公开(公告)号：CN106705856B

公开(公告)日：2019-05-14

申请号：CN201510463961.0

申请日：2015-07-31

Applicant: 南京理工大学

Inventor： 陈磊 ,  郑权 ,  韩志刚 ,  周斌斌 ,  张瑞 ,  宋乐 ,  周舒

IPC: G01B11/02

Abstract: 本发明提供一种基于宽带光谱域显微干涉术的近红外位移传感装置，包括宽带光源、柯勒照明系统、显微镜筒、干涉物镜、精密电控平台、短波截止滤光片、SMA905光纤接头、光纤、光谱仪、计算机和。光路结构沿光路行进方向依次是宽带光源、柯勒照明系统、显微镜筒，之后进入干涉物镜，经过干涉物镜的半透半反膜分成参考光束和测试光束，两者分别经过干涉物镜的参考板和被测件表面反射，沿原路返回并发生干涉，干涉信号经过显微镜筒的成像透镜和短波截止滤光片投射到像面，SMA905光纤接头将光纤固定于显微镜筒的像面，干涉信号通过光纤导入光谱仪，光谱仪与计算机连接，输出谱域干涉条纹。

公开(公告)号：CN103454249A

公开(公告)日：2013-12-18

申请号：CN201310419697.1

申请日：2013-09-16

Applicant: 南京理工大学

Inventor： 陈磊 ,  李金鹏 ,  陈悦 ,  宋倩 ,  宋乐 ,  周舒

IPC: G01N21/45

Abstract: 本发明公开了一种基于白光干涉的光学玻璃均匀性检测方法及装置。装置包括白光干涉仪和两个双频激光回馈位移测量系统，并且两个双频激光回馈位移测量系统和白光干涉仪为连动结构，将两个双频激光回馈位移测量系统和白光干涉仪结合为一体式结构进行移动扫描。检测方法为：标定白光干涉仪，得到光程差与条纹偏移量的比例系数；获取待测光学玻璃引入的光程差变化量，并使用位移测量系统测得待测光学玻璃同一被测位置的厚度偏差；根据白光干涉仪获得的光程差和位移测量系统获得的厚度偏差，确定待测光学玻璃的折射率偏差；扫描整个待测光学玻璃，完成待测光学玻璃的均匀性检测。本发明对光学玻璃均匀性检测的精度高、成本低，且测试过程简单方便。

公开(公告)号：CN103454249B

公开(公告)日：2016-03-02

申请号：CN201310419697.1

申请日：2013-09-16

Applicant: 南京理工大学

Inventor： 陈磊 ,  李金鹏 ,  陈悦 ,  宋倩 ,  宋乐 ,  周舒

IPC: G01N21/45

Abstract: 本发明公开了一种基于白光干涉的光学玻璃均匀性检测方法及装置。装置包括白光干涉仪和两个双频激光回馈位移测量系统，并且两个双频激光回馈位移测量系统和白光干涉仪为连动结构，将两个双频激光回馈位移测量系统和白光干涉仪结合为一体式结构进行移动扫描。检测方法为：标定白光干涉仪，得到光程差与条纹偏移量的比例系数；获取待测光学玻璃引入的光程差变化量，并使用位移测量系统测得待测光学玻璃同一被测位置的厚度偏差；根据白光干涉仪获得的光程差和位移测量系统获得的厚度偏差，确定待测光学玻璃的折射率偏差；扫描整个待测光学玻璃，完成待测光学玻璃的均匀性检测。本发明对光学玻璃均匀性检测的精度高、成本低，且测试过程简单方便。

公开(公告)号：CN106705856A

公开(公告)日：2017-05-24

申请号：CN201510463961.0

申请日：2015-07-31

Applicant: 南京理工大学

Inventor： 陈磊 ,  郑权 ,  韩志刚 ,  周斌斌 ,  张瑞 ,  宋乐 ,  周舒

IPC: G01B11/02

Abstract: 本发明提供一种基于宽带光谱域显微干涉术的近红外位移传感装置，包括宽带光源、柯勒照明系统、显微镜筒、干涉物镜、精密电控平台、短波截止滤光片、SMA905光纤接头、光纤、光谱仪、计算机和。光路结构沿光路行进方向依次是宽带光源、柯勒照明系统、显微镜筒，之后进入干涉物镜，经过干涉物镜的半透半反膜分成参考光束和测试光束，两者分别经过干涉物镜的参考板和被测件表面反射，沿原路返回并发生干涉，干涉信号经过显微镜筒的成像透镜和短波截止滤光片投射到像面，SMA905光纤接头将光纤固定于显微镜筒的像面，干涉信号通过光纤导入光谱仪，光谱仪与计算机连接，输出谱域干涉条纹。

公开(公告)号：CN105241393A

公开(公告)日：2016-01-13

申请号：CN201510618595.1

申请日：2015-09-24

Applicant: 南京理工大学

Inventor： 陈磊 ,  郑东晖 ,  张瑜 ,  朱文华 ,  胡芬 ,  李金鹏 ,  韩志刚 ,  万骏 ,  宋乐 ,  周舒 ,  陈宇琪 ,  谷晨风 ,  郑权

IPC: G01B11/24

Abstract: 本发明公开了一种高精度便携式光学表面三维形貌在线检测仪，它主要由光源、单筒干涉显微镜、图像采集系统、控制源、驱动源、移相器和工控机组成。其优点是体积小、抗振性能好、可满足光学、微电子、机械等领域超精密加工元件的高精度在线快速批量检测，可应用于芯片、LED、微机械、微光学、航空航天用光学陀螺、强激光、天文望远镜等生产与科研领域。

公开(公告)号：CN105241393B

公开(公告)日：2018-11-13

申请号：CN201510618595.1

申请日：2015-09-24

Applicant: 南京理工大学

Inventor： 陈磊 ,  郑东晖 ,  张瑜 ,  朱文华 ,  胡芬 ,  李金鹏 ,  韩志刚 ,  万骏 ,  宋乐 ,  周舒 ,  陈宇琪 ,  谷晨风 ,  郑权

IPC: G01B11/24

Abstract: 本发明公开了一种高精度便携式光学表面三维形貌在线检测仪，它主要由光源、单筒干涉显微镜、图像采集系统、控制源、驱动源、移相器和工控机组成。其优点是体积小、抗振性能好、可满足光学、微电子、机械等领域超精密加工元件的高精度在线快速批量检测，可应用于芯片、LED、微机械、微光学、航空航天用光学陀螺、强激光、天文望远镜等生产与科研领域。

公开(公告)号：CN103630336B

公开(公告)日：2016-04-20

申请号：CN201310634494.4

申请日：2013-12-02

Applicant: 南京理工大学

Inventor： 陈磊 ,  李金鹏 ,  郑东晖 ,  周舒 ,  宋乐 ,  郑权

IPC: G01M11/02

Abstract: 本发明公开了一种基于随机快轴方位角延迟阵列的动态干涉测量方法。步骤如下：采用延迟阵列作为动态干涉系统的移相器件，所述延迟阵列包含4个子波片且各子波片分别为λ/4片、λ/2片、3λ/4片、λ片，延迟阵列后方设置透振方向与水平方向夹角为45°的偏振片；在动态干涉仪测试臂中放置标准平面镜，通过CCD采集得到4个线性载频移相干涉图；对每个线性载频移相干涉图进行傅里叶变换，标定延迟阵列各子波片快轴方位角；在动态干涉仪的测试臂中放入待测件，调节待测件的倾斜俯仰及轴向离焦，得到同步移相干涉图；根据标定的各子波片快轴方位角和同步移相干涉图，处理得到待测件的相位分布。该方法快捷简单，适用于采用分光方案的动态干涉仪。

公开(公告)号：CN103630336A

公开(公告)日：2014-03-12

申请号：CN201310634494.4

申请日：2013-12-02

Applicant: 南京理工大学

Inventor： 陈磊 ,  李金鹏 ,  郑东晖 ,  周舒 ,  宋乐 ,  郑权

IPC: G01M11/02

Abstract: 本发明公开了一种基于随机快轴方位角延迟阵列的动态干涉测量方法。步骤如下：采用延迟阵列作为动态干涉系统的移相器件，所述延迟阵列包含4个子波片且各子波片分别为λ/4片、λ/2片、3λ/4片、λ片，延迟阵列后方设置透振方向与水平方向夹角为45°的偏振片；在动态干涉仪测试臂中放置标准平面镜，通过CCD采集得到4个线性载频移相干涉图；对每个线性载频移相干涉图进行傅里叶变换，标定延迟阵列各子波片快轴方位角；在动态干涉仪的测试臂中放入待测件，调节待测件的倾斜俯仰及轴向离焦，得到同步移相干涉图；根据标定的各子波片快轴方位角和同步移相干涉图，处理得到待测件的相位分布。该方法快捷简单，适用于采用分光方案的动态干涉仪。