电子显微镜用高压箱的换气装置

    公开(公告)号:CN102184829B

    公开(公告)日:2013-01-16

    申请号:CN201110031719.8

    申请日:2011-01-28

    IPC分类号: H01J37/248

    摘要: 本发明公开一种电子显微镜用高压箱的换气装置,属于为高压箱换气使用的换气装置。该换气装置包括:四通组件、充气管路、抽气管路、排气管路和高压箱连接管路;四通组件设有四个管接头,每个管接头上均设有真空手动隔断阀;其中第一管接头与用于连接抽气装置的抽气管路连接;第二管接头与用于连接六氟化硫气体储气罐或氮气储气罐的充气管路连接;第三管接头与用于排出高压箱内气体的排气管路连接;第四管接头与用于连接高压箱的高压箱连接管路连接。该换气装置具有结构简单,换气操作方便,密封性好,安全可靠,可保证充入到高压箱内SF6气体的纯净度,也避免了对SF6气体的浪费。

    电子显微镜用高压箱的换气装置

    公开(公告)号:CN102184829A

    公开(公告)日:2011-09-14

    申请号:CN201110031719.8

    申请日:2011-01-28

    IPC分类号: H01J37/248

    摘要: 本发明公开一种电子显微镜用高压箱的换气装置,属于为高压箱换气使用的换气装置。该换气装置包括:四通组件、充气管路、抽气管路、排气管路和高压箱连接管路;四通组件设有四个管接头,每个管接头上均设有真空手动隔断阀;其中第一管接头与用于连接抽气装置的抽气管路连接;第二管接头与用于连接六氟化硫气体储气罐或氮气储气罐的充气管路连接;第三管接头与用于排出高压箱内气体的排气管路连接;第四管接头与用于连接高压箱的高压箱连接管路连接。该换气装置具有结构简单,换气操作方便,密封性好,安全可靠,可保证充入到高压箱内SF6气体的纯净度,也避免了对SF6气体的浪费。

    电子显微镜的第二聚光镜

    公开(公告)号:CN102184828A

    公开(公告)日:2011-09-14

    申请号:CN201110077557.1

    申请日:2011-03-29

    IPC分类号: H01J37/21 H01J37/26

    摘要: 本发明公开一种电子显微镜的第二聚光镜,属电子显微镜领域。包括:外壳为两端开口的圆环柱形空腔,下盖板盖住外壳的下端开口,磁环外面套装磁路线圈,两者均设置在外壳内,磁路线圈下面设有水套隔圈组件,水套隔圈组件下面为下盖板,下盖板、磁环、水套隔圈组件的中间部位均设有通孔,三者通孔相连通,连通后的通孔内从上至下依次设置垫圈和极靴组件;垫圈、极靴组件内均设有通孔,两者通孔相互连通,连通后的通孔内从上至下依次设置固定光阑组件和消象散组件。该第二聚光镜可将第一聚光镜缩小的电子枪交叉点的束斑进行适当放大,从而改变电子束斑的大小,实现针对不同样品可提供不同的束斑大小,提高电子显微镜的性能。

    电子显微镜电子枪的换气装置

    公开(公告)号:CN102231354A

    公开(公告)日:2011-11-02

    申请号:CN201110077408.5

    申请日:2011-03-29

    IPC分类号: H01J37/02 H01J37/26

    摘要: 本发明公开一种电子显微镜的电子枪换气装置,属电子显微镜领域。包括:四通组件设有进气接口、抽放气接口、压力表接口和接电子枪的换气接口,四个接口通过四通组件内部相互连通;其中,四通组件的进气接口与充气组件的出气口连接,抽放气接口经转换阀与抽气装置连接,压力表接口与电接点压力表连接;转换阀设有抽气接口和四通组件接口,通过四通组件接口与四通组件的抽放气接口连接,通过抽气接口与抽气装置连接,转换阀内设有开关,开关设有抽气、充气和放气三个位置,处于抽气位置时能使四通组件接口与抽气接口之间连通;处于充气位置时能使四通组件接口与抽气接口都关闭,处于放气位置能进行放气。该换气装置结构简单,操作方便,密封性好。

    电子显微镜的第一聚光镜

    公开(公告)号:CN102169790A

    公开(公告)日:2011-08-31

    申请号:CN201110077399.X

    申请日:2011-03-29

    IPC分类号: H01J37/26 H01J37/141

    摘要: 本发明公开一种电子显微镜的第一聚光镜,属电子显微镜领域。包括:外壳为两端开口的圆柱环形空腔;上盖板、密封隔圈和磁环连接后设置在外壳内,上盖板盖住外壳的上端开口,在上盖板上设置铅板,上盖板、密封隔圈和磁环的中间部位均设有相互连通的通孔;上盖板、密封隔圈和磁环的连通后的通孔内从上至下依次设置固定光阑组件和极靴组件,固定光阑组件和极靴组件中间部位均设有相互连通的通孔,连通后的通孔作为该第一聚光镜的电子束通路;在极靴组件连接处的密封隔圈和磁环外面围绕设置磁路线圈,磁路线圈上面设有水套隔圈组件,水套隔圈组件的上面为上盖板。该第一聚光镜结构简单,零部件少,操作方便,便于装配和维修,能将电子枪交叉点的电子束斑进行较大地缩小,提高电子显微镜性能。

    电子显微镜电子枪的换气装置

    公开(公告)号:CN102231354B

    公开(公告)日:2012-12-12

    申请号:CN201110077408.5

    申请日:2011-03-29

    IPC分类号: H01J37/02 H01J37/26

    摘要: 本发明公开一种电子显微镜的电子枪换气装置,属电子显微镜领域。包括:四通组件设有进气接口、抽放气接口、压力表接口和接电子枪的换气接口,四个接口通过四通组件内部相互连通;其中,四通组件的进气接口与充气组件的出气口连接,抽放气接口经转换阀与抽气装置连接,压力表接口与电接点压力表连接;转换阀设有抽气接口和四通组件接口,通过四通组件接口与四通组件的抽放气接口连接,通过抽气接口与抽气装置连接,转换阀内设有开关,开关设有抽气、充气和放气三个位置,处于抽气位置时能使四通组件接口与抽气接口之间连通;处于充气位置时能使四通组件接口与抽气接口都关闭,处于放气位置能进行放气。该换气装置结构简单,操作方便,密封性好。

    电子显微镜的样品室
    8.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102142347B

    公开(公告)日:2012-12-12

    申请号:CN201110032114.0

    申请日:2011-01-28

    IPC分类号: H01J37/20

    摘要: 本发明公开了一种电子显微镜的样品室,属于电子显微镜技术领域。该样品室包括:外壳、上托板、下托板、第一堵头、第二堵头、真空法兰和波纹管;所述外壳为中空筒体,筒体内设有一环形凸台,筒壁上设有两个附件安装孔和抽真空孔,两个附件安装孔和抽真空孔均与外壳的筒体内连通;上托板扣装在外壳的一端开口上,固定在外壳的筒体内的所述环形凸台上;下托板固定扣装在上托板上;所述第一堵头、第二堵头分别设置在两个附件安装孔上,堵住两个附件安装孔,起密封作用;所述波纹管通过所述真空法兰设置在所述外壳的筒壁上的抽真空孔上。该样品室具有结构简单、体积小,部件少,装配及维护方便等优点。

    电子显微镜的聚光镜用可动光阑装置

    公开(公告)号:CN102163529B

    公开(公告)日:2012-07-25

    申请号:CN201110062041.X

    申请日:2011-03-15

    IPC分类号: G02B5/00 H01J37/09 H01J37/20

    摘要: 本发明公开一种电子显微镜的聚光镜用可动光阑装置,属电子显微镜领域。该装置中,光阑架上设有定位槽和压片,光阑片通过压片压设在定位槽内;光阑片上排列设有四个孔径不同的通孔作为光阑孔;光阑架设在光阑孔调节装置的光阑轴前端,能通过光阑孔调节装置上设置的调节手柄、尾盖螺帽和微调装置,调节光阑轴对光阑片上的光阑孔进行选择及空间三个方向上的精密调整,使光阑孔的中心处于电子束轴线上。该装置结构简单,方便选择并定位不同孔径通孔作为光阑孔,从而获得不同的照明孔径角,使第二聚光镜实现针对不同的样品可提供不同的照明孔径角。

    电子显微镜的第一聚光镜

    公开(公告)号:CN102169790B

    公开(公告)日:2012-07-04

    申请号:CN201110077399.X

    申请日:2011-03-29

    IPC分类号: H01J37/26 H01J37/141

    摘要: 本发明公开一种电子显微镜的第一聚光镜,属电子显微镜领域。包括:外壳为两端开口的圆柱环形空腔;上盖板、密封隔圈和磁环连接后设置在外壳内,上盖板盖住外壳的上端开口,在上盖板上设置铅板,上盖板、密封隔圈和磁环的中间部位均设有相互连通的通孔;上盖板、密封隔圈和磁环的连通后的通孔内从上至下依次设置固定光阑组件和极靴组件,固定光阑组件和极靴组件中间部位均设有相互连通的通孔,连通后的通孔作为该第一聚光镜的电子束通路;在极靴组件连接处的密封隔圈和磁环外面围绕设置磁路线圈,磁路线圈上面设有水套隔圈组件,水套隔圈组件的上面为上盖板。该第一聚光镜结构简单,零部件少,操作方便,便于装配和维修,能将电子枪交叉点的电子束斑进行较大地缩小,提高电子显微镜性能。