公开(公告)号：CN111599728A

公开(公告)日：2020-08-28

申请号：CN202010486213.5

申请日：2020-06-01

Applicant: 厦门通富微电子有限公司

Inventor： 张冬欣 ,  张雷

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/683

Abstract: 本申请公开了一种晶圆载台及半导体制造设备，所述晶圆载台设置有承载台，还包括至少一个检测传感器，所述检测传感器至少用于检测所述承载台上是否放置有晶圆，检测传感器的工作可靠，可准确地检测所述承载台上是否放置有晶圆，从而保证了半导体制造设备的工作可靠性，避免了因误检测而导致的晶圆划伤和压裂的风险。

公开(公告)号：CN111312644A

公开(公告)日：2020-06-19

申请号：CN202010121089.2

申请日：2020-02-26

Applicant: 厦门通富微电子有限公司

Inventor： 张雷 ,  沈克 ,  张冬欣 ,  刘伟

IPC: H01L21/68 ,  H01L21/687

Abstract: 本申请公开了一种晶圆自动对位装置以及刻蚀机，该晶圆自动对位装置包括：承载台；升降机构，用于沿重力方向承托晶圆，并将晶圆放置于承载台上；导向机构，设置在承载台上，用于在晶圆靠近承载台的过程中对晶圆进行导向，以使晶圆最终落在承载台上的预定区域内。本申请所提供的晶圆自动对位装置能够实现晶圆的自动对位，从而简化作业流程。

公开(公告)号：CN111599726A

公开(公告)日：2020-08-28

申请号：CN202010485344.1

申请日：2020-06-01

Applicant: 厦门通富微电子有限公司

Inventor： 张冬欣 ,  简永幸 ,  张雷

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/687

Abstract: 本发明公开了一种吊杆及晶圆处理设备，所述吊杆包括用于与吊车连接的第一杆、用于挂取产品的第二杆，和用于连接所述第一杆和所述第二杆的连接组件，所述连接组件包括分置于所述第一杆和所述第二杆的第一连接部和第二连接部，所述第一连接部和所述第二连接部分别具有面向对方的配合面；所述第一连接部和所述第二连接部配置为可拆卸连接；当晶圆处理装置在处理晶圆出现故障时，可通过所述连接组件快速拆下第二杆，从而将设置在第二杆上的晶圆及时从药液中取出，避免了晶圆在药液里浸泡过久而导致晶圆报废的现象，本发明结构简单，设计合理，具有较强的实用性。

公开(公告)号：CN219731114U

公开(公告)日：2023-09-22

申请号：CN202320166525.7

申请日：2023-02-01

Applicant: 厦门通富微电子有限公司

Inventor： 张冬欣 ,  简永幸 ,  汪锋

IPC: C25D17/08 ,  C25D7/12

Abstract: 本实用新型公开一种免洗边电镀夹具，包括：用于放置晶圆结构的载盘和连接在载盘一侧的盖板，盖板呈环状结构；盖板朝向载盘的一侧连接有导电件，导电件呈弹簧式结构且导电件具有朝向载盘的尖端。其中导电件呈弹簧式结构且导电件具有朝向载盘的尖端，如此导电件的尖端能够穿透晶圆结构的光阻层以接触UBM层，无需对晶圆结构进行洗边操作，可避免因洗边问题导致的晶圆结构漏镀的问题，同时可以提高电镀效率。

公开(公告)号：CN214358833U

公开(公告)日：2021-10-08

申请号：CN202021141178.5

申请日：2020-06-18

Applicant: 厦门通富微电子有限公司

Inventor： 张冬欣 ,  张雷

IPC: B65G47/90

Abstract: 本申请公开了一种导轨组件及一种晶圆传送单元，所述导轨组件包括第一导轨、滑动设置在所述第一导轨上的第一滑块，还包括感应组件，所述感应组件包括至少一个检测装置，所述感应组件被配置为所述第一滑块滑动到所述第一导轨上的某些位置时可触发所述检测装置以确定所述第一滑块的当前位置；所述晶圆传送单元包括所述导轨组件，通过将需要传送的晶圆设置在所述第一导轨的一侧的特定位置，将所述感应组件配置为当手臂到达晶圆的位置时触发所述检测装置，使晶圆传送单元可以通过感应组件确定晶圆的位置，避免了因丝杆磨损或伺服电机异常导致的定位错误而引发的安全事故。

公开(公告)号：CN216677240U

公开(公告)日：2022-06-07

申请号：CN202121798187.6

申请日：2021-08-03

Applicant: 厦门通富微电子有限公司

Inventor： 张冬欣

IPC: B01D29/58

Abstract: 本申请公开了一种过滤装置及湿制设备，所述过滤装置包括沿过滤液流动方向依次布置的N个过滤件：第一过滤件至第N过滤件，各所述过滤件上设置有过滤孔，所述第一过滤件的过滤孔至所述第N过滤件的过滤孔依次减小，其中，N≥2，N为正整数。本申请通过各过滤件的过滤孔沿过滤液的流动方向依次减小，各过滤孔分别过滤不同尺寸的堵塞物，延长了各过滤件的工作时间，进而延长过滤装置的过滤时间，减少更换频率，从而降低生产成本；提高了过滤效果。

公开(公告)号：CN211957610U

公开(公告)日：2020-11-17

申请号：CN202020423525.7

申请日：2020-03-27

Applicant: 厦门通富微电子有限公司

Inventor： 张冬欣

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/67 ,  G08B21/24

Abstract: 本申请公开了一种取料装置及半导体制造设备；所述取料装置包括底座、可向上转动设置在所述底座上的手臂，所述底座上设置有水平支撑面，还包括用于检测所述手臂是否离开所述水平支撑面的检测传感器，通过检测传感器检测手臂的位置，当取料手臂工作异常时及时发出警报，避免了因手臂操作异常而导致批量损坏半导体产品。