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公开(公告)号:CN102219216A
公开(公告)日:2011-10-19
申请号:CN201110075576.0
申请日:2011-03-29
Applicant: 南昌大学
IPC: C01B33/021 , B82Y40/00
Abstract: 一种单原子厚度纳米硅带的制备方法,方法步骤为:第一步,进行除气处理;第二步,实现硅表面的清洁;第三步,通过分子束淀积技术在清洁的硅表面上生长0.5纳米厚的银层;第四步,使银原子均匀的分布在硅样品的表面;第五步,将样品升温至500摄氏度,放置15分钟将温度降下来,在升高温度,将温度增加50摄氏度,重复该过程,直到使银原子全部脱吸附掉,从而实现单原子厚度硅纳米带的制备。本发明的技术效果是:其一,首次制备出了大面积单原子厚度硅纳米带;其二,所需设备简单,易于产业化。
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公开(公告)号:CN102154709A
公开(公告)日:2011-08-17
申请号:CN201110030510.X
申请日:2011-01-28
Applicant: 南昌大学
Abstract: 一种制备低缺陷大面积硅(100)-2x1重构表面的方法,其特征是方法步骤为:第一步,通过直流电源对硅(100)样品实现击穿;第二步,实现硅表面的清洁;第三步,通过分子束淀积技术在清洁的硅表面上生长0.5纳米厚的银层;第四步,使银原子均匀分布在Si样品的表面;第五步,将样品迅速升温至1200摄氏度,使银原子全部脱吸附掉,从而实现低缺陷大面积硅(100)-2x1重构表面的制备。本发明的技术效果是:1、在制备硅(100)-2x1重构表面时,采用阶梯式的升温清洁的方法,避免了升温过快导致的样品断裂的问题;2、利用高温促使吸附在硅表面的银原子脱吸附过程,极大地降低了硅(100)-2x1重构表面的缺陷。
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