发明授权
CN102231354B 电子显微镜电子枪的换气装置
失效 - 权利终止
- 专利标题: 电子显微镜电子枪的换气装置
- 专利标题(英): Ventilating device for electron gun of electron microscope
-
申请号: CN201110077408.5申请日: 2011-03-29
-
公开(公告)号: CN102231354B公开(公告)日: 2012-12-12
- 发明人: 董全林 , 姚骏恩 , 张春熹 , 袁水平 , 于成交 , 杨彦杰 , 孟凡念 , 孙茂多
- 申请人: 北京航空航天大学
- 申请人地址: 北京市海淀区学院路37号
- 专利权人: 北京航空航天大学
- 当前专利权人: 北京航空航天大学
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区学院路37号
- 代理机构: 北京凯特来知识产权代理有限公司
- 代理商 郑立明; 孟丽娟
- 主分类号: H01J37/02
- IPC分类号: H01J37/02 ; H01J37/26
摘要:
本发明公开一种电子显微镜的电子枪换气装置,属电子显微镜领域。包括:四通组件设有进气接口、抽放气接口、压力表接口和接电子枪的换气接口,四个接口通过四通组件内部相互连通;其中,四通组件的进气接口与充气组件的出气口连接,抽放气接口经转换阀与抽气装置连接,压力表接口与电接点压力表连接;转换阀设有抽气接口和四通组件接口,通过四通组件接口与四通组件的抽放气接口连接,通过抽气接口与抽气装置连接,转换阀内设有开关,开关设有抽气、充气和放气三个位置,处于抽气位置时能使四通组件接口与抽气接口之间连通;处于充气位置时能使四通组件接口与抽气接口都关闭,处于放气位置能进行放气。该换气装置结构简单,操作方便,密封性好。
公开/授权文献
- CN102231354A 电子显微镜电子枪的换气装置 公开/授权日:2011-11-02