一种柔性光学传感器的制作方法

    公开(公告)号:CN1295567C

    公开(公告)日:2007-01-17

    申请号:CN200410061274.8

    申请日:2004-12-06

    Abstract: 本发明公开了一种柔性光学传感器的制作方法,步骤为:①光刻成形;②热熔;③离子刻蚀;④淀积保护层;⑤在正面淀积一层Cr或Al金属,光刻、刻蚀出金属图形,接着,在金属层上旋转涂覆聚酰亚胺,再进行固化;⑥在背面深刻蚀硅,直至硅底减薄至60-80μm,形成硅岛结构,最后再涂覆聚酰亚胺,并固化,即得到所需的柔性光学传感器。本发明的关键在于采用曲面微透镜技术制作柔性光学传感器。这种技术所制作的微传感器兼具柔性和强度,且与硅工艺相兼容。本发明制作的光学传感器能同时测量目标距离和方位角、并具有自动绕行或跨越障碍物的能力,在智能微型探测系统、智能机器人视觉系统等方面有广泛的应用空间。

    一种柔性光学传感器的制作方法

    公开(公告)号:CN1632697A

    公开(公告)日:2005-06-29

    申请号:CN200410061274.8

    申请日:2004-12-06

    Abstract: 本发明公开了一种柔性光学传感器的制作方法,步骤为:①光刻成形;②热熔;③离子刻蚀;④淀积保护层;⑤在正面淀积一层Cr或Al金属,光刻、刻蚀出金属图形,接着,在金属层上旋转涂覆聚酰亚胺,再进行固化;⑥在背面深刻蚀硅,直至硅底减薄至60-80μm,形成硅岛结构,最后再涂覆聚酰亚胺,并固化,即得到所需的柔性光学传感器。本发明的关键在于采用曲面微透镜技术制作柔性光学传感器。这种技术所制作的微传感器兼具柔性和强度,且与硅工艺相兼容。本发明制作的光学传感器能同时测量目标距离和方位角、并具有自动绕行或跨越障碍物的能力,在智能微型探测系统、智能机器人视觉系统等方面有广泛的应用空间。

    防盗报警消火栓箱
    3.
    实用新型

    公开(公告)号:CN2710693Y

    公开(公告)日:2005-07-20

    申请号:CN200420076127.3

    申请日:2004-07-29

    Abstract: 本实用新型公开了一种防盗报警消火栓箱,该防盗报警消火栓箱包括放置消火栓、消防水带和消防水枪的固定箱体,该固定箱体内设置有一T型或L型悬挂板。T型或L型悬挂板的纵向板平行安装在固定箱体的垂直内壁上,其内腔设置有一报警电路板。T型或L型悬挂板的横向板上开设有若干个放置消防水枪和水带接扣的U型卡槽,各个U型卡槽的旁边分别布置有与上述报警电路板相连的手动控制开关和常闭报警开关。消防水枪和水带接扣的边缘部分卡接在U型卡槽上,并与常闭报警开关按压接触,使各个常闭报警开关在正常情况下始终处于断路状态。该防盗报警消火栓箱能有效阻止消防水枪和水带接扣被盗,确保扑救火灾工作顺利通畅。

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