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公开(公告)号：CN1392286A
公开(公告)日：2003-01-22
申请号：CN02138793.1
申请日：2002-07-13
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 一种制备氧化钒薄膜的方法，包括①衬底表面清洗。②溅射钒膜：充入氩气至安放衬底的真空室，分别采用平行粒子束、聚焦粒子束清洗衬底和耙材；溅射镀制钒膜，直至镀膜结束。③氧化扩散和后退火：在氩气气氛下加热退火炉，升温后充入氧气，氧气和氩气的流量比为1∶10～10∶1；氧化钒膜，制备氧化钒薄膜；钒膜氧化充分后，关闭氧气阀，氧化钒膜在纯氩气中退火；退火结束后，关闭退火炉，在氩气环境内冷却至室温。该方法克服了反应离子溅射镀膜方法存在的内在缺陷，避免了粒子束对氧化钒膜结构的损伤，增强薄膜的致密性和与衬底的粘附性；不需要在溅射镀膜过程中严格控制反应气体流量，降低了方法难度，增加了方法的可重复性，能制备出具有不同化学配比、可满足多种需求的氧化钒薄膜。
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公开(公告)号：CN1195097C
公开(公告)日：2005-03-30
申请号：CN02138793.1
申请日：2002-07-13
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 一种制备氧化钒薄膜的方法，包括①衬底表面清洗。②溅射钒膜：充入氩气至安放衬底的真空室，分别采用平行粒子束、聚焦粒子束清洗衬底和靶材；溅射镀制钒膜，直至镀膜结束。③氧化扩散和后退火：在氩气气氛下加热退火炉，升温后充入氧气，氧气和氩气的流量比为1∶10～10∶1；氧化钒膜，制备氧化钒薄膜；钒膜氧化充分后，关闭氧气阀，氧化钒膜在纯氩气中退火；退火结束后，关闭退火炉，在氩气环境内冷却至室温。该方法克服了反应离子溅射镀膜方法存在的内在缺陷，避免了粒子束对氧化钒膜结构的损伤，增强薄膜的致密性和与衬底的粘附性；不需要在溅射镀膜过程中严格控制反应气体流量，降低了方法难度，增加了方法的可重复性，能制备出具有不同化学配比、可满足多种需求的氧化钒薄膜。
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公开(公告)号：CN116384540A
公开(公告)日：2023-07-04
申请号：CN202310081181.4
申请日：2023-01-13
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了滚动轴承的寿命预测模型建立方法及寿命预测方法，属于剩余寿命预测技术领域，包括：建立预测模型，模型包括：序列划分模块，用于将时间序列数据划分为最不相似的时间片段；序列匹配模块，用于提取不同时间片段之间的相似子序列；回归学习器，用于将相似子序列映射为寿命预测值；获取有标签的滚动轴承时序振动信号并转换为加载数据，加载数据包括模态参数和健康指数；利用正常阶段和早期磨损阶段的数据构建训练集，利用加速磨损和完全失效阶段的数据构建测试集和验证集，对预测模型进行训练、测试和验证，得到滚动轴承的寿命预测模型。本发明在滚动轴承自身的时序数据分布发生变化的场景下，也能够实现对滚动轴承剩余寿命的准确预测。
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公开(公告)号：CN1529451A
公开(公告)日：2004-09-15
申请号：CN200310111202.5
申请日：2003-10-05
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种微型二氧化钒光开关，包括衬底、VO2层和电极，衬底和VO2层之间设有Si3N4材料制成的过渡层，在VO2层上设有金属加热线。制备方法包括：(1)清洗衬底表面；(2)镀制薄膜：采用溅射淀积设备先镀过渡层Si3N4，再开始长VO2膜；(3)退火处理；(4)利用悬浮工艺制作金属加热线和电极：先作出光刻胶光开关微图形，再在基片上镀金属薄膜，最后去除光刻胶上的薄膜层。本发明无移动部件，膜系本身就是加热器，不必另装加热设备，结构简单、工作可靠，便于大规模集成，低成本、低功耗，同时，由于该光开关可以采用标准半导体制造工艺制作，而且具有开关时间短，对偏振不灵敏，消光比高，插入损耗小的特点，是一种全新的开关器件，可以在光通讯和光传感领域中得到很大的发展。
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公开(公告)号：CN2681163Y
公开(公告)日：2005-02-23
申请号：CN200320115572.1
申请日：2003-10-22
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本实用新型公开了一种微型二氧化钒光开关，包括衬底、VO2层和电极，衬底和VO2层之间设有Si3N4材料制成的过渡层，在VO2层上设有金属加热线。本实用新型无移动部件，膜系本身就是加热器，不必另装加热设备，结构简单、工作可靠，便于大规模集成，低成本、低功耗，同时，由于该光开关可以采用标准半导体制造工艺制作，而且具有开关时间短，对偏振不灵敏，消光比高，插入损耗小的特点，是一种全新的开关器件，可以在光通讯和光传感领域中得到很大的发展。
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