Patent search ap:("南开大学") AND inv:"牛彬雯" Page 1

1.

发明公开
一种局域掺杂铌酸锂薄膜及其制备方法和应用审中-实审

公开(公告)号：CN119932499A

公开(公告)日：2025-05-06

申请号：CN202510022222.1

申请日：2025-01-07

Applicant: 南开大学

Inventor： 郑大怀 , 牛彬雯 , 刘宏德 , 刘士国 , 孔勇发 , 许京军

IPC: C23C14/35 , C23C14/06 , C23C14/04

Abstract: 本发明提供一种局域掺杂铌酸锂薄膜及其制备方法和应用，属于集成光学领域。本方法包括：磁控溅射法在铌酸锂晶片表面局域镀膜、局域镀膜的铌酸锂晶片在缺锂坩埚中进行扩散、利用Smart‑cutting技术制备局域掺杂铌酸锂薄膜。本发明制备方法工艺简单，克服了现有技术无法在铌酸锂晶片表面局部区域定制成膜的问题，还克服了有源无源薄膜拼接时存在的对准、接口损耗等问题。

Patent Agency Ranking