电容式湿度传感器及湿度检测方法

    公开(公告)号:CN118655193B

    公开(公告)日:2024-11-19

    申请号:CN202411141855.6

    申请日:2024-08-20

    Abstract: 本申请涉及一种电容式湿度传感器及湿度检测方法,涉及湿度传感器技术领域,电容式湿度传感器包括气体压缩腔;至少一个进气口和至少一个出气口,均分别与气体压缩腔连通;压电片位于气体压缩腔内部,且覆盖进气口;用于控制进气口的通气状态;电磁阀位于出气口和气体压缩腔之间;用于控制出气口的通气状态;湿度电容模组位于气体压缩腔内、且背离进气口的一侧;用于检测气体压缩腔内的气体的湿度;其中,气体压缩腔内靠近进气口一侧的内径、大于气体压缩腔内靠近湿度电容模组一侧的内径。通过控制湿度传感器主动吸收待测气体到气体压缩腔,并集中和压缩气体,以提高待测气体分子在湿度电容模组中的吸附率,进而提高湿度传感器的灵敏度和测量精度。

    SF6分解物传感器及其制备方法
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN119757511A

    公开(公告)日:2025-04-04

    申请号:CN202411955957.1

    申请日:2024-12-28

    Abstract: 本申请涉及一种SF6分解物传感器及其制备方法。SF6分解物传感器包括依次层叠设置的第一电极、第二电极和第三电极;第一电极靠近第二电极一侧的表面上设置有微米柱阵列,且第一电极上设置有至少一个通孔;第二电极靠近第一电极一侧的表面上设置有微米柱阵列,且第二电极上设置有至少一个通孔;第三电极靠近第二电极一侧的表面上设置有微米柱阵列,且第三电极上设置有凹槽;其中,各电极上的微米柱阵列中的各微米柱的材料均是SU‑8光刻胶和硅材料的复合物;第一电极和第二电极之间设置有第一支撑件,以隔离第一电极和第二电极;第二电极和第三电极之间设置有第二支撑件,以隔离第二电极和第三电极。本方案的SF6分解物传感器灵敏度较高。

    电容式湿度传感器及湿度检测方法

    公开(公告)号:CN118655193A

    公开(公告)日:2024-09-17

    申请号:CN202411141855.6

    申请日:2024-08-20

    Abstract: 本申请涉及一种电容式湿度传感器及湿度检测方法,涉及湿度传感器技术领域,电容式湿度传感器包括气体压缩腔;至少一个进气口和至少一个出气口,均分别与气体压缩腔连通;压电片位于气体压缩腔内部,且覆盖进气口;用于控制进气口的通气状态;电磁阀位于出气口和气体压缩腔之间;用于控制出气口的通气状态;湿度电容模组位于气体压缩腔内、且背离进气口的一侧;用于检测气体压缩腔内的气体的湿度;其中,气体压缩腔内靠近进气口一侧的内径、大于气体压缩腔内靠近湿度电容模组一侧的内径。通过控制湿度传感器主动吸收待测气体到气体压缩腔,并集中和压缩气体,以提高待测气体分子在湿度电容模组中的吸附率,进而提高湿度传感器的灵敏度和测量精度。

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