公开(公告)号：CN114105183A

公开(公告)日：2022-03-01

申请号：CN202111245335.6

申请日：2021-10-26

Applicant: 北京理工大学

Inventor： 喻志农 ,  况丹 ,  徐爽 ,  刘斌 ,  刘贤文

IPC: C01G9/02 ,  C23C14/08 ,  C23C14/35 ,  C23C14/58 ,  C23C26/00 ,  H01L31/0296 ,  H01L31/0352 ,  H01L31/09 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00

Abstract: 本发明涉及一种氧化锌纳米棒阵列的制备方法及一种紫外探测器，属于氧化锌纳米棒制备技术领域。将制备有氧化锌薄膜种子层的衬底置于水热液中进行水热反应，反应温度为70℃～150℃，反应时间为0.5h～48h；反应结束后，清洗，干燥，在氧化锌薄膜种子层上得到氧化锌纳米棒阵列；所述水热液的制备为：将锌盐和碱性物质溶解于溶剂中，加入PEI水溶液，搅拌均匀，得到水热液。紫外探测器由所述方法制得的氧化锌纳米棒阵列和电极组成，所述电极设置在氧化锌纳米棒阵列之上。所述氧化锌纳米棒阵列的缺陷态少，且氧化锌纳米棒阵列的表面对羟基和羧基的吸附少；所述紫外探测器暗电流低，信噪比大，响应率高和响应速度快。