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公开(公告)号：CN114383326B
公开(公告)日：2023-03-31
申请号：CN202210036383.2
申请日：2022-01-11
申请人： 北京理工大学
摘要： 本发明公开的一种具有重心支撑结构的光热换能器，属于光热转换和微纳加工领域。本发明公开的光热换能器主要由多个小单元A组成阵列组成，小单元A包括衬底、重心支撑层和光热转换层；衬底主要用于承载和增加机械稳定性，重心支撑层主要用于重心支撑及调控散热速率，光热转换层主要起光热转换的作用。本发明通过调控重心支撑层的支撑高度、横截面积，改变光热换能器的散热性能和稳态温度。本发明结构简单，加工工艺成熟，能够根据多种调控需求对衬底、支撑层和光热转换层的材料和结构进行设计、制作。本发明还公开所述光热换能器的微纳加工方法。本发明通过对重心支撑层和光热转换层进行优化，能够实现超大的阵列规模和较高的光热转换性能。
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公开(公告)号：CN111483975A
公开(公告)日：2020-08-04
申请号：CN202010311142.5
申请日：2020-04-20
申请人： 北京理工大学
IPC分类号： B81C1/00
摘要： 本发明公开了一种热导率可控的具有微纳结构的薄膜制作方法，首先在衬底上制备一层固体薄膜；然后在所述固体薄膜的表面加工热物性调控区域；最后在所述固体薄膜的热物性调控区域中填充热物性调控材料；所述热物性调控区域为根据热物性调控需求分布在固体薄膜表面的一个或多个缺陷单元；所述热物性调控材料包括用于提高固体薄膜热导率的增导材料和用于降低固体薄膜热导率的降导材料；所述增导材料为热导率高于固体薄膜热导率的固体材料，所述降导材料为热导率低于于固体薄膜热导率的固体材料。本发明的薄膜制作方法，可以实现对固体薄膜热导率的调控。
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公开(公告)号：CN111777030B
公开(公告)日：2022-10-21
申请号：CN202010673998.7
申请日：2020-07-14
申请人： 北京理工大学
摘要： 本发明涉及一种用于无人驾驶决策模拟训练的光学下转换芯片及制备方法，属于无人驾驶技术领域和红外场景投影技术领域。本发明提出的光学下转换芯片可以实现较大的阵列规模(2000×2000以上)，因此红外图像的分辨率会得到较大的提升；使用了硅片作为芯片的基底，可以克服转换薄膜机械性能较差的缺点，同时提升了芯片的图像刷新频率；通过在基底上制作出隔离缝隙实现阵列单元间的传热隔离，从而大幅降低阵列单元间的串扰；通过在辐射层下制作出凹槽可以有效地控制散热速度；该制作流程仅需一块用于光刻的掩膜版，无需多次光刻和套刻，工艺简单。
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公开(公告)号：CN114209275A
公开(公告)日：2022-03-22
申请号：CN202111513505.4
申请日：2021-12-10
申请人： 北京理工大学
摘要： 本发明涉及一种兼容OCT的光声传感器，属于光声成像技术领域和超声传感器技术领域。该传感器体积小，具有柔性，预先滴加滴眼液后，可像佩戴隐形眼镜一样直接贴合到眼睛表面，能够适应临床应用需求。并且，该传感器具有中心通孔，使用时不覆盖瞳孔，因此可与眼科OCT兼容。同时，光声成像系统的脉冲光可通过该传感器的中心通孔传播至眼球内部，激励眼底的待测物产生光声信号(超声波)，超声波由眼底传输至眼表，由于预先滴加了滴眼液，声波可充分耦合传输至贴合在眼睛表面的光声传感器，声波被传感器收集后转变为电信号。本发明可在兼容OCT成像系统的情况下，方便地获取光声图像，是一种极具临床应用潜力的新技术。
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公开(公告)号：CN114652347B
公开(公告)日：2024-11-01
申请号：CN202210277798.9
申请日：2022-03-16
申请人： 北京理工大学
摘要： 本发明涉及一种基于纳米氧化锌复合材料的柔性超声传感器，属于超声传感器和微纳加工领域。本发明公开的柔性超声传感器主要由柔性基底、纳米氧化锌复合材料、声匹配层和电极组成。纳米氧化锌复合材料作为压电层，由纳米氧化锌结构和柔性胶体组成，纳米氧化锌结构通过水热生长法制备，柔性胶体填充于纳米氧化锌结构之中，这种复合结构具有良好的鲁棒性，有利于实现双面电极的紧密接触。基于柔性基底和纳米氧化锌复合材料的结构，可以提高超声传感器的灵敏度、柔韧性和弯曲强度，因此可对任意曲面形状的目标进行共形超声探测。本发明还公开所述超声传感器的制备方法，其制备工艺简单，适合大规模生产。
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公开(公告)号：CN114295667B
公开(公告)日：2024-01-05
申请号：CN202111462747.5
申请日：2021-11-29
申请人： 北京理工大学
摘要： 本发明涉及一种微纳薄膜热导率的快速测量方法，属于微纳薄膜领域和热测量领域。本发明使用非接触式激光稳态测量方法和加速匹配算法相结合，可以实现厚度在微纳米尺度的薄膜热导率的快速测量；首先将微纳薄膜安装在样品固定装置中，然后使用光源加热微纳薄膜样品的表面使其温度上升，待其温度稳定不变后，使用测温装置测量微纳薄膜表面加热区的稳定温度，随后记录温度数值并导入仿真模型中使用加速匹配算法中进行计算，最后根据计算结果可得到被测薄膜的热导率值；本发明方法无需对测试薄膜进行额外的微纳加工，不会破坏薄膜的结构和完整性，测试装置可重复使用，可以实现多种不同类型的微纳薄膜的热导率测试。
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公开(公告)号：CN112137589B
公开(公告)日：2021-11-05
申请号：CN202011049883.7
申请日：2020-09-29
申请人： 北京理工大学
IPC分类号： A61B5/00
摘要： 本发明涉及一种微型光声成像探头及其制备方法，属于光声成像技术领域和超声换能器技术领域。所述环形超声换能器通过直接与光纤集成，充分利用了光纤细小的体积优势，也充分利用了MEMS超声换能器的微型化体积优势，最大程度的实现了探头体积的微型化，大幅提高了探测的灵活性。由于该光声探头体积微小，在移动其进行扫描时，探头与水产生的震动噪声小，有利于提高探测的信噪比。所述微型光声成像探头的光纤部分自带光聚焦透镜，超声换能器部分也自带声聚焦透镜，且采用氧化锌薄膜作为压电材料，工作频率高、频带宽，从而最大程度的保证了超高分辨率的实现。所述微型光声成像探头的制备方法可与MEMS工艺兼容，一致性好，且大幅降低了探头的制造成本。
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公开(公告)号：CN112137589A
公开(公告)日：2020-12-29
申请号：CN202011049883.7
申请日：2020-09-29
申请人： 北京理工大学
IPC分类号： A61B5/00
摘要： 本发明涉及一种微型光声成像探头及其制备方法，属于光声成像技术领域和超声换能器技术领域。所述环形超声换能器通过直接与光纤集成，充分利用了光纤细小的体积优势，也充分利用了MEMS超声换能器的微型化体积优势，最大程度的实现了探头体积的微型化，大幅提高了探测的灵活性。由于该光声探头体积微小，在移动其进行扫描时，探头与水产生的震动噪声小，有利于提高探测的信噪比。所述微型光声成像探头的光纤部分自带光聚焦透镜，超声换能器部分也自带声聚焦透镜，且采用氧化锌薄膜作为压电材料，工作频率高、频带宽，从而最大程度的保证了超高分辨率的实现。所述微型光声成像探头的制备方法可与MEMS工艺兼容，一致性好，且大幅降低了探头的制造成本。
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公开(公告)号：CN111485230A
公开(公告)日：2020-08-04
申请号：CN202010266068.X
申请日：2020-04-07
申请人： 北京理工大学
摘要： 本发明涉及一种超声换能器用氧化锌厚膜的制备方法，属于超声换能器制备技术领域。本发明在清洁干净的衬底上溅射一层氧化锌种子层；使用水热合成法在种子层上制备氧化锌膜层；将氧化锌膜的基片置于高温氮气气氛中退火；再在退火后的氧化锌膜层上溅射氧化锌，填满膜层的空隙，获得致密平整的膜层表面，从而低成本获得厚度大、致密度高、表面平整、压电性强的氧化锌膜。
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