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公开(公告)号：CN103050361A
公开(公告)日：2013-04-17
申请号：CN201210543969.4
申请日：2012-10-08
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
IPC: H01J37/32
CPC classification number: H01J37/265 , H01J37/045 , H01J37/1472 , H01J37/1474 , H01J37/28 , H01J2237/043 , H01J2237/063 , H01J2237/15 , H01J2237/2487 , H01J2237/2602
Abstract: 一种运行粒子束系统的方法，其包括确定连接至数据网络的束偏转模块的偏转量及偏转时间；确定连接至数据网络的束熄灭模块的不熄灭时间；确定连接至数据网络的束熄灭模块的熄灭时间；产生包括多个数据记录的数据结构，其中每一个数据记录包括表示用于至少一个模块的指令的命令，以及表示将指令发送给数据网络的时间的命令时间；按照命令时间将数据结构的记录分类；基于数据结构，产生一组数字命令；以及以与分类的记录的顺序相应的顺序发送该组的数字命令至网络。
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公开(公告)号：CN103050361B
公开(公告)日：2017-03-01
申请号：CN201210543969.4
申请日：2012-10-08
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
IPC: H01J37/32
CPC classification number: H01J37/265 , H01J37/045 , H01J37/1472 , H01J37/1474 , H01J37/28 , H01J2237/043 , H01J2237/063 , H01J2237/15 , H01J2237/2487 , H01J2237/2602
Abstract: 一种运行粒子束系统的方法，其包括确定连接至数据网络的束偏转模块的偏转量及偏转时间；确定连接至数据网络的束熄灭模块的不熄灭时间；确定连接至数据网络的束熄灭模块的熄灭时间；产生包括多个数据记录的数据结构，其中每一个数据记录包括表示用于至少一个模块的指令的命令，以及表示将指令发送给数据网络的时间的命令时间；按照命令时间将数据结构的记录分类；基于数据结构，产生一组数字命令；以及以与分类的记录的顺序相应的顺序发送该组的数字命令至网络。
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