-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112038262A
公开(公告)日：2020-12-04
申请号：CN202010740047.7
申请日：2020-07-28
Applicant: 厦门通富微电子有限公司
Inventor： 汪锋
IPC: H01L21/67
Abstract: 本申请公开了一种排气控制装置，应用于刻蚀设备或显影设备，其包括：排气管；气压检测装置，所述气压检测装置包括气压传感器，所述气压传感器安装于所述排气管上，用于检测所述排气管内气体压强；电动流量调节阀，所述电动流量调节阀安装于所述排气管上；控制系统，所述控制系统与所述电动流量调节阀和所述气压传感器电连接，用于根据所述气体压强调节所述电动流量调节阀的开度。本申请的电动流量调节阀根据气体压强，自动控制阀门开度，实现智能化控制由刻蚀机台或显影设备的排气管道排出的气体流量。
-
公开(公告)号：CN111146122A
公开(公告)日：2020-05-12
申请号：CN201911369365.0
申请日：2019-12-26
Applicant: 厦门通富微电子有限公司
Abstract: 本申请公开了一种液体收集装置、显影/刻蚀机台和显影/刻蚀方法，该液体收集装置包括：收集槽；第一环形遮挡件和第二环形遮挡件，设置于收集槽中，且第二环形遮挡件间隔套设于第一环形遮挡件的外围，以将收集槽分割为内腔室、中间腔室和外腔室；内腔室用于容纳承载平台；第一环形遮挡件和第二环形遮挡件的高度可分别调整，以使内腔室或者中间腔室中的一个收集从第一尺寸范围的处理物的外边缘流出的药液，外腔室或者中间腔室中的一个收集从第二尺寸范围的处理物的外边缘流出的药液，剩余腔室收集从第一尺寸范围或第二尺寸范围的处理物的外边缘流出的清洗液。通过上述方式，本申请能够提高液体收集装置处理不同尺寸的处理物时的通用性和适配度。
-
公开(公告)号：CN111146122B
公开(公告)日：2022-10-28
申请号：CN201911369365.0
申请日：2019-12-26
Applicant: 厦门通富微电子有限公司
Abstract: 本申请公开了一种液体收集装置、显影/刻蚀机台和显影/刻蚀方法，该液体收集装置包括：收集槽；第一环形遮挡件和第二环形遮挡件，设置于收集槽中，且第二环形遮挡件间隔套设于第一环形遮挡件的外围，以将收集槽分割为内腔室、中间腔室和外腔室；内腔室用于容纳承载平台；第一环形遮挡件和第二环形遮挡件的高度可分别调整，以使内腔室或者中间腔室中的一个收集从第一尺寸范围的处理物的外边缘流出的药液，外腔室或者中间腔室中的一个收集从第二尺寸范围的处理物的外边缘流出的药液，剩余腔室收集从第一尺寸范围或第二尺寸范围的处理物的外边缘流出的清洗液。通过上述方式，本申请能够提高液体收集装置处理不同尺寸的处理物时的通用性和适配度。
-
公开(公告)号：CN221752623U
公开(公告)日：2024-09-24
申请号：CN202323437057.1
申请日：2023-12-15
Applicant: 厦门通富微电子有限公司
Inventor： 汪锋
IPC: B01D36/04
Abstract: 本公开实施例提供一种湿制程系统用药液分离装置及湿制程系统，该装置包括第一药液存储槽、第二药液存储槽、工艺腔室、加热器、第一过滤件和至少一个第一隔板；第一药液存储槽通过第一药液输出管道与第二药液存储槽相连通，第二药液存储槽设置有加热器；第二药液存储槽通过第二药液输出管道与工艺腔室相连通，第二药液输出管道串设有第一过滤件；工艺腔室通过药液注入管道与第一药液存储槽相连通；第一药液存储槽内设置有至少一个第一隔板，以在第一隔板与第一药液存储槽的侧壁之间形成第一溢流通道。第一溢流通道可以为药液的流动进行导流，加长药液流动行程，提高反应生成物的沉积效果，更好的实现在药液与反应生成物的分离。
-
公开(公告)号：CN219731114U
公开(公告)日：2023-09-22
申请号：CN202320166525.7
申请日：2023-02-01
Applicant: 厦门通富微电子有限公司
Abstract: 本实用新型公开一种免洗边电镀夹具，包括：用于放置晶圆结构的载盘和连接在载盘一侧的盖板，盖板呈环状结构；盖板朝向载盘的一侧连接有导电件，导电件呈弹簧式结构且导电件具有朝向载盘的尖端。其中导电件呈弹簧式结构且导电件具有朝向载盘的尖端，如此导电件的尖端能够穿透晶圆结构的光阻层以接触UBM层，无需对晶圆结构进行洗边操作，可避免因洗边问题导致的晶圆结构漏镀的问题，同时可以提高电镀效率。
-
-
-
-
Search Results
5
records
(took 0.027 seconds)
