一种三维堆叠封装结构及其制备方法

    公开(公告)号:CN113284867A

    公开(公告)日:2021-08-20

    申请号:CN202110499384.6

    申请日:2021-05-07

    摘要: 本发明提供一种三维堆叠封装结构及其制备方法,三维堆叠封装结构包括:相对设置的下基板和上基板;位于下基板和上基板之间的第一芯片,第一芯片与下基板电学连接;第一微流道液冷板,位于上基板和下基板之间且设置于第一芯片背离下基板的一侧;第二芯片,设置于上基板背向第一微流道液冷板的一侧,第二芯片与上基板电学连接。第一芯片产生的热量能够以较短的路径传输至第一微流道液冷板以对第一芯片进行散热,提高了第一芯片的散热效果,避免由于结温过高导致第一芯片失效。第二芯片产生的热量也能够通过第一微流道液冷板进行散热,提高了第二芯片的散热效果。综上,第一微流道液冷板的设置提高了三维堆叠封装结构的散热效果。

    一种三维堆叠封装结构及其制备方法

    公开(公告)号:CN113284867B

    公开(公告)日:2022-07-26

    申请号:CN202110499384.6

    申请日:2021-05-07

    摘要: 本发明提供一种三维堆叠封装结构及其制备方法,三维堆叠封装结构包括:相对设置的下基板和上基板;位于下基板和上基板之间的第一芯片,第一芯片与下基板电学连接;第一微流道液冷板,位于上基板和下基板之间且设置于第一芯片背离下基板的一侧;第二芯片,设置于上基板背向第一微流道液冷板的一侧,第二芯片与上基板电学连接。第一芯片产生的热量能够以较短的路径传输至第一微流道液冷板以对第一芯片进行散热,提高了第一芯片的散热效果,避免由于结温过高导致第一芯片失效。第二芯片产生的热量也能够通过第一微流道液冷板进行散热,提高了第二芯片的散热效果。综上,第一微流道液冷板的设置提高了三维堆叠封装结构的散热效果。

    一种三维堆叠存储器及其制造方法

    公开(公告)号:CN117956807A

    公开(公告)日:2024-04-30

    申请号:CN202410132002.X

    申请日:2024-01-30

    摘要: 本发明涉及一种三维堆叠存储器及其制造方法。所述三维堆叠存储器包括多个存储器子模块,所述多个存储器子模块通过模块间连接结构电连接,所述存储器子模块包括:第一重布线层、第一垂直互连结构、第一存储芯片模块、第一塑封层、第二重布线层、第二垂直互连结构、第二存储芯片模块、第二塑封层以及第三重布线层。所述第二重布线层通过所述第一垂直互连结构与所述第一重布线层电连接;所述第三重布线层通过所述第二垂直互连结构与所述第二重布线层电连接。通过基于FOWLP工艺,形成三维堆叠存储器,实现存储芯片根据系统需求自定义扩展位宽的需求。三维堆叠存储器能实现大位宽、大容量,并有效地减小了系统面积,并相较HBM能有效减低芯片的制备成本。

    一种射频封装结构及其制备方法
    9.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116053225A

    公开(公告)日:2023-05-02

    申请号:CN202310016030.0

    申请日:2023-01-05

    摘要: 本发明提供一种射频封装结构及其制备方法,属于半导体封装技术领域,射频封装结构包括依次层叠且电学连接的第一模块至第N模块,N为大于等于2的整数;m为大于等于1且小于等于N‑1的整数,第m模块包括第m基板、设置在第m基板一侧的第m射频芯片和设置在第m基板一侧表面的第m散热结构,第m散热结构位于第m基板与第m+1基板之间并与第m基板形成第m容置空间,第m射频芯片位于第m容置空间内且与第m基板电学连接,且第m射频芯片背离第m基板的一侧表面与第m散热结构连接,第m散热结构的材料为金属;第N模块包括第N基板、以及位于第N基板背离第一模块的一侧表面的天线层。上述结构改善了射频封装结构的集成度,提升了性能。