一种微型光声成像探头及其制备方法
Abstract:
本发明涉及一种微型光声成像探头及其制备方法,属于光声成像技术领域和超声换能器技术领域。所述环形超声换能器通过直接与光纤集成,充分利用了光纤细小的体积优势,也充分利用了MEMS超声换能器的微型化体积优势,最大程度的实现了探头体积的微型化,大幅提高了探测的灵活性。由于该光声探头体积微小,在移动其进行扫描时,探头与水产生的震动噪声小,有利于提高探测的信噪比。所述微型光声成像探头的光纤部分自带光聚焦透镜,超声换能器部分也自带声聚焦透镜,且采用氧化锌薄膜作为压电材料,工作频率高、频带宽,从而最大程度的保证了超高分辨率的实现。所述微型光声成像探头的制备方法可与MEMS工艺兼容,一致性好,且大幅降低了探头的制造成本。
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