一种磁控溅射法制备涂层导体Y1-XRExBCO超导层的方法

    公开(公告)号:CN105525267A

    公开(公告)日:2016-04-27

    申请号:CN201610037521.3

    申请日:2016-01-20

    CPC classification number: Y02E40/642 C23C14/35 C23C14/08 H01B12/06

    Abstract: 本发明提供一种涂层导体Y1-xRExBCO超导层的生长方法,具体涉及一种利用磁控溅射法在铝酸镧(LAO)基片上制备Y1-xRExBCO超导层的方法,有效克服YBCO超导层的厚度效应,提高超导载流能力。先用Sm或者Gd部分代替Y制备Y1-xRExBCO磁控溅射靶材,然后再将反应室抽真空至真空度小于等于5×10-4Pa,将LAO基片加热至600~700℃,20~30分钟后充入氩气和氧气至腔体气压稳定在30~60Pa,氧气氩气比例为1:2~1:3,以Y1-xRExBCO为靶材,开始溅射。溅射结束后,降温至400~450℃并充入氧气至气压维持在700~750mbar,进行40~80分钟退火处理。镀膜结束,将温度降至室温,得到LAO基带上生长的Y1-xRExBCO超导层。利用该方法能生产出Y1-xRExBCO超导层的厚度达到3μm的涂层导体。

    一种涂层导体DyBCO超导层的生长方法及DyBCO涂层导体

    公开(公告)号:CN103614697A

    公开(公告)日:2014-03-05

    申请号:CN201310557573.X

    申请日:2013-11-08

    CPC classification number: Y02E40/642

    Abstract: 本发明提供一种涂层导体DyBCO超导层的生长方法及DyBCO涂层导体,具体涉及一种在具有立方织构氧化物隔离层的金属基带上制备DyBCO超导层的方法,有效克服YBCO超导层的厚度效应,提高超导载流能力。该制备方法利用磁控溅射沉积技术。先将反应室抽真空至真空度小于等于5×10-4Pa,将金属基带加热至600-700℃,20-30分钟后充入氩气和氧气至腔体气压稳定在30-60Pa,氧气氩气比例为1:2-1:3,以DyBCO为靶材,开始溅射。溅射结束后,降温至400-450℃并充入氧气至气压维持在700-750mbar,进行40-80分钟退火处理。镀膜结束,将温度降至室温,得到具有立方织构氧化物隔离层的金属基带上生长的DyBCO超导层。利用该方法能生产出DyBCO超导层的厚度大于2μm的涂层导体,该涂层导体是现有技术中所没有。

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