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公开(公告)号：CN113735422B
公开(公告)日：2022-09-16
申请号：CN202111014372.6
申请日：2021-08-31
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于非接触式红外测温相关技术领域，并公开了一种石英玻璃拉制过程中在线监测温度的测温系统及方法。该系统包括吊拉炉和红外热像仪，吊拉炉用于石英玻璃的吊拉成形，该吊拉炉中石英玻璃发生初始塑性变形的区域的一侧设置有观察窗口，红外热像仪设置在该观察窗口外，用于监测吊拉炉中保温层上的温度和石英玻璃融化区域的温度；红外热像仪与控制器连接，当其测量获得保温层的温度后，将测量获得的温度传递给控制器，并在该控制器中进行多物理场模拟，以此获得模拟的石英玻璃融化区域的模拟温度，利用该模拟温度对监测的融化区域温度进行修正，以此作为真实的融化区温度。通过本发明，解决吊拉炉内温度测量不准确以及测量困难的问题。
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公开(公告)号：CN110570910B
公开(公告)日：2021-10-08
申请号：CN201910763813.9
申请日：2019-08-19
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种基于图形衬底技术生长氮化镓薄膜的降低位错密度的方法及系统，属于氮化镓薄膜领域，该方法包括：根据爬坡弹性带理论和过渡状态理论，对氮化镓薄膜生长过程中原子扩散行为等进行分子动力学和动力学蒙特卡洛计算，模拟出不同衬底模型下原子表面扩散过程，得到扩散活化能矩阵，在以此为输入条件模拟不同温度、压强下薄膜形态、位错线的演化。从而解决目前氮化镓薄膜中位错密度影响其光、电学性能的问题，在此基础之上，进一步计算出低位错密度氮化镓薄膜的优化参数温度、压强及衬底类型等，对改善氮化镓薄膜的光、电学性能、提高其工业价值有着重要的意义。
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公开(公告)号：CN112747837A
公开(公告)日：2021-05-04
申请号：CN202011538459.9
申请日：2020-12-23
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01K11/324 , C30B25/16 , C23C16/52
Abstract: 本发明公开了一种实时测量MOCVD反应腔内气相温度的飞秒CARS系统，包括MOCVD腔体系统、飞秒CARS系统，所述MOCVD腔体系统上设MOCVD反应腔激光入射口和MOCVD反应腔激光出射口，所述飞秒CARS系统的激光出射口与所述MOCVD反应腔激光入射口连接，所述飞秒CARS系统的激光入射口与所述MOCVD反应腔激光出射口连接。本发明利用飞秒CARS的知识，通过飞秒激光脉冲激发MOCVD中气相分子的拉曼振动，测量CARS信号，从而得到气相分子的温度信息，这为MOCVD气相测温提供了一种全新的解决方案。主要优点在于气相测温范围大，测量精度高，响应时间短，可测量反应腔全场温度。同时飞秒CARS系统的光学回路简单，成本低。
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公开(公告)号：CN110927837A
公开(公告)日：2020-03-27
申请号：CN201911350279.5
申请日：2019-12-24
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于液体透镜领域，并具体公开了一种基于漏电介质模型和摩擦发电的可变焦距液体透镜系统，其包括摩擦发电装置和悬浮液滴装置，摩擦发电装置包括相对设置的正电极和负电极，该正电极和负电极的相对面上分别设置有正极薄片和负极薄片；悬浮液滴装置包括正极板、腔体侧板、负极板、填充液体和悬浮液体，其中，正极板、腔体侧板、负极板依次连接共同组成一封闭的腔体，正极板表面布置有正极阵列单元，该正极阵列单元通过正极引线与正电极相连，负极板表面布置有负极单元，该负极单元通过负极引线与负电极相连；填充液体填充在腔体中，悬浮液体悬浮在填充液体中。本发明该液体透镜系统耐用性强、易操控、精度较高，且原材料成本低廉。
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公开(公告)号：CN107154343B
公开(公告)日：2019-06-18
申请号：CN201710343221.2
申请日：2017-05-16
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01L21/02
Abstract: 本发明属于芯片封装领域，并公开了一种控制芯片位错的方法。该方法包括：(a)将待处理芯片的基圆划分为核心区、过渡区和边缘区，其中，核心区是以待处理芯片的基圆的圆心为中心，直径为d1的圆形区域，过渡区是核心区外的圆环区域，且介于核心区和边缘区之间；(b)将待处理芯片置于惰性保护气体中，并分别加热核心区和边缘区，然后将待处理芯片退火，其中，核心区的加热温度高于边缘区，使得核心区的空位和氧间隙原子扩散，以及位错滑移至边缘区，从而完成待处理芯片的处理。通过本发明，有效控制芯片基圆的位错分布，提高芯片基圆高质量区域面积占比，提高芯片成品率和使用性能，降低生产成本。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114000191B
公开(公告)日：2023-03-24
申请号：CN202111269150.9
申请日：2021-10-29
Applicant: 华中科技大学
IPC: C30B23/06
Abstract: 本发明公开了一种用于分子束外延均匀加热的系统及加热方法，属于晶体薄膜外延生长技术领域，包括样品台、加热组件和隔热组件；样品台内部设有隔热组件，其底部用于放置衬底基片；加热组件包括电机、加热器支架和红外线辐射加热器；加热器支架的一端与所述电机的输出轴相连，其另一端依次穿过样品台、隔热组件后与红外线辐射加热器相连；电机用于驱动加热器支架旋转从而带动红外线辐射加热器转动以对位于样品台底部的衬底基片的一面加热。本发明通过驱动加热器支架旋转带动红外线辐射加热器转动，在沉积过程中可以使衬底温度保持均匀稳定，操作简单，普适性广，加热均匀性高。
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公开(公告)号：CN115821220A
公开(公告)日：2023-03-21
申请号：CN202211522481.3
申请日：2022-11-30
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于磁控溅射薄膜沉积相关技术领域，其公开了一种用于多元素复合薄膜制备的磁控靶及溅射方法，磁控靶包括多元素拼接靶、冷却水系统及磁控系统，冷却水系统设置在多元素拼接靶与磁控系统之间；冷却水系统包括冷却水道及磁屏蔽百叶，磁屏蔽百叶设置在冷却水道内，其用于对多元素拼接靶的靶面进行选择性地磁屏蔽；磁屏蔽百叶与多元素拼接靶的位置相对应，且磁屏蔽百叶能够相对于冷却水道旋转及伸缩；磁控靶通过磁屏蔽百叶的旋转及伸缩来控制多元素拼接靶的靶面各个区域的磁场强弱，进而调节多元素拼接靶的各个区域相应元素的溅射强度。本发明实现了单个靶台同时或轮流溅射多种元素，解决了单个磁控靶无法制备复合材料和多层膜的问题。
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公开(公告)号：CN112747837B
公开(公告)日：2021-10-29
申请号：CN202011538459.9
申请日：2020-12-23
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01K11/324 , C30B25/16 , C23C16/52
Abstract: 本发明公开了一种实时测量MOCVD反应腔内气相温度的飞秒CARS系统，包括MOCVD腔体系统、飞秒CARS系统，所述MOCVD腔体系统上设MOCVD反应腔激光入射口和MOCVD反应腔激光出射口，所述飞秒CARS系统的激光出射口与所述MOCVD反应腔激光入射口连接，所述飞秒CARS系统的激光入射口与所述MOCVD反应腔激光出射口连接。本发明利用飞秒CARS的知识，通过飞秒激光脉冲激发MOCVD中气相分子的拉曼振动，测量CARS信号，从而得到气相分子的温度信息，这为MOCVD气相测温提供了一种全新的解决方案。主要优点在于气相测温范围大，测量精度高，响应时间短，可测量反应腔全场温度。同时飞秒CARS系统的光学回路简单，成本低。
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公开(公告)号：CN110237572A
公开(公告)日：2019-09-17
申请号：CN201910557711.1
申请日：2019-06-26
Applicant: 华中科技大学
IPC: B01D19/00
Abstract: 本发明属于流体除气领域，并具体公开了一种剪切变稀非牛顿流体的气泡去除装置及方法。所述装置包括支撑架、升降机构、旋转机构、锥形搅拌器以及液体容器，所述升降机构设于所述支撑架上，所述升降机构通过水平设置的可伸缩连杆与所述旋转机构固定连接；所述锥形搅拌器包括搅拌杆及锥形搅拌头；所述液体容器设于所述锥形搅拌头下方。所述方法包括旋转机构驱动搅拌杆转动，并带动所述锥形搅拌头以0.01rad/s～20rad/s的转速转动，以搅拌置于液体容器内的液体，直至去除剪切变稀非牛顿流体内的气泡。本发明可有效实现在不引入新气泡的条件下高效率的去除剪切变稀非牛顿流体的气泡，同时还具备结构装置简单、易操作、效率高的特点。
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公开(公告)号：CN109336365A
公开(公告)日：2019-02-15
申请号：CN201811248447.5
申请日：2018-10-25
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于石英玻璃制备领域，并公开了一种旋转式石英玻璃熔炉。该熔炉包括炉壳、坩埚、加热器、搅拌器，炉壳呈封闭壳体状，坩埚设置在炉壳中，加热器用于加热并熔融坩埚中的石英原料，坩埚的底部设置有自旋转驱动机构，用于驱动坩埚自旋转，以此引发坩埚中熔融的石英玻璃垂直截面的对流；搅拌器上下运动使得该搅拌器进入和退出熔融的石英玻璃，另外，当搅拌器进入熔融的石英玻璃后，其上下和旋转运动用于增强熔融的石英玻璃中垂直截面的对流强度，通过搅拌器和坩埚的配合运动，带动熔融的石英玻璃中的气泡从内部运动到表面，以此实现气泡的排出。通过本发明，提供结构简单，成本低廉的熔炉，有效解决石英玻璃中的气泡问题。
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