公开(公告)号：CN103302002B

公开(公告)日：2015-05-13

申请号：CN201310263210.5

申请日：2013-06-27

Applicant: 厦门大学

Inventor： 王凌云 ,  陈梦月 ,  梁楚尉 ,  蔡建法 ,  周如海 ,  杜晓辉

IPC: B05C13/02

Abstract: 可加热自动对心匀胶机，涉及用于薄膜工艺的匀胶机。设有感应加热控制器和自动对心平台；感应加热控制器安装在自动对心平台上部，自动对心平台设有3个夹紧定位装置，3个夹紧定位装置均匀地安装在载片台下表面突出的环形体周围；感应加热控制器设有加热盖和涡流发生线圈，涡流发生线圈设在加热盖上；载片台上均匀设有3个导向槽，夹紧定位装置一一对应地定位在所述导向槽处，通过螺钉连接固定，3个夹紧定位装置随载片台同步旋转，且导向槽和夹紧定位装置都指向载片台的中心；夹紧定位装置设有互相配合的气压缸和活塞杆，3个夹紧定位装置的无杆腔一侧靠近并指向载片台中心，而气压缸的有杆腔一侧指向自动对心平台边缘。

公开(公告)号：CN103413780B

公开(公告)日：2015-07-01

申请号：CN201310365926.6

申请日：2013-08-20

Applicant: 厦门大学

Inventor： 孙道恒 ,  占瞻 ,  周如海 ,  李益盼 ,  蔡建发 ,  陈梦月 ,  王凌云

IPC: H01L21/768

Abstract: 一种基于熔融玻璃骨架的三维通孔互联结构制作方法，涉及硅通孔互联技术。在硅层上刻蚀出沟槽，形成硅柱；将带有图案的丝网版与硅层刻蚀后的图案对准；将玻璃粉置于丝网版上，在竖直方向挤压使玻璃粉填充沟槽，移走丝网版；去除硅柱顶部表面玻璃粉；将填充有玻璃粉硅层加热熔融，内部无气泡，冷却后得熔融玻璃结构，将得到熔融玻璃结构的硅层置于腐蚀液中，采用湿法腐蚀工艺去除硅柱顶部表面残留的熔融玻璃结构，得到沟槽内的熔融玻璃骨架；采用机械研磨方式，将硅层下部减薄加工至暴露出硅柱底部，再采用化学机械抛光方式修复研磨损伤，从而获得所述基于熔融玻璃骨架的三维通孔互联结构。

公开(公告)号：CN103302002A

公开(公告)日：2013-09-18

申请号：CN201310263210.5

申请日：2013-06-27

Applicant: 厦门大学

Inventor： 王凌云 ,  陈梦月 ,  梁楚尉 ,  蔡建法 ,  周如海 ,  杜晓辉

IPC: B05C13/02

Abstract: 可加热自动对心匀胶机，涉及用于薄膜工艺的匀胶机。设有感应加热控制器和自动对心平台；感应加热控制器安装在自动对心平台上部，自动对心平台设有3个夹紧定位装置，3个夹紧定位装置均匀地安装在载片台下表面突出的环形体周围；感应加热控制器设有加热盖和涡流发生线圈，涡流发生线圈设在加热盖上；载片台上均匀设有3个导向槽，夹紧定位装置一一对应地定位在所述导向槽处，通过螺钉连接固定，3个夹紧定位装置随载片台同步旋转，且导向槽和夹紧定位装置都指向载片台的中心；夹紧定位装置设有互相配合的气压缸和活塞杆，3个夹紧定位装置的无杆腔一侧靠近并指向载片台中心，而气压缸的有杆腔一侧指向自动对心平台边缘。

公开(公告)号：CN103413780A

公开(公告)日：2013-11-27

申请号：CN201310365926.6

申请日：2013-08-20

Applicant: 厦门大学

Inventor： 孙道恒 ,  占瞻 ,  周如海 ,  李益盼 ,  蔡建发 ,  陈梦月 ,  王凌云

IPC: H01L21/768

Abstract: 一种基于熔融玻璃骨架的三维通孔互联结构制作方法，涉及硅通孔互联技术。在硅层上刻蚀出沟槽，形成硅柱；将带有图案的丝网版与硅层刻蚀后的图案对准；将玻璃粉置于丝网版上，在竖直方向挤压使玻璃粉填充沟槽，移走丝网版；去除硅柱顶部表面玻璃粉；将填充有玻璃粉硅层加热熔融，内部无气泡，冷却后得熔融玻璃结构，将得到熔融玻璃结构的硅层置于腐蚀液中，采用湿法腐蚀工艺去除硅柱顶部表面残留的熔融玻璃结构，得到沟槽内的熔融玻璃骨架；采用机械研磨方式，将硅层下部减薄加工至暴露出硅柱底部，再采用化学机械抛光方式修复研磨损伤，从而获得所述基于熔融玻璃骨架的三维通孔互联结构。

公开(公告)号：CN203524680U

公开(公告)日：2014-04-09

申请号：CN201320668356.3

申请日：2013-10-28

Applicant: 厦门大学

Inventor： 刘益芳 ,  陈梦月 ,  梁楚尉 ,  康昌霖

IPC: A61B5/11 ,  G08C17/02

Abstract: 贴片式无线传输电子运动采集装置，涉及一种电子运动采集装置。设有贴片式动作采集模组和数据接收模组；所述贴片式动作采集模组设有传感器、信号处理模块、动作采集蓝牙模块和动作采集电源；传感器的输出端接信号处理模块的输入端口，信号处理模块的输出端口接动作采集蓝牙模块的输入端，动作采集蓝牙模块发射数据；所述数据接收模组设有数据接收蓝牙模块、单片机、闪存芯片和数据接收电源；数据接收蓝牙模块接收动作采集蓝牙模块发射的数据，数据接收蓝牙模块的输出端与单片机的输入端口连接，单片机的输出端口与闪存芯片连接，单片机的数据输出端口通过USB串口接入PC机保存并在PC机中进行运动分析。