电子显微镜电子枪的换气装置
摘要:
本发明公开一种电子显微镜的电子枪换气装置,属电子显微镜领域。包括:四通组件设有进气接口、抽放气接口、压力表接口和接电子枪的换气接口,四个接口通过四通组件内部相互连通;其中,四通组件的进气接口与充气组件的出气口连接,抽放气接口经转换阀与抽气装置连接,压力表接口与电接点压力表连接;转换阀设有抽气接口和四通组件接口,通过四通组件接口与四通组件的抽放气接口连接,通过抽气接口与抽气装置连接,转换阀内设有开关,开关设有抽气、充气和放气三个位置,处于抽气位置时能使四通组件接口与抽气接口之间连通;处于充气位置时能使四通组件接口与抽气接口都关闭,处于放气位置能进行放气。该换气装置结构简单,操作方便,密封性好。
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