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公开(公告)号：CN102150068A
公开(公告)日：2011-08-10
申请号：CN200980135379.4
申请日：2009-08-26
申请人： 卡尔蔡司SMT有限责任公司
CPC分类号： G03F7/702 , G02B7/181 , G02B17/0657 , G02B17/0663 , G02B21/04 , G02B26/06 , G02B26/0825 , G03F7/70233 , G03F7/70266
摘要： 一种具有多个反射镜(M1至M6)的成像光学系统(31)，将物平面(5)中的物场(4)成像到像平面(9)中的像场(8)，根据以下任一个构造：a)连接轴(32)，所述连接轴(32)垂直于物平面(5)并延伸通过空间上最紧邻物场(4)的反射镜(M2)的几何中心点，最紧邻物场(4)的反射镜(M2)布置成与物场(4)相距间距(A)，间距(A)大于成像光学系统的(31)的入射光瞳面(30)离物场(4)的间距(B)，所述光瞳面(30)位于物场(4)上游的成像光(30)的光束路径中；b)具有入射光瞳面(30)，位于物场(4)上游的成像光(3)的光束路径中，其中成像光(3)在物平面(5)上被反射，具有连接轴(32)，其垂直于物平面(5)并延伸通过入射光瞳的几何中心点，其中连接轴(32)与入射光瞳面(30)的交叉点(C)比中心物场点的主光束(33)与连接轴(32)的第一交叉点(D)更靠近物平面(5)，所述第一交叉点(D)在物场(4)的下游的成像光(3)的光束路径中；其中反射镜(M5、M6)的至少一个具有通路开口(18、19)，以使成像光(3)通过；c)成像光学系统(7；31)具有与第一反射镜(M5)间隔开的另外的可变形反射镜(M3)，所述第一反射镜(M5)最紧邻两个场(4、8)中的一个并被指定为相邻反射镜，可变形反射镜(M3)被布置于与成像光学系统(7；31)中的相邻反射镜的布置平面光学共轭的平面中；d)反射镜(M5)的支撑体，由其弹性模量为其他反射镜(M1至M4、M6)的至少一个的支撑体(22)的材料的弹性模量的至少两倍大的材料制成，反射镜(M5)为最靠近两个场(4、8)中的一个的相邻反射镜。
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公开(公告)号：CN102124411B
公开(公告)日：2014-08-27
申请号：CN200980119381.2
申请日：2009-03-30
申请人： 卡尔蔡司SMT有限责任公司
CPC分类号： G03F9/7026 , G03F7/70233 , G03F7/70666
摘要： 本发明涉及一种用于微光刻投射照明的设备(10)。所述设备包括：光学系统(18)，用于通过利用成像辐射(13)投射掩模结构(16)而将所述掩模结构(16)成像到基底(20)的表面(21)上，其中所述光学系统(18)被配置为在EUV和/或更高频率的波长范围中操作；以及测量光束路径(36)，用于引导测量辐射(34)，其中所述测量光束路径(36)在所述光学系统(18)内延伸，使得在所述设备(10)的操作期间，所述光学系统(18)仅部分地被所述测量辐射(34)辐射。
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公开(公告)号：CN101836165B
公开(公告)日：2016-12-07
申请号：CN200880113387.4
申请日：2008-10-11
申请人： 卡尔蔡司SMT有限责任公司
IPC分类号： G03F7/20
CPC分类号： G02B5/0891 , G02B13/143 , G02B17/06 , G03F7/70175 , G03F7/70233
摘要： 成像光学系统(7)具有多个镜(M1至M6)。这些镜将物平面(5)中的物场(4)成像到像平面(9)中的像场(8)。在成像光学系统(7)中，镜(M1至M6)的反射表面上的成像光(3)的最大入射角和成像系统(7)的像方数值孔径的比小于33.8°。这产生为镜的反射涂层提供好的条件的成像光学系统，利用该成像光学系统，当成像光通过该成像光学系统时，尤其甚至在小于10 nm的EUV范围内的波长，对于成像光仍能够获得低的反射损失。
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公开(公告)号：CN101978324B
公开(公告)日：2013-04-03
申请号：CN200980110023.5
申请日：2009-02-28
申请人： 卡尔蔡司SMT有限责任公司
IPC分类号： G03F7/20
CPC分类号： G03F7/70316 , G02B17/0663 , G03F7/702 , G03F7/70233
摘要： 一种用于微光刻的投射物镜(7)被用于将物平面(5)中的物场(4)成像为像平面(9)中的像场(8)。所述投射物镜(7)包括至少六个反射镜(M1至M6)，其中至少一个反射镜具有自由形状反射面。根据本发明的第一方面，投射物镜(7)的总长度(T)与物像位移(dOIS)的比小于12。根据本发明的另一方面，像平面(9)是物平面(5)的下游的投射物镜(7)的第一个场平面。根据本发明的另一方面，投射物镜具有多个反射镜(M1至M6)，其中总长度(T)与物像位移(dOIS)之间的比小于2。
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公开(公告)号：CN102150068B
公开(公告)日：2015-07-08
申请号：CN200980135379.4
申请日：2009-08-26
申请人： 卡尔蔡司SMT有限责任公司
CPC分类号： G03F7/702 , G02B7/181 , G02B17/0657 , G02B17/0663 , G02B21/04 , G02B26/06 , G02B26/0825 , G03F7/70233 , G03F7/70266
摘要： 一种具有多个反射镜(M1至M6)的成像光学系统(31)，将物平面(5)中的物场(4)成像到像平面(9)中的像场(8)，根据以下任一个构造：a)连接轴(32)，所述连接轴(32)垂直于物平面(5)并延伸通过空间上最紧邻物场(4)的反射镜(M2)的几何中心点，最紧邻物场(4)的反射镜(M2)布置成与物场(4)相距间距(A)，间距(A)大于成像光学系统的(31)的入射光瞳面(30)离物场(4)的间距(B)，所述光瞳面(30)位于物场(4)上游的成像光(30)的光束路径中；b)-具有入射光瞳面(30)，位于物场(4)上游的成像光(3)的光束路径中，其中成像光(3)在物平面(5)上被反射，-具有连接轴(32)，其垂直于物平面(5)并延伸通过入射光瞳的几何中心点，-其中连接轴(32)与入射光瞳面(30)的交叉点(C)比中心物场点的主光束(33)与连接轴(32)的第一交叉点(D)更靠近物平面(5)，所述第一交叉点(D)在物场(4)的下游的成像光(3)的光束路径中；-其中反射镜(M5、M6)的至少一个具有通路开口(18、19)，以使成像光(3)通过；c)成像光学系统(7；31)具有与第一反射镜(M5)间隔开的另外的可变形反射镜(M3)，所述第一反射镜(M5)最紧邻两个场(4、8)中的一个并被指定为相邻反射镜，可变形反射镜(M3)被布置于与成像光学系统(7；31)中的相邻反射镜的布置平面光学共轭的平面中；d)反射镜(M5)的支撑体，由其弹性模量为其他反射镜(M1至M4、M6)的至少一个的支撑体(22)的材料的弹性模量的至少两倍大的材料制成，反射镜(M5)为最靠近两个场(4、8)中的一个的相邻反射镜。
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公开(公告)号：CN101836164B
公开(公告)日：2013-03-13
申请号：CN200880113375.1
申请日：2008-10-02
申请人： 卡尔蔡司SMT有限责任公司
发明人： 汉斯-于尔根·曼
CPC分类号： G03F7/702 , G02B17/02 , G02B17/0652 , G03F7/70058 , G03F7/70225 , G03F7/70233 , G03F7/70275
摘要： 成像光学系统(7)具有多个镜(M1至M8)。这些镜将物平面(5)中的物场(4)成像到像平面(9)中的像场(8)。镜(M6、M7、M8)的至少一个被遮拦，且由此具有供成像光(15)经过的通孔(21)。在像场(8)之前的光路中的第四最后镜(M5)没有被遮拦，且利用其光学有效反射表面的外边缘(22)提供成像光学系统(7)的光瞳平面中的中心遮蔽。第四最后镜(M5)和最后镜(M8)之间的距离为物场(4)和像场(8)之间的距离的至少10％，最接近像平面(9)的中间像平面(23)设置于最后镜(M8)和像平面(9)之间。成像光学系统(7)具有0.9的数值孔径。这些措施不需所有必须同时实现，且导致了成像光学系统具有改善的成像性能和/或减少的生产成本。
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公开(公告)号：CN101755231B
公开(公告)日：2013-01-16
申请号：CN200880025278.7
申请日：2008-07-09
申请人： 卡尔蔡司SMT有限责任公司
发明人： 汉斯-于尔根·曼
CPC分类号： G02B17/0663 , G02B13/22 , G02B13/26 , G03F7/70233 , G03F7/70833
摘要： 本发明涉及投射物镜(1)，投射物镜(1)用于将在至少1.5的场纵横比(x/y)的物平面(3)中的物场(2)在像平面(5)中的像场(4)中复制。投射物镜(1)具有至少两个光学有效表面(M1至M6)，用于在物场(2)和像场(4)之间的光束路径中引导成像光(6)。投射物镜(1)占据具有立方包络(11)的安装空间。安装空间跨越长度尺度(z2)和两个横向尺度(x2、y2)。在一个实施例中，平行于物场(2)的短尺度(y1)的立方包络(11)的横向尺度(y2)小于物场(2)的长尺度(x1)。可替代地或另外地，立方包络的两个横向尺度能够具有至少1.1的横向尺度纵横比(x2、y2)。这导致相比现有技术，能够在至少一尺度中更紧凑地配置的投射物镜。
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公开(公告)号：CN102341738A
公开(公告)日：2012-02-01
申请号：CN201080010584.0
申请日：2010-02-26
申请人： 卡尔蔡司SMT有限责任公司
发明人： 汉斯-于尔根·曼
CPC分类号： G03F7/70233 , G02B17/0652 , G02B17/0657
摘要： 成像光学部件(7)具有至少6个反射镜(M1至M8)，该六个反射镜将物平面(5)中的物场(4)成像到像平面(9)中的像场(8)。该成像光学部件(7)的入瞳布置在该物场(4)前面的成像光束路径中。该反射镜(M7、M8)中的至少一个具有用于成像光(3)通过的通孔(19)。机械可达的光瞳位于该物场(4)与通孔(19)中的第一者之间的成像光束路径中的光瞳平面(17)中，在该机械可达的光瞳中布置有用于对成像光学部件(7)的光瞳进行中心遮拦的遮挡光阑(20)。在该物场(4)后的成像光束路径中直接在第二反射镜(M2)之后的第一成像部分光束(24)与在该物场(4)后的成像光束路径中直接在第四反射镜(M4)之后的第二成像部分光束(25)在交叉区域(26)中彼此相交。结果是一成像光学部件，在该成像光学部件中实现关于成像光的小成像误差的可处理组合、可管理的生产以及好的光通过率。
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公开(公告)号：CN102341738B
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201080010584.0
申请日：2010-02-26
申请人： 卡尔蔡司SMT有限责任公司
发明人： 汉斯-于尔根·曼
CPC分类号： G03F7/70233 , G02B17/0652 , G02B17/0657
摘要： 成像光学部件(7)具有至少6个反射镜(M1至M8)，该六个反射镜将物平面(5)中的物场(4)成像到像平面(9)中的像场(8)。该成像光学部件(7)的入瞳布置在该物场(4)前面的成像光束路径中。该反射镜(M7、M8)中的至少一个具有用于成像光(3)通过的通孔(19)。机械可达的光瞳位于该物场(4)与通孔(19)中的第一者之间的成像光束路径中的光瞳平面(17)中，在该机械可达的光瞳中布置有用于对成像光学部件(7)的光瞳进行中心遮拦的遮挡光阑(20)。在该物场(4)后的成像光束路径中直接在第二反射镜(M2)之后的第一成像部分光束(24)与在该物场(4)后的成像光束路径中直接在第四反射镜(M4)之后的第二成像部分光束(25)在交叉区域(26)中彼此相交。结果是一成像光学部件，在该成像光学部件中实现关于成像光的小成像误差的可处理组合、可管理的生产以及好的光通过率。
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公开(公告)号：CN101802717B
公开(公告)日：2014-01-29
申请号：CN200880108261.8
申请日：2008-09-18
申请人： 卡尔蔡司SMT有限责任公司
CPC分类号： G02B5/003 , G02B5/005 , G02B17/0657 , G02B27/0018 , G03F7/70233
摘要： 用于微光刻的具有遮挡光瞳的投射物镜(10)包括：第一光学表面(S4)，其具有提供用于施加有用光的第一区域；和至少一个第二光学表面(S5)，其具有提供用于施加有用光的第二区域，有用光的束包络(SH)在第一区域和第二区域之间延展。在第一光学表面(S4)和第二光学表面(S5)之间布置至少一个管，该管在光传播方向的输入侧和输出侧开口并用于屏蔽散射光，所述管的壁在有用光的波长范围是不透明的，并且所述管在有用光的传播方向中至少在束包络(SH)的部分长度上展延并沿周边围绕束包络(SH)。
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