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公开(公告)号：CN106903308B
公开(公告)日：2019-03-22
申请号：CN201510971683.X
申请日：2015-12-22
申请人： 北京有色金属研究总院
摘要： 本发明公开了一种新型电加热型吸气元件的制备方法，该方法包括以下步骤：(1)准备吸气合金材料：将破碎后的吸气合金采用振筛机筛分，得到位于上、下层两个筛网之间的特定粒径范围的吸气合金粉末；将该粒径范围的吸气合金粉末浸入无水乙醇进行超声处理，处理完毕的吸气合金粉末烘干备用；(2)制备金属合金管：将金属合金管在其管壁上打出排列成点阵网状结构的微孔，打完孔的金属合金管用超声波清洗后晾干备用；(3)制备吸气元件：将处理好的吸气合金粉末灌装到金属合金管内，制得吸气元件。该方法工艺过程简单易控制，还可以克服现有吸气元件掉粉、装配不便、断丝等缺点，采用该方法制备的吸气元件具有较高的机械强度和加工精度。
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公开(公告)号：CN106910664A
公开(公告)日：2017-06-30
申请号：CN201510970978.5
申请日：2015-12-22
申请人： 北京有色金属研究总院
IPC分类号： H01J9/39
CPC分类号： H01J9/39 , H01J2209/385
摘要： 本发明公开了一种新型电加热型吸气元件，包括金属合金管以及填充在管内的吸气合金材料，其中，所述金属合金管壁上形成有多个微孔，这些微孔排列成点阵网状结构；所述吸气合金材料为未经过烧结的吸气合金材料，吸气合金材料的颗粒直径分布范围大于金属合金管壁的微孔直径。本发明的新型吸气元件由金属合金管和吸气合金组成，吸气合金不用经过烧结直接装配使用，工艺过程简单，易操作；由于没有烧结的吸气合金具有较大的比表面积和孔隙度，吸气性能优良；吸气元件强度高，能够适应苛刻的冲击、振动、摩擦等恶劣环境，且吸气材料选择不受元件整体强度限制，可选择的范围较广，激活温度范围宽；吸气元件一体成型，结构简单，尺寸易调且能精确控制。
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公开(公告)号：CN106299111A
公开(公告)日：2017-01-04
申请号：CN201510349432.8
申请日：2015-06-23
申请人： 北京有色金属研究总院
IPC分类号： H01L45/00
摘要： 本发明公开了一种免电激活互补阻变存储器及其制备方法。该存储器由初始态为低阻态的阻变存储器与初始态为高阻态的阻变存储器串联而成，器件结构由底部至顶端依次为底电极、初始低阻态存储功能层、中间电极、初始高阻态存储功能层和顶电极。其制备方法包括以下步骤：(1)清洗衬底；(2)采用物理气相沉积法形成底电极；(3)采用磁控溅射法沉积初始低阻态存储功能层；原子层沉积法形成初始高阻态存储功能层；(6)采用物理气相沉积法形成顶电极。本发明的阻变存储器具有免电激活特性，适用于具有交叉阵列结构的3维高密度集成的阻变存储器件。(4)采用物理气相沉积法形成中间电极；(5)采用
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公开(公告)号：CN106299111B
公开(公告)日：2019-02-05
申请号：CN201510349432.8
申请日：2015-06-23
申请人： 北京有色金属研究总院
IPC分类号： H01L45/00
摘要： 本发明公开了一种免电激活互补阻变存储器及其制备方法。该存储器由初始态为低阻态的阻变存储器与初始态为高阻态的阻变存储器串联而成，器件结构由底部至顶端依次为底电极、初始低阻态存储功能层、中间电极、初始高阻态存储功能层和顶电极。其制备方法包括以下步骤：(1)清洗衬底；(2)采用物理气相沉积法形成底电极；(3)采用磁控溅射法沉积初始低阻态存储功能层；(4)采用物理气相沉积法形成中间电极；(5)采用原子层沉积法形成初始高阻态存储功能层；(6)采用物理气相沉积法形成顶电极。本发明的阻变存储器具有免电激活特性，适用于具有交叉阵列结构的3维高密度集成的阻变存储器件。
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公开(公告)号：CN106903308A
公开(公告)日：2017-06-30
申请号：CN201510971683.X
申请日：2015-12-22
申请人： 北京有色金属研究总院
摘要： 本发明公开了一种新型电加热型吸气元件的制备方法，该方法包括以下步骤：(1)准备吸气合金材料：将破碎后的吸气合金采用振筛机筛分，得到位于上、下层两个筛网之间的特定粒径范围的吸气合金粉末；将该粒径范围的吸气合金粉末浸入无水乙醇进行超声处理，处理完毕的吸气合金粉末烘干备用；(2)制备金属合金管：将金属合金管在其管壁上打出排列成点阵网状结构的微孔，打完孔的金属合金管用超声波清洗后晾干备用；(3)制备吸气元件：将处理好的吸气合金粉末灌装到金属合金管内，制得吸气元件。该方法工艺过程简单易控制，还可以克服现有吸气元件掉粉、装配不便、断丝等缺点，采用该方法制备的吸气元件具有较高的机械强度和加工精度。
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