公开(公告)号：CN1659684A

公开(公告)日：2005-08-24

申请号：CN03813553.1

申请日：2003-06-11

Applicant: 反射公司

Inventor： S·潘特尔 ,  A·赫伊伯斯 ,  P·理查兹 ,  H·史 ,  S·蒋 ,  R·小迪博 ,  T·格罗贝尔尼 ,  D·德林格尔 ,  A·孙 ,  H·N·陈

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/30 ,  H01L21/46 ,  H01L23/02 ,  G02B26/00

CPC classification number: B81B7/0077 ,  B81B2201/042 ,  B81C1/00269 ,  B81C1/00904 ,  B81C2203/0118 ,  B82Y30/00 ,  G02B26/0833 ,  G02B26/0841 ,  H01L24/97 ,  H01L2924/01005 ,  H01L2924/01006 ,  H01L2924/01013 ,  H01L2924/01018 ,  H01L2924/01019 ,  H01L2924/0102 ,  H01L2924/01023 ,  H01L2924/01027 ,  H01L2924/01033 ,  H01L2924/01039 ,  H01L2924/01049 ,  H01L2924/01054 ,  H01L2924/01072 ,  H01L2924/01074 ,  H01L2924/01076 ,  H01L2924/01079 ,  H01L2924/01082 ,  H01L2924/01322 ,  H01L2924/04953 ,  H01L2924/10329 ,  H01L2924/12036 ,  H01L2924/12042 ,  H01L2924/12044 ,  H01L2924/1461 ,  H01L2924/19041 ,  H01L2924/19042 ,  H01L2924/3025 ,  H01L2924/00

Abstract: 本发明公开了投影系统、空间光调制器和形成MEMS器件的方法。该空间光调制器可以具有结合在一起的两个衬底，其中一个衬底包括一个微镜阵列。在这两个晶片上或其中之一上沉积了吸气剂材料和/或固体或液体润滑剂后，这两个衬底可以在晶片级上结合。如果需要，这两个晶片可以结合在一起，并且两个衬底之间的压力可以小于大气压。