公开(公告)号：CN100433374C

公开(公告)日：2008-11-12

申请号：CN200710019375.2

申请日：2007-01-19

Applicant: 南京大学

Inventor： 江若琏 ,  谢自力 ,  姬小利 ,  周建军 ,  韩平 ,  张荣 ,  刘斌 ,  郑有炓

IPC: H01L31/101 ,  H01L31/18

CPC classification number: Y02P70/521

Abstract: GaN基共振增强紫外探测器，正照射式探测器结构是在(0001)蓝宝石衬底上依次设有GaN缓冲层或者AlN、AlUGa1-UN(0.1＜U＜0.9)缓冲层；AlN/AlZGa1-ZN(0≤Z＜0.8)分布布拉格反射镜(DBR)底镜；用于p-i-n型的n-AlYGa1-YN/i-AlXGa1-XN/p-AlYGa1-YN谐振腔或者用于肖特基M-S，M-S-M型的n-AlYGa1-YN/i-AlXGa1-XN谐振腔，其中0≤X＜0.8，0≤Y＜0.9；AlN/AlZGa1-ZN(0≤Z＜0.8)分布布拉格反射镜顶镜；所述底镜和顶镜中的某一个反射镜可以用氧化物介质膜反射镜，谐振腔的两端设有电极，构成GaN基共振增强紫外探测器。

公开(公告)号：CN100383985C

公开(公告)日：2008-04-23

申请号：CN200410065181.2

申请日：2004-10-29

Applicant: 南京大学

Inventor： 江若琏 ,  沈波 ,  郑有炓 ,  周建军 ,  陈鹏 ,  张荣 ,  韩平 ,  谢自力 ,  文博 ,  姬小利

IPC: H01L31/18 ,  H01L31/0304 ,  H01L27/14

CPC classification number: Y02P70/521

Abstract: 提高氮化镓光导型紫外光电探测器响应度方法，在GaN表面设有AlN窗口材料，在顶层AlN材料上设有导电电极。在兰宝石衬底材料上生长下述异质结构材料：以低温GaN为缓冲层并外延生长GaN吸收层、AlN窗口层，并在顶层AlN材料上设有导电电极。GaN缓冲层、GaN吸收层、AlN窗口层的厚度分别为15-25nm、1200-2200nm、15-50nm。以上述材料制备垂直入射的光导型探测器。在上述条件下在AlN/GaN异质结界面可以获得强的极化电场。提高了收集效率。

公开(公告)号：CN1617358A

公开(公告)日：2005-05-18

申请号：CN200410065181.2

申请日：2004-10-29

Applicant: 南京大学

Inventor： 江若琏 ,  沈波 ,  郑有炓 ,  周建军 ,  陈鹏 ,  张荣 ,  韩平 ,  谢自力 ,  文博 ,  姬小利

IPC: H01L31/18 ,  H01L31/0304 ,  H01L27/14

CPC classification number: Y02P70/521

Abstract: 提高氮化镓光导型紫外光电探测器响应度方法，在GaN表面设有AlN窗口材料，在顶层AlN材料上设有导电电极。在蓝宝石衬底材料上生长下述异质结构材料：以低温GaN为缓冲层并外延生长GaN吸收层、AlN窗口层，并在顶层AlN材料上设有导电电极。GaN缓冲层、GaN吸收层、AlN窗口层的厚度分别为15－25nm、1200－2200nm、15－50nm。以上述材料制备垂直入射的光导型探测器。在上述条件下在AlN/GaN异质结界面可以获得强的极化电场。提高了收集效率。

公开(公告)号：CN101005105A

公开(公告)日：2007-07-25

申请号：CN200710019375.2

申请日：2007-01-19

Applicant: 南京大学

Inventor： 江若琏 ,  谢自力 ,  姬小利 ,  周建军 ,  韩平 ,  张荣 ,  刘斌 ,  郑有炓

IPC: H01L31/101 ,  H01L31/18

CPC classification number: Y02P70/521

Abstract: GaN基共振增强紫外探测器，正照射式探测器结构是在(0001)蓝宝石衬底上依次设有GaN缓冲层或者AlN、AlUGa1－UN(0.1＜U＜0.9＝缓冲层；AlN/AlZGa1－ZN(0≤Z＜0.8＝分布布拉格反射镜(DBR)底镜；用于p－i－n型的n－AlYGa1－YN/i－AlXGa1－XN/p－AlYGa1－YN谐振腔或者用于肖特基M－S，M－S－M型的n－AlYGa1－YN/i－AlXGa1－XN谐振腔，其中0≤X＜0.8，0≤Y＜0.9；AlN/AlZGa1－ZN(0≤Z＜0.8)分布布拉格反射镜顶镜；所述底镜和顶镜中的某一个反射镜可以用氧化物介质膜反射镜，谐振腔的两端设有电极，构成GaN基共振增强紫外探测器。