一种温控偏振度可调中波红外偏振辐射源及偏振度测量方法

    公开(公告)号:CN114674428B

    公开(公告)日:2025-03-04

    申请号:CN202111596003.2

    申请日:2021-12-24

    Abstract: 本发明公开的一种温控偏振度可调中波红外偏振辐射源及偏振度测量方法,属于光电探测领域。本发明将中波红外线偏振片置于变温透射支架中,利用液态惰性气体对变温透射支架及其内部的中波红外线偏振片降温,通过改变黑体源和变温透射支架温度,调制偏振辐射源总辐射中的完全偏振辐射成分占比,进而实现中波红外偏振辐射源偏振度可调。同时,降低变温透射支架变温仓温度,能够有效减少中波红外线偏振片自发辐射和变温透射支架杂散光的负面干扰,提高辐射源出射光偏振度的调制精度。根据偏振度测量结果,标定偏振辐射源出射光场偏振度与黑体源温度、变温透射支架温度的函数关系;根据标定的函数关系实现对温控偏振度可调中波红外偏振辐射源偏振度的预测。

    一种深紫外铝光栅偏振器

    公开(公告)号:CN103018815A

    公开(公告)日:2013-04-03

    申请号:CN201210578546.6

    申请日:2012-12-26

    Inventor: 董建杰 康果果

    Abstract: 本发明公开了一种深紫外铝光栅偏振器,包括铝光栅和基底介质,铝光栅的周期为50nm-100nm,厚度为50nm-200nm,占空比(光栅栅线宽度/光栅周期)为0.3-0.7;基底介质的材料是SiO2;基底介质紧密的包裹铝光栅。本发明的光栅偏振器可以覆盖波长为150nm-160nm的超深紫外光,体积小、结构紧凑;本发明的光栅偏振器解决了现有偏振器不能工作在157nm波长而无法满足157nm光刻技术需求的问题。

    一种深紫外铝光栅偏振器

    公开(公告)号:CN103018815B

    公开(公告)日:2016-04-27

    申请号:CN201210578546.6

    申请日:2012-12-26

    Inventor: 董建杰 康果果

    Abstract: 本发明公开了一种深紫外铝光栅偏振器,包括铝光栅和基底介质,铝光栅的周期为50nm-100nm,厚度为50nm-200nm,占空比(光栅栅线宽度/光栅周期)为0.3-0.7;基底介质的材料是SiO2;基底介质紧密的包裹铝光栅。本发明的光栅偏振器可以覆盖波长为150nm-160nm的超深紫外光,体积小、结构紧凑;本发明的光栅偏振器解决了现有偏振器不能工作在157nm波长而无法满足157nm光刻技术需求的问题。

    一种温控偏振度可调中波红外偏振辐射源及偏振度测量方法

    公开(公告)号:CN114674428A

    公开(公告)日:2022-06-28

    申请号:CN202111596003.2

    申请日:2021-12-24

    Abstract: 本发明公开的一种温控偏振度可调中波红外偏振辐射源及偏振度测量方法,属于光电探测领域。本发明将中波红外线偏振片置于变温透射支架中,利用液态惰性气体对变温透射支架及其内部的中波红外线偏振片降温,通过改变黑体源和变温透射支架温度,调制偏振辐射源总辐射中的完全偏振辐射成分占比,进而实现中波红外偏振辐射源偏振度可调。同时,降低变温透射支架变温仓温度,能够有效减少中波红外线偏振片自发辐射和变温透射支架杂散光的负面干扰,提高辐射源出射光偏振度的调制精度。根据偏振度测量结果,标定偏振辐射源出射光场偏振度与黑体源温度、变温透射支架温度的函数关系;根据标定的函数关系实现对温控偏振度可调中波红外偏振辐射源偏振度的预测。

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