公开(公告)号：CN218521335U

公开(公告)日：2023-02-24

申请号：CN202222334333.0

申请日：2022-09-02

Applicant: 南京工程学院

Inventor： 吕俊彦 ,  黄亚洲 ,  周雨轲 ,  张云飞 ,  訾豪 ,  杨东方

IPC: C23C16/455 ,  C23C16/48 ,  C23C16/44

Abstract: 本实用新型实施例公开了一种二级加热反应腔体装置，涉及原子层沉积技术领域，能够降低能源的消耗。本实用新型包括：进气端密封法兰，第一级加热装置，第二级加热装置，压力表，真空泵，出气端密封法兰，反应腔体，气动阀Ⅱ，气动阀Ⅰ。所述的进气端密封法兰和出气端密封法兰，用来对反应腔体进行密封，保证必要的真空度和避免反应物外泄。所述的第一级加热装置，采用电加热方式，用来对前驱体源路进行预加热，使流经参与反应的前驱体源满足一定的温度要求，激发其活性。所述第二级加热装置，采用激光加热方式，通过控制激光的通断，来对待沉积样品进行灵活加热，既能满足反应效率，又能满足反应所需的具有能量。

公开(公告)号：CN218666280U

公开(公告)日：2023-03-21

申请号：CN202222333747.1

申请日：2022-09-02

Applicant: 南京工程学院

Inventor： 吕俊彦 ,  黄亚洲 ,  周雨轲 ,  张云飞 ,  訾豪 ,  杨东方

IPC: C23C16/44 ,  C23C16/455

Abstract: 本实用新型实施例公开了一种固体源内置的反应腔体装置，涉及原子层沉积技术领域，能够降低设备成本的同时，还避免反应物外泄。本实用新型包括：进气端密封法兰(1)，固体源加热装置(2)，反应腔体(3)，反应腔加热装置(4)，出气端密封法兰(5)，单向阀(8)，固体源瓶(9)，气动阀(10)。进气端密封法兰(1)和出气端密封法兰(5)，用来对反应腔体(3)进行密封，保证必要的真空度和避免反应物外泄；固体源加热装置(2)，用来对固体源瓶(9)进行加热，使其达到反应所需的饱和蒸汽压；反应腔加热装置(4)，用来对待沉积样品(7)进行加热，使其达到原子层沉积反应所需的温度；单向阀(8)、固体源瓶(9)、气动阀(10)，组成反应腔体内置式固体源装置结构。