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公开(公告)号：CN108405381B
公开(公告)日：2020-08-07
申请号：CN201710073210.7
申请日：2017-02-10
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
Abstract: 一种清洁装置与方法。清洁装置包含一主体、至少一导引滚轮、至少一承载滚轮与至少一清洁件。导引滚轮是连接主体，且导引滚轮具有一第一转轴方向。承载滚轮是连接主体，承载滚轮具有第二转轴方向，且第一转轴方向与第二转轴方向相交。清洁件是设置于主体上。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110542451A
公开(公告)日：2019-12-06
申请号：CN201811126286.2
申请日：2018-09-26
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
Abstract: 本公开一实施例提供一种错误检测方法及制造设施，该错误检测方法适用于一半导体制造厂中。上述错误检测方法包括沿一轨道传送一测试载车至一检验区域。上述错误检测方法还包括当测试载车位于一检验区域内时，通过放置于测试载车上的一换能器投射一测试信号至一检验板，其中检验板以及测试载车沿一平行于轨道的一轴线配置。上述错误检测方法还包括对投射于检验板的测试信号进行一分析。另外，上述错误检测方法包括根据分析的结果检测出一异常时发出一警示警报。
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公开(公告)号：CN110542451B
公开(公告)日：2022-11-11
申请号：CN201811126286.2
申请日：2018-09-26
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
Abstract: 本公开一实施例提供一种错误检测方法及制造设施，该错误检测方法适用于一半导体制造厂中。上述错误检测方法包括沿一轨道传送一测试载车至一检验区域。上述错误检测方法还包括当测试载车位于一检验区域内时，通过放置于测试载车上的一换能器投射一测试信号至一检验板，其中检验板以及测试载车沿一平行于轨道的一轴线配置。上述错误检测方法还包括对投射于检验板的测试信号进行一分析。另外，上述错误检测方法包括根据分析的结果检测出一异常时发出一警示警报。
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公开(公告)号：CN108405381A
公开(公告)日：2018-08-17
申请号：CN201710073210.7
申请日：2017-02-10
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
Abstract: 一种清洁装置与方法。清洁装置包含一主体、至少一导引滚轮、至少一承载滚轮与至少一清洁件。导引滚轮是连接主体，且导引滚轮具有一第一转轴方向。承载滚轮是连接主体，承载滚轮具有第二转轴方向，且第一转轴方向与第二转轴方向相交。清洁件是设置于主体上。
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公开(公告)号：CN108538769B
公开(公告)日：2020-10-20
申请号：CN201710122138.2
申请日：2017-03-03
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
IPC: H01L21/677
Abstract: 一种传输系统与方法。传输系统包含负载端口、多个第一轨道、水平移动装置、升降机、至少一第二轨道与第一缓冲载台。负载端口是设置于与半导体制程有关的机台。至少部分的第一轨道之间的空间是位于负载端口的正上方。水平移动装置是可移动性地耦合第一轨道。升降机是设置于水平移动装置。第二轨道具有连续的第一区段与第二区段，第一区段是位于第一轨道之间的空间的正下方，且第二区段是不位于第一轨道之间的空间的正下方。第一缓冲载台是可移动性地耦合第二轨道。
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公开(公告)号：CN108538769A
公开(公告)日：2018-09-14
申请号：CN201710122138.2
申请日：2017-03-03
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
IPC: H01L21/677
Abstract: 一种传输系统与方法。传输系统包含负载端口、多个第一轨道、水平移动装置、升降机、至少一第二轨道与第一缓冲载台。负载端口是设置于与半导体制程有关的机台。至少部分的第一轨道之间的空间是位于负载端口的正上方。水平移动装置是可移动性地耦合第一轨道。升降机是设置于水平移动装置。第二轨道具有连续的第一区段与第二区段，第一区段是位于第一轨道之间的空间的正下方，且第二区段是不位于第一轨道之间的空间的正下方。第一缓冲载台是可移动性地耦合第二轨道。
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