一种用于真空设备内表面除气的装置

    公开(公告)号:CN109637917A

    公开(公告)日:2019-04-16

    申请号:CN201811507376.6

    申请日:2018-12-11

    IPC分类号: H01J9/39

    CPC分类号: H01J9/39

    摘要: 本发明提供另一种用于真空设备内表面除气的装置,只需将空心阴极悬挂在待除气真空设备的内部,采用供气装置向待除气真空设备内部充入惰性气体,则惰性气体在空心阴极放电的作用下,引发引发惰性气体的电子雪崩现象,由此产生的气体电子和气体离子将蔓延至整个待除气真空设备内部,轰击待除气真空设备内壁上吸附的气体和杂质,从而通过这种气体放电方式能够有效降低待除气真空设备的真空度;由此可见,本发明既能有效的避免破坏原有真空设备的内部布局,又可以通过调节空心阴极在真空室中的放电位置,保证待除气真空设备内壁上吸附气体清洗的均匀性,适用大型真空、真空度要求较高的真空设备内表面除气。

    冷阴极X射线产生器的封装结构及其抽真空的方法

    公开(公告)号:CN105632857A

    公开(公告)日:2016-06-01

    申请号:CN201510665182.9

    申请日:2015-10-15

    IPC分类号: H01J35/16 H01J35/20

    CPC分类号: H01J35/065 H01J9/39

    摘要: 本发明公开一种冷阴极X射线产生器的封装结构及其抽真空的方法。该冷阴极X射线产生器的封装结构,包含一冷阴极、一聚焦组件、一阳极靶材、一玻璃球管,其中该冷阴极、该聚焦组件、该阳极靶材顺序安装于该玻璃球管内,且该冷阴极的电子发射端面向该阳极靶材,该阳极靶材具有一斜面,以使所产生的X射线由一位于该阳极靶材与该聚焦组件的一X射线窗口射出,该冷阴极一连接第一引脚,该阳极靶材连接阳极引脚,其中,冷阴极的周围设有一钨丝,钨丝一接脚连接基座或冷阴极,另一接脚为专用接脚,钨丝仅在抽真空时有用,该玻璃球管的两支引脚连接于一倍压组件模块的输出端,两者再被一高压绝缘胶及一铅壳封住,除该X射线窗口例外。

    在泵送和填充灯气过程中分配汞的立式泵送设备以及方法

    公开(公告)号:CN104025244A

    公开(公告)日:2014-09-03

    申请号:CN201280054077.6

    申请日:2012-11-01

    IPC分类号: H01J9/38

    摘要: 本发明涉及用于在荧光灯管体(3)中内部分配Hg的方法和立式泵送取装置(1)。荧光灯管体(3)的底部(7)关闭。该装置(1)在第一位置中设置第一固态物体(9’),该第一固态物体包括预定的第一量的结合Hg。该装置(1)在第二位置中设置第二固态物体(9”),该第二固态物体包括预定的第二量的结合Hg。第一量的Hg的第一释放(E1)通过利用热和低压进行气化而在荧光灯管体(3)中实现,以用于荧光灯管体中的污染物颗粒子的净化。第二量的Hg的第二释放(E2)通过获得的气化在荧光灯管体(3)中实现,以用于荧光灯管体(3)的吸留汞蒸气。

    等离子体显示面板的制造方法和制造装置

    公开(公告)号:CN101681759A

    公开(公告)日:2010-03-24

    申请号:CN200880017159.7

    申请日:2008-05-30

    IPC分类号: H01J9/39 H01J9/26 H01J11/02

    摘要: 一种向封接的第一基板(1)和第二基板(2)之间填充放电气体而成的等离子体面板的制造方法,其特征在于,具有:通过将形成有应对等离子体放电的保护膜的所述第一基板(1)在真空中或被控制的气氛中加热到280℃以上,使杂质气体从所述保护膜脱离的第一脱气工序;和抵接所述杂质气体从所述保护膜脱离的所述第一基板(1)与所述第二基板(2)并进行封接的封接工序。由于在使第一基板与第二基板抵接之前的排气传导量大的状态下使杂质气体从保护膜脱离,因此能够在短时间内进行净化。另外,由于将保护膜加热到280℃以上,能够脱离约70%的吸附在保护膜上的杂质气体。

    冷阴极X射线产生器的封装结构及其抽真空的方法

    公开(公告)号:CN105632857B

    公开(公告)日:2018-09-07

    申请号:CN201510665182.9

    申请日:2015-10-15

    IPC分类号: H01J35/16 H01J35/20

    CPC分类号: H01J35/065 H01J9/39

    摘要: 本发明公开一种冷阴极X射线产生器的封装结构及其抽真空的方法。该冷阴极X射线产生器的封装结构,包含一冷阴极、一聚焦组件、一阳极靶材、一玻璃球管,其中该冷阴极、该聚焦组件、该阳极靶材顺序安装于该玻璃球管内,且该冷阴极的电子发射端面向该阳极靶材,该阳极靶材具有一斜面,以使所产生的X射线由一位于该阳极靶材与该聚焦组件的一X射线窗口射出,该冷阴极一连接第一引脚,该阳极靶材连接阳极引脚,其中,冷阴极的周围设有一钨丝,钨丝一接脚连接基座或冷阴极,另一接脚为专用接脚,钨丝仅在抽真空时有用,该玻璃球管的两支引脚连接于一倍压组件模块的输出端,两者再被一高压绝缘胶及一铅壳封住,除该X射线窗口例外。

    等离子体显示面板的制造方法和制造装置

    公开(公告)号:CN101681759B

    公开(公告)日:2011-11-23

    申请号:CN200880017159.7

    申请日:2008-05-30

    IPC分类号: H01J9/39 H01J9/26 H01J11/02

    摘要: 一种向封接的第一基板(1)和第二基板(2)之间填充放电气体而成的等离子体面板的制造方法,其特征在于,具有:通过将形成有应对等离子体放电的保护膜的所述第一基板(1)在真空中或被控制的气氛中加热到280℃以上,使杂质气体从所述保护膜脱离的第一脱气工序;和抵接所述杂质气体从所述保护膜脱离的所述第一基板(1)与所述第二基板(2)并进行封接的封接工序。由于在使第一基板与第二基板抵接之前的排气传导量大的状态下使杂质气体从保护膜脱离,因此能够在短时间内进行净化。另外,由于将保护膜加热到280℃以上,能够脱离约70%的吸附在保护膜上的杂质气体。