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公开(公告)号：CN106705856A
公开(公告)日：2017-05-24
申请号：CN201510463961.0
申请日：2015-07-31
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01B11/02
Abstract: 本发明提供一种基于宽带光谱域显微干涉术的近红外位移传感装置，包括宽带光源、柯勒照明系统、显微镜筒、干涉物镜、精密电控平台、短波截止滤光片、SMA905光纤接头、光纤、光谱仪、计算机和。光路结构沿光路行进方向依次是宽带光源、柯勒照明系统、显微镜筒，之后进入干涉物镜，经过干涉物镜的半透半反膜分成参考光束和测试光束，两者分别经过干涉物镜的参考板和被测件表面反射，沿原路返回并发生干涉，干涉信号经过显微镜筒的成像透镜和短波截止滤光片投射到像面，SMA905光纤接头将光纤固定于显微镜筒的像面，干涉信号通过光纤导入光谱仪，光谱仪与计算机连接，输出谱域干涉条纹。
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公开(公告)号：CN104165599B
公开(公告)日：2017-01-25
申请号：CN201410413452.2
申请日：2014-08-20
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明提供一种偏摆工件非球面的非接触式测量系统，包括：非接触式光学轮廓仪探头、轮廓仪升降调整机构、精密三维位移台、数显倾角仪、二维偏摆台、底座及计算机系统，非接触式光学轮廓仪探头固定在轮廓仪升降调整机构上；精密三维位移台固定于二维偏摆台上，用于对被测件的承载和横向移动与定位；数显倾角仪固定于二维偏摆台上，用于测量二维偏摆台的偏摆角度；二维偏摆台固定于底座上，用于通过偏摆实现被测件的偏摆；计算机系统经与非接触式光学轮廓仪探头、精密三维位移台、数显倾角仪数据连接，接收测量点面形数据、被测件的横向位移数据及偏摆角度，进行处理实现非球面面形恢复。本发明还涉及一种偏摆工件非球面的非接触式测量方法。
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公开(公告)号：CN103454249B
公开(公告)日：2016-03-02
申请号：CN201310419697.1
申请日：2013-09-16
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01N21/45
Abstract: 本发明公开了一种基于白光干涉的光学玻璃均匀性检测方法及装置。装置包括白光干涉仪和两个双频激光回馈位移测量系统，并且两个双频激光回馈位移测量系统和白光干涉仪为连动结构，将两个双频激光回馈位移测量系统和白光干涉仪结合为一体式结构进行移动扫描。检测方法为：标定白光干涉仪，得到光程差与条纹偏移量的比例系数；获取待测光学玻璃引入的光程差变化量，并使用位移测量系统测得待测光学玻璃同一被测位置的厚度偏差；根据白光干涉仪获得的光程差和位移测量系统获得的厚度偏差，确定待测光学玻璃的折射率偏差；扫描整个待测光学玻璃，完成待测光学玻璃的均匀性检测。本发明对光学玻璃均匀性检测的精度高、成本低，且测试过程简单方便。
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公开(公告)号：CN103489186A
公开(公告)日：2014-01-01
申请号：CN201310422931.6
申请日：2013-09-16
Applicant: 南京理工大学
IPC: G06T7/00
Abstract: 本发明公开了一种动态干涉仪子干涉图的空间位置匹配方法。该方法采用相位相关法确定动态干涉仪各子干涉图的空间位置匹配误差，包括以下步骤：采集动态干涉仪的空间移相干涉图，并分割空间移相干涉图中的各个子干涉图为大小相同的子图像，每个子图像包含对应位置的整个子干涉图；以其中一幅子图像作为基准，采用相位相关法确定其它子图像中子干涉图与基准子图像中子干涉图的空间位置匹配误差；根据空间位置匹配误差，修正相位公式完成各个子干涉图的空间位置匹配。该方法提高了动态干涉仪空间位置匹配的自动化水平，降低了分光比例、图像灰度等因素对空间位置匹配造成的影响，具有很强的适用性。
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Patent Agency Ranking
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公开(公告)号：CN103630336B
公开(公告)日：2016-04-20
申请号：CN201310634494.4
申请日：2013-12-02
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明公开了一种基于随机快轴方位角延迟阵列的动态干涉测量方法。步骤如下：采用延迟阵列作为动态干涉系统的移相器件，所述延迟阵列包含4个子波片且各子波片分别为λ/4片、λ/2片、3λ/4片、λ片，延迟阵列后方设置透振方向与水平方向夹角为45°的偏振片；在动态干涉仪测试臂中放置标准平面镜，通过CCD采集得到4个线性载频移相干涉图；对每个线性载频移相干涉图进行傅里叶变换，标定延迟阵列各子波片快轴方位角；在动态干涉仪的测试臂中放入待测件，调节待测件的倾斜俯仰及轴向离焦，得到同步移相干涉图；根据标定的各子波片快轴方位角和同步移相干涉图，处理得到待测件的相位分布。该方法快捷简单，适用于采用分光方案的动态干涉仪。
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公开(公告)号：CN103630336A
公开(公告)日：2014-03-12
申请号：CN201310634494.4
申请日：2013-12-02
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明公开了一种基于随机快轴方位角延迟阵列的动态干涉测量方法。步骤如下：采用延迟阵列作为动态干涉系统的移相器件，所述延迟阵列包含4个子波片且各子波片分别为λ/4片、λ/2片、3λ/4片、λ片，延迟阵列后方设置透振方向与水平方向夹角为45°的偏振片；在动态干涉仪测试臂中放置标准平面镜，通过CCD采集得到4个线性载频移相干涉图；对每个线性载频移相干涉图进行傅里叶变换，标定延迟阵列各子波片快轴方位角；在动态干涉仪的测试臂中放入待测件，调节待测件的倾斜俯仰及轴向离焦，得到同步移相干涉图；根据标定的各子波片快轴方位角和同步移相干涉图，处理得到待测件的相位分布。该方法快捷简单，适用于采用分光方案的动态干涉仪。
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公开(公告)号：CN106705856B
公开(公告)日：2019-05-14
申请号：CN201510463961.0
申请日：2015-07-31
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01B11/02
Abstract: 本发明提供一种基于宽带光谱域显微干涉术的近红外位移传感装置，包括宽带光源、柯勒照明系统、显微镜筒、干涉物镜、精密电控平台、短波截止滤光片、SMA905光纤接头、光纤、光谱仪、计算机和。光路结构沿光路行进方向依次是宽带光源、柯勒照明系统、显微镜筒，之后进入干涉物镜，经过干涉物镜的半透半反膜分成参考光束和测试光束，两者分别经过干涉物镜的参考板和被测件表面反射，沿原路返回并发生干涉，干涉信号经过显微镜筒的成像透镜和短波截止滤光片投射到像面，SMA905光纤接头将光纤固定于显微镜筒的像面，干涉信号通过光纤导入光谱仪，光谱仪与计算机连接，输出谱域干涉条纹。
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公开(公告)号：CN104165599A
公开(公告)日：2014-11-26
申请号：CN201410413452.2
申请日：2014-08-20
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明提供一种偏摆工件非球面的非接触式测量系统，包括：非接触式光学轮廓仪探头、轮廓仪升降调整机构、精密三维位移台、数显倾角仪、二维偏摆台、底座及计算机系统，非接触式光学轮廓仪探头固定在轮廓仪升降调整机构上；精密三维位移台固定于二维偏摆台上，用于对被测件的承载和横向移动与定位；数显倾角仪固定于二维偏摆台上，用于测量二维偏摆台的偏摆角度；二维偏摆台固定于底座上，用于通过偏摆实现被测件的偏摆；计算机系统经与非接触式光学轮廓仪探头、精密三维位移台、数显倾角仪数据连接，接收测量点面形数据、被测件的横向位移数据及偏摆角度，进行处理实现非球面面形恢复。本发明还涉及一种偏摆工件非球面的非接触式测量方法。
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