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公开(公告)号：CN103050361B
公开(公告)日：2017-03-01
申请号：CN201210543969.4
申请日：2012-10-08
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
IPC: H01J37/32
CPC classification number: H01J37/265 , H01J37/045 , H01J37/1472 , H01J37/1474 , H01J37/28 , H01J2237/043 , H01J2237/063 , H01J2237/15 , H01J2237/2487 , H01J2237/2602
Abstract: 一种运行粒子束系统的方法，其包括确定连接至数据网络的束偏转模块的偏转量及偏转时间；确定连接至数据网络的束熄灭模块的不熄灭时间；确定连接至数据网络的束熄灭模块的熄灭时间；产生包括多个数据记录的数据结构，其中每一个数据记录包括表示用于至少一个模块的指令的命令，以及表示将指令发送给数据网络的时间的命令时间；按照命令时间将数据结构的记录分类；基于数据结构，产生一组数字命令；以及以与分类的记录的顺序相应的顺序发送该组的数字命令至网络。
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公开(公告)号：CN117174558A
公开(公告)日：2023-12-05
申请号：CN202310599859.8
申请日：2023-05-25
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
Inventor： J·比伯格
IPC: H01J37/147 , H01J37/28 , G01N23/04 , G01N23/2251 , G01N23/20 , G01N23/20008
Abstract: 本发明涉及一种利用粒子辐射设备对物体进行成像、加工和/或分析的方法。本发明还涉及一种计算机程序产品以及一种粒子辐射设备。该方法具有以下方法步骤：引导第一粒子射束经过物体；利用第一粒子射束对物体进行加工，或者检测第一相互作用粒子和/或第一相互作用辐射，其中基于第一粒子射束与物体的相互作用得到第一相互作用粒子和/或第一相互作用辐射；在第一粒子射束仍被引导经过物体期间，操控第二偏转装置以引导第二粒子射束经过物体；使第一粒子射束从物体偏转；以及只有当第一粒子射束被偏转时，才利用第二粒子射束对物体进行加工或者检测基于第二粒子射束与物体的相互作用得到的第二相互作用粒子和/或第二相互作用辐射。
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公开(公告)号：CN118190995A
公开(公告)日：2024-06-14
申请号：CN202311683986.2
申请日：2023-12-07
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
Inventor： J·比伯格
IPC: G01N23/2251 , G01N23/2204 , G01N23/20 , G01N23/20008 , G01N23/20025 , G01N23/04
Abstract: 本发明涉及一种用于确定物体在辐射设备中的位置的方法，该辐射设备具有处理器单元并且该辐射设备用于对物体进行加工、成像和/或分析。该方法具有以下步骤：(i)在辐射设备中，一方面提供物体的可预设区域，并且另一方面提供标记，其中可预设区域关于标记具有第一位置，并且其中第一位置通过第一距离和第二距离给出；(ii)旋转物体或旋转辐射设备的接收装置；(iii)确定另外的第二距离；以及(iv)使用第一距离、第二距离以及另外的第二距离确定物体的可预设区域关于标记的第二位置。
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公开(公告)号：CN103050361A
公开(公告)日：2013-04-17
申请号：CN201210543969.4
申请日：2012-10-08
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
IPC: H01J37/32
CPC classification number: H01J37/265 , H01J37/045 , H01J37/1472 , H01J37/1474 , H01J37/28 , H01J2237/043 , H01J2237/063 , H01J2237/15 , H01J2237/2487 , H01J2237/2602
Abstract: 一种运行粒子束系统的方法，其包括确定连接至数据网络的束偏转模块的偏转量及偏转时间；确定连接至数据网络的束熄灭模块的不熄灭时间；确定连接至数据网络的束熄灭模块的熄灭时间；产生包括多个数据记录的数据结构，其中每一个数据记录包括表示用于至少一个模块的指令的命令，以及表示将指令发送给数据网络的时间的命令时间；按照命令时间将数据结构的记录分类；基于数据结构，产生一组数字命令；以及以与分类的记录的顺序相应的顺序发送该组的数字命令至网络。
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