公开(公告)号：CN119757511A

公开(公告)日：2025-04-04

申请号：CN202411955957.1

申请日：2024-12-28

Applicant: 南方电网数字电网研究院股份有限公司

Inventor： 田兵 ,  赵继光 ,  谭则杰 ,  徐振恒 ,  骆柏锋 ,  吕前程 ,  赵雅茜 ,  张勇 ,  彭愈琦 ,  王睿哲

IPC: G01N27/68 ,  G01N27/70

Abstract: 本申请涉及一种SF6分解物传感器及其制备方法。SF6分解物传感器包括依次层叠设置的第一电极、第二电极和第三电极；第一电极靠近第二电极一侧的表面上设置有微米柱阵列，且第一电极上设置有至少一个通孔；第二电极靠近第一电极一侧的表面上设置有微米柱阵列，且第二电极上设置有至少一个通孔；第三电极靠近第二电极一侧的表面上设置有微米柱阵列，且第三电极上设置有凹槽；其中，各电极上的微米柱阵列中的各微米柱的材料均是SU‑8光刻胶和硅材料的复合物；第一电极和第二电极之间设置有第一支撑件，以隔离第一电极和第二电极；第二电极和第三电极之间设置有第二支撑件，以隔离第二电极和第三电极。本方案的SF6分解物传感器灵敏度较高。