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公开(公告)号：CN110108381A
公开(公告)日：2019-08-09
申请号：CN201910344137.1
申请日：2019-04-26
Applicant: 南京邮电大学
Abstract: 本发明公开了一种同时检测温度、湿度的LC无源无线传感器，包括衬底，衬底上方设置有叉指正电极、叉指负电极、电感线圈，衬底与叉指正电极、叉指负电极、电感线圈之间存在一个空腔；叉指负电极表面覆有一层敏感介质，叉指正电极和叉指负电极形成叉指结构，叉指正电极和叉指负电极之间有空气层，构成检测电容；电感线圈位于叉指正电极和叉指负电极的外围，电感线圈的尾部通过引线与叉指负电极连接，电感线圈与检测电容构成LC传感器谐振回路单元；所述空腔的四周设置有自下而上的氧化层、底层钝化层、顶层钝化层，氧化层位于衬底上。本发明可以实现对温度和湿度的同时检测，具有灵敏度高，响应快，结构简单、体积小、成本低、寿命长的优点。
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公开(公告)号：CN110108382A
公开(公告)日：2019-08-09
申请号：CN201910344138.6
申请日：2019-04-26
Applicant: 南京邮电大学
Abstract: 本发明公开了一种双层电感式无源无线温度传感器，包括衬底、顶金属电感线圈、底金属电感线圈、光刻胶；所述底金属电感线圈设置在衬底上表面，底金属电感线圈上覆盖有一层光刻胶，顶金属电感线圈设置在光刻胶表面；光刻胶与顶金属电感圈、底金属电感圈构成平板电容结构。光刻胶与顶金属电感圈、底金属电感圈构成的平板电容结构，即形成传感器的LC谐振回路，当温度发生变化时，传感器谐振回路的Q值会发生变化，因此检测回路的Q值或者阻抗最大值即可实现对于温度的检测。本发明的双层电感式无源无线温度传感器具有结构简单，加工方便，灵敏度高等优点。
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公开(公告)号：CN209605959U
公开(公告)日：2019-11-08
申请号：CN201920586301.5
申请日：2019-04-26
Applicant: 南京邮电大学
IPC: G01K7/00
Abstract: 本实用新型公开了一种寄生电容式LC温度传感器，包括衬底、顶金属电感线圈、底金属电感线圈、光刻胶；所述底金属电感线圈设置在衬底上表面，底金属电感线圈上覆盖有一层光刻胶，顶金属电感线圈设置在光刻胶表面；光刻胶与顶金属电感圈、底金属电感圈构成平板电容结构。光刻胶与顶金属电感圈、底金属电感圈构成的平板电容结构，即形成传感器的LC谐振回路，当温度发生变化时，传感器谐振回路的Q值会发生变化，因此检测回路的Q值或者阻抗最大值即可实现对于温度的检测。本实用新型的寄生电容式LC温度传感器具有结构简单，灵敏度高等优点。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN209605973U
公开(公告)日：2019-11-08
申请号：CN201920586302.X
申请日：2019-04-26
Applicant: 南京邮电大学
Abstract: 本实用新型公开了一种LC式温湿度传感器，包括衬底，衬底上方设置有叉指正电极、叉指负电极、电感线圈，衬底与叉指正电极、叉指负电极、电感线圈之间存在一个空腔；叉指负电极表面覆有一层敏感介质，叉指正电极和叉指负电极形成叉指结构，叉指正电极和叉指负电极之间有空气层，构成检测电容；电感线圈位于叉指正电极和叉指负电极的外围，电感线圈的尾部通过引线与叉指负电极连接，电感线圈与检测电容构成LC传感器谐振回路单元；空腔的四周设置有自下而上的氧化层、底层钝化层、顶层钝化层，氧化层位于衬底上。本实用新型可以实现对温度和湿度的同时检测，具有灵敏度高，响应快，结构简单、体积小、成本低、寿命长的优点。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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