(公告)日：2024-02-09

申请号：CN201810709621.5

申请日：2018-07-02

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 张俊霖 ,  简上杰 ,  吴尚颖 ,  郑力凯 ,  傅中其 ,  刘柏村 ,  陈立锐 ,  郑博中 ,  严涛南 ,  陈家桢

IPC: G01N21/90

Abstract: 本公开提供用于直接检查极紫外光容器的整个内部的单次拍摄测量。可提供包括与极紫外光容器整合的检查工具的一极紫外光容器。在检查过程中，检查工具移入极紫外光容器的主要聚焦区域。当检查工具是设置在主要聚焦区域，并且当通过一照明器向极紫外光容器的内部提供一实质地均匀且恒定的照明度时，极紫外光容器的内部的一全景影像可以通过检查工具的一单次拍摄来获取。之后，极紫外光容器中的多个元件上的锡污染程度可以基于极紫外光容器的内部的全景影像来量化。所量化的污染程度可以与一关键绩效指标做比较，并且可以实行一失控行动计划。

公开(公告)号：CN109426084B

公开(公告)日：2021-07-16

申请号：CN201710735382.6

申请日：2017-08-24

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 赖韦志 ,  郑力凯 ,  张汉龙 ,  刘柏村 ,  陈立锐

IPC: G03F7/20

Abstract: 本公开提供一种标靶材料供应系统，包括一标靶液滴产生器、一标靶液滴收集器及一标靶材料处理装置。标靶液滴产生器配置以产生多个标靶液滴，可供一极紫外光微影设备利用以产生极紫外光。标靶液滴收集器配置以收集上述标靶液滴的未被利用部分。标靶材料处理装置配置以将一熔融状态的一标靶材料供应至标靶液滴产生器，及配置以将从标靶液滴收集器回收的标靶液滴的未被利用部分重新供应至标靶液滴产生器。

公开(公告)号：CN109324062A

公开(公告)日：2019-02-12

申请号：CN201810709621.5

申请日：2018-07-02

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 张俊霖 ,  简上杰 ,  吴尚颖 ,  郑力凯 ,  傅中其 ,  刘柏村 ,  陈立锐 ,  郑博中 ,  严涛南 ,  陈家桢

IPC: G01N21/90

Abstract: 本公开提供用于直接检查极紫外光容器的整个内部的单次拍摄测量。可提供包括与极紫外光容器整合的检查工具的一极紫外光容器。在检查过程中，检查工具移入极紫外光容器的主要聚焦区域。当检查工具是设置在主要聚焦区域，并且当通过一照明器向极紫外光容器的内部提供一实质地均匀且恒定的照明度时，极紫外光容器的内部的一全景影像可以通过检查工具的一单次拍摄来获取。之后，极紫外光容器中的多个元件上的锡污染程度可以基于极紫外光容器的内部的全景影像来量化。所量化的污染程度可以与一关键绩效指标做比较，并且可以实行一失控行动计划。