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公开(公告)号：CN112944713A
公开(公告)日：2021-06-11
申请号：CN202110192011.4
申请日：2021-02-19
Applicant: 南京工程学院
Abstract: 热源塔热泵系统在中央空调系统在冷热量需求比较大的场合，传统的螺杆机冷热量无法满足要求，通常选用大冷量的高效离心式制冷机组，然而针对离心机机组而言，其受到压比的限制，不能运行在比较恶劣的工况，如冷凝器侧温度高，蒸发器侧温度低的场合，同时开式热源塔热泵系统冬季运行存在溶液浓度控制的问题。本发明提供的换热塔热泵供冷供热系统和控制方法，由两台或两台以上离心式热泵机组为基础，配备能源塔、塔水泵、用户水泵、溶液浓度检测系统、溶液箱、溶液泵、集水器、分水器等。该系统通过模式切换，夏季可以实现高效制冷、冬季可以实现高效供暖，且冬季溶液浓度可以实现根据需求动态调整，实现整个系统冬夏均能够高效运行。
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公开(公告)号：CN116538829A
公开(公告)日：2023-08-04
申请号：CN202310377337.3
申请日：2023-04-10
Applicant: 南京工程学院
Abstract: 一种多功能热源塔溶液处理装置，溶液水槽上方设有冷却除湿盘管，冷却除湿盘管两边设有填料，填料两侧设有热管，溶液水槽通过管路分别连接两个溶液出口，第一溶液出口连接溶液箱高处，第二溶液出口连接塔出口溶液管，冷却除湿盘管通过管路分别连接两个溶液进口和两个溶液出口，第一溶液进口管通过管路连接塔入口管，第二溶液进口管通过管路连接溶液箱低处，冷却除湿盘管通过管路经过浓度计分为两路，一路连接第一溶液出口，另一路连接第二溶液出口。本发明提供了一种多功能热源塔溶液处理装置，可以综合实现热源塔溶液添加功能、溶液净化功能、溶液浓度检测功能、溶液再生功能、溶液回收功能、溶液液位控制功能以及溶液低温控制功能七种功能。
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公开(公告)号：CN112944713B
公开(公告)日：2022-11-01
申请号：CN202110192011.4
申请日：2021-02-19
Applicant: 南京工程学院
Abstract: 热源塔热泵系统在中央空调系统在冷热量需求比较大的场合，传统的螺杆机冷热量无法满足要求，通常选用大冷量的高效离心式制冷机组，然而针对离心机机组而言，其受到压比的限制，不能运行在比较恶劣的工况，如冷凝器侧温度高，蒸发器侧温度低的场合，同时开式热源塔热泵系统冬季运行存在溶液浓度控制的问题。本发明提供的换热塔热泵供冷供热系统和控制方法，由两台或两台以上离心式热泵机组为基础，配备能源塔、塔水泵、用户水泵、溶液浓度检测系统、溶液箱、溶液泵、集水器、分水器等。该系统通过模式切换，夏季可以实现高效制冷、冬季可以实现高效供暖，且冬季溶液浓度可以实现根据需求动态调整，实现整个系统冬夏均能够高效运行。
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公开(公告)号：CN116697637A
公开(公告)日：2023-09-05
申请号：CN202310574969.9
申请日：2023-05-22
Applicant: 南京工程学院
Abstract: 本发明提供了一种热源塔溶液复合再生系统，包括再生塔、溶液罐、驱动热源，以及在上述各设备之间搭建有多条管线，包括所述溶液罐上连接的排气管线和一号进液管线；沿溶液罐→驱动热源→一号换热器→二号换热器→溶液罐连接的低压沸腾管线，与喷淋头相连的二号进液管线；与溶液罐和溶液池相连的出液管线相连。本发明复合再生系统包含有两条再生系统，同时具有低压沸腾再生功能和热空气再生功能，只通过设置一套驱动热源便可同时驱动两路再生系统协同配合工作，具有较高的再生效率。
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公开(公告)号：CN116005134A
公开(公告)日：2023-04-25
申请号：CN202310007115.2
申请日：2023-01-04
Applicant: 南京工程学院
IPC: C23C16/455 , C23C16/30 , C23C16/52
Abstract: 本发明实施例公开了一种基于原子层沉积的二硫化钽薄膜制备装置及方法，涉及微纳米制造技术领域，能够减少合成生长的温度，以便于较少能耗和元器件损耗，从而增加元件使用寿命，减低使用成本。本发明包括：源路Ⅰ、多温区协同固体源输送装置、源路Ⅱ、反应腔体装置、尾气处理装置。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116005134B
公开(公告)日：2025-03-14
申请号：CN202310007115.2
申请日：2023-01-04
Applicant: 南京工程学院
IPC: C23C16/455 , C23C16/30 , C23C16/52
Abstract: 本发明实施例公开了一种基于原子层沉积的二硫化钽薄膜制备装置及方法，涉及微纳米制造技术领域，能够减少合成生长的温度，以便于较少能耗和元器件损耗，从而增加元件使用寿命，减低使用成本。本发明包括：源路Ⅰ、多温区协同固体源输送装置、源路Ⅱ、反应腔体装置、尾气处理装置。
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公开(公告)号：CN218932297U
公开(公告)日：2023-04-28
申请号：CN202320009402.2
申请日：2023-01-04
Applicant: 南京工程学院
IPC: C23C16/455
Abstract: 本实用新型实施例公开了一种用于原子层沉积系统的固体源输送装置，涉及微纳米制造技术领域。本实用新型的结构包括：固体源(14)、手动阀V1(13)、气动阀V11(9)、控制系统、固体源加热装置1(1)、固体源加热装置2(11)、固体源加热装置3(12)、固体源加热装置4(15)。由于采用多温区共同加热，尤其是对阀体、管路等的容易形成冷凝的区域准备了专门的加热装置，减少阀体、管路的冷凝现象，增加元件使用寿命。
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公开(公告)号：CN218521335U
公开(公告)日：2023-02-24
申请号：CN202222334333.0
申请日：2022-09-02
Applicant: 南京工程学院
IPC: C23C16/455 , C23C16/48 , C23C16/44
Abstract: 本实用新型实施例公开了一种二级加热反应腔体装置，涉及原子层沉积技术领域，能够降低能源的消耗。本实用新型包括：进气端密封法兰，第一级加热装置，第二级加热装置，压力表，真空泵，出气端密封法兰，反应腔体，气动阀Ⅱ，气动阀Ⅰ。所述的进气端密封法兰和出气端密封法兰，用来对反应腔体进行密封，保证必要的真空度和避免反应物外泄。所述的第一级加热装置，采用电加热方式，用来对前驱体源路进行预加热，使流经参与反应的前驱体源满足一定的温度要求，激发其活性。所述第二级加热装置，采用激光加热方式，通过控制激光的通断，来对待沉积样品进行灵活加热，既能满足反应效率，又能满足反应所需的具有能量。
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公开(公告)号：CN218666280U
公开(公告)日：2023-03-21
申请号：CN202222333747.1
申请日：2022-09-02
Applicant: 南京工程学院
IPC: C23C16/44 , C23C16/455
Abstract: 本实用新型实施例公开了一种固体源内置的反应腔体装置，涉及原子层沉积技术领域，能够降低设备成本的同时，还避免反应物外泄。本实用新型包括：进气端密封法兰(1)，固体源加热装置(2)，反应腔体(3)，反应腔加热装置(4)，出气端密封法兰(5)，单向阀(8)，固体源瓶(9)，气动阀(10)。进气端密封法兰(1)和出气端密封法兰(5)，用来对反应腔体(3)进行密封，保证必要的真空度和避免反应物外泄；固体源加热装置(2)，用来对固体源瓶(9)进行加热，使其达到反应所需的饱和蒸汽压；反应腔加热装置(4)，用来对待沉积样品(7)进行加热，使其达到原子层沉积反应所需的温度；单向阀(8)、固体源瓶(9)、气动阀(10)，组成反应腔体内置式固体源装置结构。
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公开(公告)号：CN219907844U
公开(公告)日：2023-10-27
申请号：CN202320943094.0
申请日：2023-04-24
Applicant: 南京工程学院
IPC: C23C16/455
Abstract: 本实用新型实施例公开了一种用于原子层沉积加工的上下料装置，涉及原子层沉积加工技术领域，能够降低人工和时间成本，生产过程中也避免了手动操作导致高温烫伤的问题，提高了生产安全性。本实用新型中，反应装置部分，包括：进气端密封法兰1、加热装置2、压力表3、密封圈4、密封端盖5、推杆13、样品槽14、待沉积样品15、反应腔体16、气动阀Ⅱ17和气动阀Ⅰ18；机械臂部分中，由手臂36、关节37、手臂28、关节29、手臂110、关节111和腰部12组成三关节机械臂，所述机械臂部分固定连接密封端盖5，推杆13的一端连接密封端盖5且另一端连接样品槽14。
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