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公开(公告)号：CN1295567C
公开(公告)日：2007-01-17
申请号：CN200410061274.8
申请日：2004-12-06
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种柔性光学传感器的制作方法，步骤为：①光刻成形；②热熔；③离子刻蚀；④淀积保护层；⑤在正面淀积一层Cr或Al金属，光刻、刻蚀出金属图形，接着，在金属层上旋转涂覆聚酰亚胺，再进行固化；⑥在背面深刻蚀硅，直至硅底减薄至60-80μm，形成硅岛结构，最后再涂覆聚酰亚胺，并固化，即得到所需的柔性光学传感器。本发明的关键在于采用曲面微透镜技术制作柔性光学传感器。这种技术所制作的微传感器兼具柔性和强度，且与硅工艺相兼容。本发明制作的光学传感器能同时测量目标距离和方位角、并具有自动绕行或跨越障碍物的能力，在智能微型探测系统、智能机器人视觉系统等方面有广泛的应用空间。
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公开(公告)号：CN1529451A
公开(公告)日：2004-09-15
申请号：CN200310111202.5
申请日：2003-10-05
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种微型二氧化钒光开关，包括衬底、VO2层和电极，衬底和VO2层之间设有Si3N4材料制成的过渡层，在VO2层上设有金属加热线。制备方法包括：(1)清洗衬底表面；(2)镀制薄膜：采用溅射淀积设备先镀过渡层Si3N4，再开始长VO2膜；(3)退火处理；(4)利用悬浮工艺制作金属加热线和电极：先作出光刻胶光开关微图形，再在基片上镀金属薄膜，最后去除光刻胶上的薄膜层。本发明无移动部件，膜系本身就是加热器，不必另装加热设备，结构简单、工作可靠，便于大规模集成，低成本、低功耗，同时，由于该光开关可以采用标准半导体制造工艺制作，而且具有开关时间短，对偏振不灵敏，消光比高，插入损耗小的特点，是一种全新的开关器件，可以在光通讯和光传感领域中得到很大的发展。
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公开(公告)号：CN1632697A
公开(公告)日：2005-06-29
申请号：CN200410061274.8
申请日：2004-12-06
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种柔性光学传感器的制作方法，步骤为：①光刻成形；②热熔；③离子刻蚀；④淀积保护层；⑤在正面淀积一层Cr或Al金属，光刻、刻蚀出金属图形，接着，在金属层上旋转涂覆聚酰亚胺，再进行固化；⑥在背面深刻蚀硅，直至硅底减薄至60－80μm，形成硅岛结构，最后再涂覆聚酰亚胺，并固化，即得到所需的柔性光学传感器。本发明的关键在于采用曲面微透镜技术制作柔性光学传感器。这种技术所制作的微传感器兼具柔性和强度，且与硅工艺相兼容。本发明制作的光学传感器能同时测量目标距离和方位角、并具有自动绕行或跨越障碍物的能力，在智能微型探测系统、智能机器人视觉系统等方面有广泛的应用空间。
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公开(公告)号：CN2681163Y
公开(公告)日：2005-02-23
申请号：CN200320115572.1
申请日：2003-10-22
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本实用新型公开了一种微型二氧化钒光开关，包括衬底、VO2层和电极，衬底和VO2层之间设有Si3N4材料制成的过渡层，在VO2层上设有金属加热线。本实用新型无移动部件，膜系本身就是加热器，不必另装加热设备，结构简单、工作可靠，便于大规模集成，低成本、低功耗，同时，由于该光开关可以采用标准半导体制造工艺制作，而且具有开关时间短，对偏振不灵敏，消光比高，插入损耗小的特点，是一种全新的开关器件，可以在光通讯和光传感领域中得到很大的发展。
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