公开(公告)号：CN105241393B

公开(公告)日：2018-11-13

申请号：CN201510618595.1

申请日：2015-09-24

Applicant: 南京理工大学

Inventor： 陈磊 ,  郑东晖 ,  张瑜 ,  朱文华 ,  胡芬 ,  李金鹏 ,  韩志刚 ,  万骏 ,  宋乐 ,  周舒 ,  陈宇琪 ,  谷晨风 ,  郑权

IPC: G01B11/24

Abstract: 本发明公开了一种高精度便携式光学表面三维形貌在线检测仪，它主要由光源、单筒干涉显微镜、图像采集系统、控制源、驱动源、移相器和工控机组成。其优点是体积小、抗振性能好、可满足光学、微电子、机械等领域超精密加工元件的高精度在线快速批量检测，可应用于芯片、LED、微机械、微光学、航空航天用光学陀螺、强激光、天文望远镜等生产与科研领域。

公开(公告)号：CN105092530A

公开(公告)日：2015-11-25

申请号：CN201510263169.0

申请日：2015-05-21

Applicant: 南京理工大学

Inventor： 陈磊 ,  郑东晖 ,  曹慧 ,  周斌斌 ,  朱文华 ,  郑权 ,  万骏 ,  韩志刚

IPC: G01N21/45

Abstract: 本发明公开了一种平行平晶光学非均匀性的绝对测量方法。步骤为：对第一透射参考平晶工作面和待测平行平晶前表面进行一次干涉测量；在待测平行平晶后面放置反射参考平晶，对第一透射参考平晶和反射参考平晶工作面进行一次干涉测量；对第一透射参考平晶工作面和待测平行平晶后表面进行一次干涉测量；对第一透射参考平晶和反射参考平晶工作面进行一次空腔干涉测量；用第二透射参考平晶替换第一透射参考平晶，对第二透射参考平晶和第一透射参考平晶工作面进行一次干涉测量；对第二透射参考平晶和反射参考平晶工作面进行一次干涉测量；综合测量结果，得到待测平行平晶的光学非均匀性。本发明简单易行、精确高效，测量对象不受前后表面平行度的限制。

公开(公告)号：CN105241393A

公开(公告)日：2016-01-13

申请号：CN201510618595.1

申请日：2015-09-24

Applicant: 南京理工大学

Inventor： 陈磊 ,  郑东晖 ,  张瑜 ,  朱文华 ,  胡芬 ,  李金鹏 ,  韩志刚 ,  万骏 ,  宋乐 ,  周舒 ,  陈宇琪 ,  谷晨风 ,  郑权

IPC: G01B11/24

Abstract: 本发明公开了一种高精度便携式光学表面三维形貌在线检测仪，它主要由光源、单筒干涉显微镜、图像采集系统、控制源、驱动源、移相器和工控机组成。其优点是体积小、抗振性能好、可满足光学、微电子、机械等领域超精密加工元件的高精度在线快速批量检测，可应用于芯片、LED、微机械、微光学、航空航天用光学陀螺、强激光、天文望远镜等生产与科研领域。

公开(公告)号：CN105092530B

公开(公告)日：2018-01-05

申请号：CN201510263169.0

申请日：2015-05-21

Applicant: 南京理工大学

Inventor： 陈磊 ,  郑东晖 ,  曹慧 ,  周斌斌 ,  朱文华 ,  郑权 ,  万骏 ,  韩志刚

IPC: G01N21/45

Abstract: 本发明公开了一种平行平晶光学非均匀性的绝对测量方法。步骤为：对第一透射参考平晶工作面和待测平行平晶前表面进行一次干涉测量；在待测平行平晶后面放置反射参考平晶，对第一透射参考平晶和反射参考平晶工作面进行一次干涉测量；对第一透射参考平晶工作面和待测平行平晶后表面进行一次干涉测量；对第一透射参考平晶和反射参考平晶工作面进行一次空腔干涉测量；用第二透射参考平晶替换第一透射参考平晶，对第二透射参考平晶和第一透射参考平晶工作面进行一次干涉测量；对第二透射参考平晶和反射参考平晶工作面进行一次干涉测量；综合测量结果，得到待测平行平晶的光学非均匀性。本发明简单易行、精确高效，测量对象不受前后表面平行度的限制。