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公开(公告)号：CN106903308B
公开(公告)日：2019-03-22
申请号：CN201510971683.X
申请日：2015-12-22
申请人： 北京有色金属研究总院
摘要： 本发明公开了一种新型电加热型吸气元件的制备方法，该方法包括以下步骤：(1)准备吸气合金材料：将破碎后的吸气合金采用振筛机筛分，得到位于上、下层两个筛网之间的特定粒径范围的吸气合金粉末；将该粒径范围的吸气合金粉末浸入无水乙醇进行超声处理，处理完毕的吸气合金粉末烘干备用；(2)制备金属合金管：将金属合金管在其管壁上打出排列成点阵网状结构的微孔，打完孔的金属合金管用超声波清洗后晾干备用；(3)制备吸气元件：将处理好的吸气合金粉末灌装到金属合金管内，制得吸气元件。该方法工艺过程简单易控制，还可以克服现有吸气元件掉粉、装配不便、断丝等缺点，采用该方法制备的吸气元件具有较高的机械强度和加工精度。
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公开(公告)号：CN106910664A
公开(公告)日：2017-06-30
申请号：CN201510970978.5
申请日：2015-12-22
申请人： 北京有色金属研究总院
IPC分类号： H01J9/39
CPC分类号： H01J9/39 , H01J2209/385
摘要： 本发明公开了一种新型电加热型吸气元件，包括金属合金管以及填充在管内的吸气合金材料，其中，所述金属合金管壁上形成有多个微孔，这些微孔排列成点阵网状结构；所述吸气合金材料为未经过烧结的吸气合金材料，吸气合金材料的颗粒直径分布范围大于金属合金管壁的微孔直径。本发明的新型吸气元件由金属合金管和吸气合金组成，吸气合金不用经过烧结直接装配使用，工艺过程简单，易操作；由于没有烧结的吸气合金具有较大的比表面积和孔隙度，吸气性能优良；吸气元件强度高，能够适应苛刻的冲击、振动、摩擦等恶劣环境，且吸气材料选择不受元件整体强度限制，可选择的范围较广，激活温度范围宽；吸气元件一体成型，结构简单，尺寸易调且能精确控制。
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公开(公告)号：CN106903308A
公开(公告)日：2017-06-30
申请号：CN201510971683.X
申请日：2015-12-22
申请人： 北京有色金属研究总院
摘要： 本发明公开了一种新型电加热型吸气元件的制备方法，该方法包括以下步骤：(1)准备吸气合金材料：将破碎后的吸气合金采用振筛机筛分，得到位于上、下层两个筛网之间的特定粒径范围的吸气合金粉末；将该粒径范围的吸气合金粉末浸入无水乙醇进行超声处理，处理完毕的吸气合金粉末烘干备用；(2)制备金属合金管：将金属合金管在其管壁上打出排列成点阵网状结构的微孔，打完孔的金属合金管用超声波清洗后晾干备用；(3)制备吸气元件：将处理好的吸气合金粉末灌装到金属合金管内，制得吸气元件。该方法工艺过程简单易控制，还可以克服现有吸气元件掉粉、装配不便、断丝等缺点，采用该方法制备的吸气元件具有较高的机械强度和加工精度。
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公开(公告)号：CN106571282A
公开(公告)日：2017-04-19
申请号：CN201610965774.7
申请日：2016-11-04
申请人： 北京有色金属研究总院
IPC分类号： H01J7/18
CPC分类号： H01J7/183
摘要： 本发明属于吸气剂制造技术领域，特别涉及一种吸气剂的低温成型制备方法。将吸气剂粉末与叔丁醇基溶剂混合配制成具有一定流动性的吸气粉末浆料，然后将浆料注入到预制模具中，经快速冷冻处理实现低温成型，再将成型的坯材经真空低温脱醇处理，最后进行真空烧结，制得吸气元件。本发明的制备方法极大地提高了吸气元件的制备效率和尺寸精度，制备的吸气元件性能较传统工艺制备的产品更优，具有表面积大、激活温度低、孔隙率高、吸气速率高、吸气容量大等特点。
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公开(公告)号：CN106571281A
公开(公告)日：2017-04-19
申请号：CN201610964685.0
申请日：2016-11-04
申请人： 北京有色金属研究总院
IPC分类号： H01J7/18
CPC分类号： H01J7/183
摘要： 本发明公开了一种新型气体吸收元件的批量化制备方法，属于电真空吸气元件制造技术领域。将吸气材料粉末与有机粘结剂混合均匀，形成注射喂料，采用注射成型方法将喂料包覆于金属支撑体上，注射样品经脱脂烧结，得到具有包芯结构的气体吸收元件。该批量化制备方法生产效率高，产品一致性好、性能稳定。
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公开(公告)号：CN103849835A
公开(公告)日：2014-06-11
申请号：CN201210500682.3
申请日：2012-11-29
申请人： 北京有色金属研究总院
摘要： 本发明涉及一种带有保护层的Zr-Co-Re薄膜吸气剂及其制备方法，本发明吸气剂由吸气层和保护层组成，吸气层的主要成分为Zr、Co以及稀土元素La、Ce、Pr、Nd中的一种或几种，保护层的主要成分为Ni。本发明使用脉冲激光沉积镀膜方法制备，在绒面单晶硅上沉积含有保护层和吸气层的双层结构薄膜吸气剂。绒面衬底能增大吸气薄膜有效面积，从而提高吸气速率和吸气量。吸气层表面镀有Ni保护层，Ni对氢具有解离功能，能够提高氢的吸附量，并且保护层能够阻碍氧的吸附，降低激活温度。本发明可在180~350℃烘烤的过程中实现激活，烘烤后吸气剂在室温条件下具有良好的吸气性能，可用于高真空微电子器件中，消除内部残余气体。
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公开(公告)号：CN103801252A
公开(公告)日：2014-05-21
申请号：CN201210461386.7
申请日：2012-11-15
申请人： 北京有色金属研究总院
摘要： 本发明涉及一种带有保护层的吸气剂及其制备方法，本发明的吸气剂由吸气剂颗粒构成，吸气剂颗粒具有双层结构，核心的主要成分为Zr、V和Fe，保护层的主要成分为Ni。本发明是通过化学镀制备具有保护层的吸气剂颗粒，并通过压制和烧结制备具有保护层的吸气剂。吸气剂颗粒表面镀有Ni保护层，Ni对氢气分子具有解离功能，能够提高氢的吸附量，并且保护层能够阻碍氧的吸附，降低激活温度。本发明吸气剂可以在180～350℃烘烤的过程中实现激活，烘烤后吸气剂在室温条件下具有良好的吸气性能，可用于高真空器件中，吸除内部残余气体。
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公开(公告)号：CN106571282B
公开(公告)日：2018-06-12
申请号：CN201610965774.7
申请日：2016-11-04
申请人： 北京有色金属研究总院
IPC分类号： H01J7/18
摘要： 本发明属于吸气剂制造技术领域，特别涉及一种吸气剂的低温成型制备方法。将吸气剂粉末与叔丁醇基溶剂混合配制成具有一定流动性的吸气粉末浆料，然后将浆料注入到预制模具中，经快速冷冻处理实现低温成型，再将成型的坯材经真空低温脱醇处理，最后进行真空烧结，制得吸气元件。本发明的制备方法极大地提高了吸气元件的制备效率和尺寸精度，制备的吸气元件性能较传统工艺制备的产品更优，具有表面积大、激活温度低、孔隙率高、吸气速率高、吸气容量大等特点。
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公开(公告)号：CN106571280A
公开(公告)日：2017-04-19
申请号：CN201610964656.4
申请日：2016-11-04
申请人： 北京有色金属研究总院
IPC分类号： H01J7/18
CPC分类号： H01J7/183
摘要： 本发明提供了一种无污染高孔隙度钛基吸气元件的制备方法，属于电真空吸气元件制造技术领域。以钛为基体的原料粉末在混料机上混合均匀，将混合均匀的原料粉末与NH4HCO3按照一定的比例混合均匀，完成后采用模压或冷等静压成型方法形成压坯件，将压坯件在真空状态下进行低温预处理，冷却后在高真空烧结炉内进行高温烧结，降温出炉后制备成孔隙度高于50％的真空吸气元件。该工艺方法优点在于过程简单易操作，吸气元件制备过程中没有有机粘结剂的存在，干净无污染，而且吸气材料选择范围广，吸气元件孔隙度高，吸气性能优良。
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公开(公告)号：CN206179819U
公开(公告)日：2017-05-17
申请号：CN201621187500.1
申请日：2016-11-04
申请人： 北京有色金属研究总院
IPC分类号： H01J7/18
摘要： 本实用新型公开了属于电真空器件领域的一种新型结构的吸气元件，由金属包套、吸气材料颗粒、多孔透气堵头组成。其中，金属包套为两端开口的管状金属结构件；吸气材料颗粒装于金属包套内部；多孔透气堵头分别嵌入并紧固于金属包套的两端内，采用电阻焊的方式进行焊接紧固。本实用新型的吸气元件专门针对电真空器件的使用需求设计，元件结构简单、加工便捷，吸气元件可通过烘烤加热或高频感应加热的方式进行激活，使用方便，吸气效率高、可靠性好。
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