氮化镓基共振腔增强型紫外光电探测器及制备方法

    公开(公告)号:CN100433374C

    公开(公告)日:2008-11-12

    申请号:CN200710019375.2

    申请日:2007-01-19

    Applicant: 南京大学

    CPC classification number: Y02P70/521

    Abstract: GaN基共振增强紫外探测器,正照射式探测器结构是在(0001)蓝宝石衬底上依次设有GaN缓冲层或者AlN、AlUGa1-UN(0.1<U<0.9)缓冲层;AlN/AlZGa1-ZN(0≤Z<0.8)分布布拉格反射镜(DBR)底镜;用于p-i-n型的n-AlYGa1-YN/i-AlXGa1-XN/p-AlYGa1-YN谐振腔或者用于肖特基M-S,M-S-M型的n-AlYGa1-YN/i-AlXGa1-XN谐振腔,其中0≤X<0.8,0≤Y<0.9;AlN/AlZGa1-ZN(0≤Z<0.8)分布布拉格反射镜顶镜;所述底镜和顶镜中的某一个反射镜可以用氧化物介质膜反射镜,谐振腔的两端设有电极,构成GaN基共振增强紫外探测器。

    氮化镓基共振腔增强型紫外光电探测器及制备方法

    公开(公告)号:CN101005105A

    公开(公告)日:2007-07-25

    申请号:CN200710019375.2

    申请日:2007-01-19

    Applicant: 南京大学

    CPC classification number: Y02P70/521

    Abstract: GaN基共振增强紫外探测器,正照射式探测器结构是在(0001)蓝宝石衬底上依次设有GaN缓冲层或者AlN、AlUGa1-UN(0.1<U<0.9=缓冲层;AlN/AlZGa1-ZN(0≤Z<0.8=分布布拉格反射镜(DBR)底镜;用于p-i-n型的n-AlYGa1-YN/i-AlXGa1-XN/p-AlYGa1-YN谐振腔或者用于肖特基M-S,M-S-M型的n-AlYGa1-YN/i-AlXGa1-XN谐振腔,其中0≤X<0.8,0≤Y<0.9;AlN/AlZGa1-ZN(0≤Z<0.8)分布布拉格反射镜顶镜;所述底镜和顶镜中的某一个反射镜可以用氧化物介质膜反射镜,谐振腔的两端设有电极,构成GaN基共振增强紫外探测器。

    新型半导体材料铟镓氮表面势垒型太阳电池及其制备方法

    公开(公告)号:CN1971949A

    公开(公告)日:2007-05-30

    申请号:CN200610098234.X

    申请日:2006-12-06

    Applicant: 南京大学

    CPC classification number: Y02E10/50 Y02P70/521

    Abstract: 铟镓氮表面势垒型太阳电池,选用半导体材料InxGa1-xN(0≤x≤1)为光吸收区和InxGa1-xN MS或MIS结构表面势垒型太阳电池,在蓝宝石衬底材料上生长20-200nm厚度的低温GaN缓冲层,退火后接着外延生长1000-2000nm厚度的高温GaN缓冲层和200-1000nm厚度的InxGa1-XN光吸收层,然后在InxGa1-xN上设有肖特基接触金属Ni和厚引线金属Au形成肖特基结构,以及在InxGa1-xN上淀积2-20nm厚度的Si3N4绝缘薄膜后再设肖特基接触金属和厚引线金属形成金属-半导体-金属结构,并在n-InGaN材料上设有Ti/Al/Ni/Au多层金属导电电极,形成MS和MIS两种结构的表面势垒InGaN太阳电池。

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