基于光学干涉散射显微技术的检测系统和方法

    公开(公告)号:CN113125437B

    公开(公告)日:2023-07-18

    申请号:CN202110433873.1

    申请日:2021-04-22

    Abstract: 本发明涉及缺陷和纳米颗粒检测领域,提供一种基于光学干涉散射显微技术的检测系统和方法。本发明从信号光与参考光干涉形成的光学图像中提取对比度图像作为检测信息。本发明利用样品表面起伏和缺陷或纳米颗粒的空间分布以及几何形貌的不同,将特定偏振态的照明光束以一定角度照射到检测区域,以减小样品表面纳米或亚纳米尺度起伏散射的杂散光强度,并使杂散光的偏振与检测对象散射的信号光偏振不同。在探测光路中有选择性地将杂散光的主要偏振分量和绝大部分参考光滤除,从而增强缺陷或纳米颗粒的检测信号,提升信噪比。本发明能将光学检测技术能检测的缺陷或纳米颗粒尺寸大幅度减小,检测精度大大提高,值得推广应用。

    基于光学暗场显微技术的检测系统和方法

    公开(公告)号:CN113125436B

    公开(公告)日:2022-08-30

    申请号:CN202110433853.4

    申请日:2021-04-22

    Abstract: 本发明涉及缺陷检测和纳米颗粒检测领域,提供一种基于光学暗场显微技术的检测系统和方法。本发明利用样品表面起伏和和检测目标的空间分布及几何形貌的区别,将特定偏振态的照明光束以一定角度照射到样品的待检测区域,减小样品表面纳米级或亚纳米级起伏散射的杂散光强度,并使杂散光和检测目标散射的信号光偏振不同,调控探测光束的偏振态,滤除绝大部分杂散光,降低杂散光带来的背景噪声,提升检测信噪比,提高检测灵敏度。使用本发明所述系统和方法,可大幅度将光学方法可检测的缺陷和纳米颗粒推向更小尺寸。

    基片横向位移监测和横向对准系统和方法

    公开(公告)号:CN114156218A

    公开(公告)日:2022-03-08

    申请号:CN202111374376.5

    申请日:2021-11-19

    Inventor: 陈学文 林树培

    Abstract: 本发明涉及基片横向位移测量和横向对准领域,提供一种基于干涉散射显微技术,通过对基片表面进行显微成像,记录基片表面的散斑信息,获取不同时刻基片的位置信息,实现基片的横向位移监测。进一步地,根据监测的基片横向位移信息,将基片移动到指定位置,实现基片横向对准。其特点在于不依赖标记物,且对照明稳定性要求低,可实现亚纳米级精度的基片横向位移监测和横向对准。

    基于光学暗场显微技术的检测系统和方法

    公开(公告)号:CN113125436A

    公开(公告)日:2021-07-16

    申请号:CN202110433853.4

    申请日:2021-04-22

    Abstract: 本发明涉及缺陷检测和纳米颗粒检测领域,提供一种基于光学暗场显微技术的检测系统和方法。本发明利用样品表面起伏和和检测目标的空间分布及几何形貌的区别,将特定偏振态的照明光束以一定角度照射到样品的待检测区域,减小样品表面纳米级或亚纳米级起伏散射的杂散光强度,并使杂散光和检测目标散射的信号光偏振不同,调控探测光束的偏振态,滤除绝大部分杂散光,降低杂散光带来的背景噪声,提升检测信噪比,提高检测灵敏度。使用本发明所述系统和方法,可大幅度将光学方法可检测的缺陷和纳米颗粒推向更小尺寸。

    一种提高SPAD阵列相机探测效率的方法

    公开(公告)号:CN110793651B

    公开(公告)日:2024-08-13

    申请号:CN201910854058.5

    申请日:2019-09-10

    Abstract: 本发明涉及一种利用微透镜阵列提高单光子雪崩二极管(SPAD)阵列相机探测效率的方法。该方法首先通过一个微透镜阵列将信号光聚焦成光斑阵列,然后通过一个缩放系统将所述光斑阵列的周期缩放到和SPAD阵列相机的感光阵列的周期相等,当缩放后的光斑阵列和所述SPAD阵列相机的感光阵列对准时,所述SPAD阵列相机的探测效率得到最大幅度的提高。本发明解决了SPAD阵列相机感光区填充因子过低的问题导致相机探测效率较低的问题,通过简单添加外部光路就可以直接对SPAD阵列相机进行探测效率的提升。

    基于光学干涉散射显微技术的检测系统和方法

    公开(公告)号:CN113125437A

    公开(公告)日:2021-07-16

    申请号:CN202110433873.1

    申请日:2021-04-22

    Abstract: 本发明涉及缺陷和纳米颗粒检测领域,提供一种基于光学干涉散射显微技术的检测系统和方法。本发明从信号光与参考光干涉形成的光学图像中提取对比度图像作为检测信息。本发明利用样品表面起伏和缺陷或纳米颗粒的空间分布以及几何形貌的不同,将特定偏振态的照明光束以一定角度照射到检测区域,以减小样品表面纳米或亚纳米尺度起伏散射的杂散光强度,并使杂散光的偏振与检测对象散射的信号光偏振不同。在探测光路中有选择性地将杂散光的主要偏振分量和绝大部分参考光滤除,从而增强缺陷或纳米颗粒的检测信号,提升信噪比。本发明能将光学检测技术能检测的缺陷或纳米颗粒尺寸大幅度减小,检测精度大大提高,值得推广应用。

    一种提高SPAD阵列相机探测效率的方法

    公开(公告)号:CN110793651A

    公开(公告)日:2020-02-14

    申请号:CN201910854058.5

    申请日:2019-09-10

    Abstract: 本发明涉及一种利用微透镜阵列提高单光子雪崩二极管(SPAD)阵列相机探测效率的方法。该方法首先通过一个微透镜阵列将信号光聚焦成光斑阵列,然后通过一个缩放系统将所述光斑阵列的周期缩放到和SPAD阵列相机的感光阵列的周期相等,当缩放后的光斑阵列和所述SPAD阵列相机的感光阵列对准时,所述SPAD阵列相机的探测效率得到最大幅度的提高。本发明解决了SPAD阵列相机感光区填充因子过低的问题导致相机探测效率较低的问题,通过简单添加外部光路就可以直接对SPAD阵列相机进行探测效率的提升。

    荧光分子掺杂的有机微纳晶片的制备装置和方法

    公开(公告)号:CN118223113A

    公开(公告)日:2024-06-21

    申请号:CN202410162413.3

    申请日:2024-02-05

    Abstract: 本发明属于有机荧光分子材料技术领域,具体公开了一种荧光分子掺杂的有机微纳晶片的制备装置和方法。制备装置包括开口反应装置、晶片收集装置、加热装置,开口反应装置包含客体分子原料区、主体分子原料区、晶片生长掺杂区。制备方法为:将客体分子原料区、主体分子原料区以不同温度加热,使客体分子原料、主体分子原料分别持续相变为气态分子,气态的主体分子和客体分子在晶片生长掺杂区混合、结晶形成荧光分子掺杂的有机微纳晶片;晶片从开口处逸出、被晶片收集装置收集。使用本发明的装置和方法,晶片的收集不受反应器空间限制,晶片易转移,荧光分子掺杂浓度高,晶片中荧光分子具有确定取向且在低温下具有接近傅里叶变换极限的光谱线宽。

    能产生反演对称波包的复合量子节点及量子态转移方法

    公开(公告)号:CN110505022B

    公开(公告)日:2021-06-01

    申请号:CN201910722382.1

    申请日:2019-08-06

    Abstract: 本发明涉及量子信息技术领域,公开了一种由静态量子比特、谐振腔系统和波导构成的复合量子节点,以及基于该量子节点的确定性量子态转移方法。复合量子节点包括,静态量子比特与谐振腔系统耦合,谐振腔系统与波导耦合。量子节点中的量子比特通过谐振腔系统间接以接近100%的效率接入到量子网络,同时在波导中产生时域反演对称的波包信号,从而实现从发送端到接收端的高效率的量子态转移。本发明无需外加任何随时间变化的控制,发送节点即可产生时域反演对称的单光子波包,接收节点可以完全吸收单光子波包实现成功率可接近100%的量子态转移。

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