一种无源无线气体传感器
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116106376A

    公开(公告)日:2023-05-12

    申请号:CN202211433584.2

    申请日:2022-11-16

    Abstract: 本发明属于无源无线气体传感器技术领域,公开了一种无源无线气体传感器,气体传感器包括硅衬底层,在硅衬底层上设置有上介电层和下介电层,在上介电层和下介电层之间设置有多晶硅导电层,气体传感器还包括设置在所述上介电层上方的无源无线气敏结构单元和设置在所述硅衬底层下方的无源无线温控结构单元,无源无线气敏结构单元与无源无线温控结构单元电互联,无源无线气敏结构单元包括气敏信号读取线圈和气敏电极单元,无源无线温控结构单元的温控信号由温控线圈和片上开关单元构成。本发明提高气体传感器结构的集成度和稳定性,具有无源无线温度控制功能,进而简化温度调理电路的复杂度,该无源无线气体传感器高灵敏度、稳定性好。

    一种阵列式多温区的气体传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN115901864B

    公开(公告)日:2024-01-19

    申请号:CN202211473397.7

    申请日:2022-11-23

    Abstract: 本发明公开了一种阵列式多温区的气体传感器及其制备方法,包括衬底层以及设于衬底层上的珀尔帖控温单元至少二组珀尔帖控温单元;珀尔帖控温单元包括分离设于衬底层上珀尔帖放热单元、珀尔帖吸热单元,珀尔帖放热单元、珀尔帖吸热单元顶面依次设有导热层以及导热层顶面设置的绝缘层和保护层;保护层顶面阵列排布有若干组气敏电极,各组气敏电极上设有不同种类和厚度的气敏材料层。本发明的气体传感器,合理布置珀尔帖控温单元结构,实现温度精确选择和控制,提高气体传感器准确性和稳定性;采用阵列式分布有多个气敏电极和气敏材料层,实现多温区布局,提高气体传感器的检测能力;温控结构具有工艺兼容、体积小、响应速度快、调理电路简单、高精度控温等优点。

    一种阵列式多温区的气体传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN115901864A

    公开(公告)日:2023-04-04

    申请号:CN202211473397.7

    申请日:2022-11-23

    Abstract: 本发明公开了一种阵列式多温区的气体传感器及其制备方法,包括衬底层以及设于衬底层上的珀尔帖控温单元至少二组珀尔帖控温单元;珀尔帖控温单元包括分离设于衬底层上珀尔帖放热单元、珀尔帖吸热单元,珀尔帖放热单元、珀尔帖吸热单元顶面依次设有导热层以及导热层顶面设置的绝缘层和保护层;保护层顶面阵列排布有若干组气敏电极,各组气敏电极上设有不同种类和厚度的气敏材料层。本发明的气体传感器,合理布置珀尔帖控温单元结构,实现温度精确选择和控制,提高气体传感器准确性和稳定性;采用阵列式分布有多个气敏电极和气敏材料层,实现多温区布局,提高气体传感器的检测能力;温控结构具有工艺兼容、体积小、响应速度快、调理电路简单、高精度控温等优点。

    一种接收光谱式气体传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN118730924A

    公开(公告)日:2024-10-01

    申请号:CN202410750370.0

    申请日:2024-06-12

    Abstract: 本申请涉及气体传感器技术领域,具体而言,涉及一种接收光谱式气体传感器及其制备方法。其中,接收光谱式气体传感器,包括:主体,包括第一衬底和第二衬底,第一衬底和第二衬底相互平行,第一衬底和第二衬底之间设置有气体腔;发光单元,设置于第一衬底,用于向气体腔内发出多束检测光;多个探测器,设置于第一衬底,并围绕发光单元的周向间隔分布;多个反射器,设置于第二衬底并与多个探测器相对应,能够反射多束检测光以使多束检测光分别被多个探测器接收。本申请实施例的接收光谱式气体传感器,能够实现多光路检测,有利于改善现有接收光谱式气体传感器因气体分散不均匀而导致检测误差的问题。

    一种自修复的气体传感器及其制作方法

    公开(公告)号:CN118641590A

    公开(公告)日:2024-09-13

    申请号:CN202410573862.7

    申请日:2024-05-10

    Abstract: 本发明涉及气体传感器技术领域,公开了一种自修复的气体传感器及其制作方法,此气体传感器包括气敏单元和发光单元,其中,气敏单元,其包括第一硅衬底,设置于所述第一硅衬底顶表面的氧化硅层,以及设置于所述氧化硅层顶表面的气敏电极,所述第一硅衬底和氧化硅层的中部具有贯穿腔;发光单元,设置于所述第一硅衬底的底表面,其包括第二硅衬底和设置于所述第二硅衬底中部区域的自修复发光阵列及加热发光阵列;所述自修复发光阵列和加热发光阵列均位于所述贯穿腔内;本发明中的气体传感器结构简单,一体性高,利用特定气敏材料的自修复性实现自修复,具有操作简单,稳定性好,使用寿命长的特点。

    一种气体传感器及其加工方法
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117783220A

    公开(公告)日:2024-03-29

    申请号:CN202311770190.0

    申请日:2023-12-21

    Abstract: 本发明公开了一种气体传感器及其加工方法,属于气体传感器技术领域,加工方法包括:在硅衬底上依次形成氧化层、氮化物层、加热电极和绝缘层;去除第一预设区域内的氮化物层和绝缘层,由剩余的氮化物层分别形成氮化物岛层和氮化物支撑层,由剩余的绝缘层分别形成绝缘岛层和绝缘支撑层,由氮化物岛层、加热电极和绝缘岛层形成岛部加热组件,并利用连接件连接岛部加热组件和绝缘支撑层;去除第二预设区域内的硅衬底和氧化层,由第二预设区域形成隔热槽;在绝缘岛层上形成具有片上去除湿度干扰结构的敏感电极。本发明提供的气体传感器加工方法,加工工艺简单,加工而成的气体传感器具有片上去除湿度干扰结构,灵敏度高、使用寿命长。

    一种太阳能电池组件等效电路参数的提取和估算方法

    公开(公告)号:CN114491389A

    公开(公告)日:2022-05-13

    申请号:CN202210037734.1

    申请日:2022-01-13

    Abstract: 本发明公开了一种太阳能电池组件等效电路参数的提取和估算方法,涉及光伏发电技术领域;首先,针对太阳能电池组件的电流‑电压标准测试曲线,利用线性代数矩阵运算和最小二乘法提取太阳能电池组件等效电路参数的标准值,包括太阳能电池组件在标准测试条件下的光生电流、并联电阻、串联电阻、理想因子,反向饱和电流。其次,根据太阳能电池组件标注的短路电流温度系数和开路电压温度系数,估算在任意光照和温度条件下的等效电路参数。本发明能够实现太阳电池等效电路参数的自动化提取,无需人为干预,根据等效电路参数拟合的电流值与实际测量值的误差在10‑2A量级,适用于有高精度、自动化及快速检测需求的应用场合。

    一种同时检测温度、湿度的LC无源无线传感器

    公开(公告)号:CN110108381A

    公开(公告)日:2019-08-09

    申请号:CN201910344137.1

    申请日:2019-04-26

    Abstract: 本发明公开了一种同时检测温度、湿度的LC无源无线传感器,包括衬底,衬底上方设置有叉指正电极、叉指负电极、电感线圈,衬底与叉指正电极、叉指负电极、电感线圈之间存在一个空腔;叉指负电极表面覆有一层敏感介质,叉指正电极和叉指负电极形成叉指结构,叉指正电极和叉指负电极之间有空气层,构成检测电容;电感线圈位于叉指正电极和叉指负电极的外围,电感线圈的尾部通过引线与叉指负电极连接,电感线圈与检测电容构成LC传感器谐振回路单元;所述空腔的四周设置有自下而上的氧化层、底层钝化层、顶层钝化层,氧化层位于衬底上。本发明可以实现对温度和湿度的同时检测,具有灵敏度高,响应快,结构简单、体积小、成本低、寿命长的优点。

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