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公开(公告)号:CN116930842A
公开(公告)日:2023-10-24
申请号:CN202310857019.7
申请日:2023-07-12
Applicant: 北京智芯微电子科技有限公司 , 北京智芯半导体科技有限公司
Abstract: 本发明实施例提供一种霍尔芯片校准结构、方法、系统、装置及霍尔芯片,属于芯片技术领域。所述霍尔芯片校准结构包括:至少一个校验霍尔盘,所述校验霍尔盘的外形与待校准霍尔芯片中用于功能实现的霍尔盘的外形相同;所述校验霍尔盘设置有输入端和输出端,所述校验霍尔盘的输入端与外部激励的输出端连接,所述校验霍尔盘的输出端用于输出霍尔电压。相对于现有技术中采用电路或是模组进行校准,大大减少了校准误差,提高了校准结果的准确度。
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公开(公告)号:CN117794348A
公开(公告)日:2024-03-29
申请号:CN202311380067.8
申请日:2023-10-23
Applicant: 北京智芯微电子科技有限公司 , 北京智芯半导体科技有限公司
Abstract: 本发明实施例提供一种霍尔元件、一种霍尔芯片和一种电子设备,属于电子技术领域。霍尔元件包括:基底;一对激励电极,在所述基底上相对设置;所述一对激励电极之间相连形成的方向为第一方向;一对接地电极,在所述基底上相对设置;所述一对接地电极之间相连形成的方向为第二方向;所述第一方向与所述第二方向之间呈角度设置;多个输出电极,相邻的激励电极和接地电极之间设有一个输出电极。本发明的霍尔元件在基底的呈角度设置的两个方向上分别放置一对激励电极和一对接地电极,实现在单个基底的霍尔区域上形成有四个极化方向的电流,得到和四相旋转电流等效的零偏消除效果,从而实现提高带宽。
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公开(公告)号:CN221354898U
公开(公告)日:2024-07-16
申请号:CN202322845779.4
申请日:2023-10-23
Applicant: 北京智芯微电子科技有限公司 , 北京智芯半导体科技有限公司
Abstract: 本实用新型提供一种霍尔元件、一种霍尔芯片和一种电子设备,属于电子技术领域。霍尔元件包括:基底;一对激励电极,在所述基底上相对设置;所述一对激励电极之间相连形成的方向为第一方向;一对接地电极,在所述基底上相对设置;所述一对接地电极之间相连形成的方向为第二方向;所述第一方向与所述第二方向之间呈角度设置;多个输出电极,相邻的激励电极和接地电极之间设有一个输出电极。本实用新型的霍尔元件在基底的呈角度设置的两个方向上分别放置一对激励电极和一对接地电极,实现在单个基底的霍尔区域上形成有四个极化方向的电流,得到和四相旋转电流等效的零偏消除效果,从而实现提高带宽。
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公开(公告)号:CN220399625U
公开(公告)日:2024-01-26
申请号:CN202321836692.4
申请日:2023-07-12
Applicant: 北京智芯微电子科技有限公司 , 北京智芯半导体科技有限公司
Abstract: 本实用新型实施例提供一种霍尔芯片校准结构、系统及霍尔芯片,属于芯片技术领域。所述霍尔芯片校准结构包括:至少一个校验霍尔盘,所述校验霍尔盘的外形与待校准霍尔芯片中用于功能实现的霍尔盘的外形相同;所述校验霍尔盘设置有输入端和输出端,所述校验霍尔盘的输入端与外部激励的输出端连接,所述校验霍尔盘的输出端用于输出霍尔电压。相对于现有技术中采用电路或是模组进行校准,大大减少了校准误差,提高了校准结果的准确度。
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公开(公告)号:CN118362774B
公开(公告)日:2024-09-24
申请号:CN202410526979.X
申请日:2024-04-29
Applicant: 北京智芯微电子科技有限公司
Abstract: 本发明涉及电子传感器领域,提供一种单芯片集成式电流传感器及制造方法。所述单芯片集成式电流传感器包括:电流测量单元、电磁感应取能单元以及无线通信单元,电流测量单元基于磁通门技术探测待测电流,电磁感应取能单元基于电磁感应原理产生感应电流,无线通信单元采用偶极子天线技术发送和接收信号;电流测量单元、电磁感应取能单元以及无线通信单元一体化集成于单芯片上。本发明的集成式电流传感器,可以利用微机电系统加工工艺将电流检测、取能、通信等功能结构一体化集成在单芯片上,可批量化生产,生产成本较低,且体积小、重量轻,有利于在长距离输电线路上进行大量布置。
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公开(公告)号:CN118330518A
公开(公告)日:2024-07-12
申请号:CN202410307486.7
申请日:2024-03-18
Applicant: 北京智芯微电子科技有限公司
Abstract: 本发明提供一种磁通门传感芯片的制作方法及磁通门传感芯片,属于传感芯片技术领域。所述磁通门传感芯片的制作方法包括:分别在两片硅片上刻蚀出磁芯槽、螺线管线圈槽和通孔,并至少在其中一片硅片上刻蚀出电极腔,两片硅片上的磁芯槽和通孔的位置相对应,两片硅片上的螺线管线圈槽的方向相反,所述电极腔与螺线管线圈槽连通;将两片硅片进行键合,使其形成闭合的磁芯槽和线圈结构;采用液态金属浇铸技术对所述闭合的线圈结构浇铸,形成磁通门线圈,得到加工好的晶圆;将所述加工好的晶圆进行划片,得到磁通门传感芯片。避免使用电镀工艺,磁芯结构不受限,磁芯厚度可以比电镀工艺提高一个数量级,提高了磁通门传感器的检测灵敏度。
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公开(公告)号:CN117630772A
公开(公告)日:2024-03-01
申请号:CN202311320837.X
申请日:2023-10-12
Applicant: 北京智芯微电子科技有限公司 , 国网山东省电力公司营销服务中心(计量中心)
IPC: G01R33/09
Abstract: 本发明涉及磁传感器领域,提供一种三维隧道磁阻传感器及其制造方法。所述三维隧道磁阻传感器包括至少两个相同的隧道磁阻芯片,每一隧道磁阻芯片均包括第一磁敏单元及第二磁敏单元,第一磁敏单元及第二磁敏单元形成于同一衬底,第一磁敏单元用于感应水平方向的磁场,第二磁敏单元用于感应垂直方向的磁场,两个相同的隧道磁阻芯片以倒装焊的方式进行封装,使两个隧道磁阻芯片的第一磁敏单元面对面互联,两个隧道磁阻芯片的第二磁敏单元面对面互联,形成全桥结构。本发明通过一次制备工艺即可同时确定三个方向TMR结构的磁化方向,采用倒装焊技术实现三个方向磁敏单元的全桥结构,缩小了三维隧道磁阻传感器的体积,减少了误差。
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公开(公告)号:CN117148249B
公开(公告)日:2024-01-19
申请号:CN202311398272.7
申请日:2023-10-26
Applicant: 北京智芯微电子科技有限公司 , 国网山东省电力公司营销服务中心(计量中心)
Inventor: 王浩 , 李良 , 杜君 , 王祥 , 李佩笑 , 姜帅 , 方东明 , 孙恒超 , 王蔓蓉 , 季润可 , 陶毅 , 刘紫威 , 李岩 , 李胜芳 , 牛长胜 , 闻志国 , 董贤光 , 孙艳玲
IPC: G01R35/00
Abstract: 本发明涉及芯片测试技术领域,提供一种磁敏传感芯片测试装置及方法、磁敏传感芯片。所述磁敏传感芯片测试装置包括信号发生模块、高频电流放大模块、通电线圈、聚磁环以及示波器,通电线圈的导线缠绕于聚磁环的一侧,聚磁环的另一侧具有用于放置磁敏传感芯片的间隙,放置于间隙内的磁敏传感芯片的信号输出端与示波器连接;信号发生模块用于输出不同频率的波形信号;高频电流放大模块用于调节波形信号的幅值;通电线圈和聚磁环用于产生幅值增大的磁场,使通电线圈传导的波形信号在幅值增大的磁场作用下,在聚磁环的间隙内产生用于测试磁敏传感芯片的高频磁场信号或脉冲磁场信号。本发明低成本实现对线性磁敏传感芯片带宽及响应时间的测试。
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公开(公告)号:CN117288980A
公开(公告)日:2023-12-26
申请号:CN202310994800.9
申请日:2023-08-08
Applicant: 北京智芯微电子科技有限公司
IPC: G01P15/125 , G01P15/12 , G01P15/18
Abstract: 提供一种三轴加速度计、电子设备,属于传感器技术领域。所述三轴加速度计包括:支撑结构、弹性连接件和惯性质量块;所述惯性质量块通过所述弹性连接件与所述支撑结构相连;所述支撑结构设置有X轴固定电极和Y轴固定电极,所述惯性质量块上设置有X轴可动电极和Y轴可动电极;所述X轴固定电极与X轴可动电极形成X轴电容,所述X轴电容用于检测X轴加速度分量;所述Y轴固定电极与Y轴可动电极形成Y轴电容;所述Y轴电容用于检测Y轴加速度分量;所述弹性连接件上设置有压敏电阻,用于检测Z轴加速度分量。本发明实施例将X/Y轴方向的加速度变化转化为电容的变化,将Z轴方向的加速度变化转化为压敏电阻阻值的变化,提高三个轴向的检测灵敏度。
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公开(公告)号:CN118483628B
公开(公告)日:2024-10-18
申请号:CN202410946867.X
申请日:2024-07-16
Applicant: 北京智芯微电子科技有限公司
IPC: G01R33/00 , G01R33/028
Abstract: 本公开涉及磁传感技术领域,具体涉及一种磁敏元件及其制备方法、磁敏传感器、电子器件、芯片和电子设备。该磁敏元件包括:基底、有源区、激励电极和磁偏转电流检测电极;该基底位于最底层;该有源区形成于该基底上;该有源区为梳状结构,该梳状结构包括梳脊和多个梳齿,该多个梳齿从该梳脊的一侧或多侧伸出;该激励电极设置于该梳脊上或该梳脊外围,与该梳脊形成电接触,通过导线与外部电源相连,用于为该磁敏元件施加激励电流;该磁偏转电流检测电极设置于该梳齿两侧,用于检测该激励电流因磁场作用而发生偏转后所产生的电流变化。磁敏传感器包括该磁敏元件,利用该激励电流所产生的电流变化测量磁场,由此提高了传感器的灵敏度。
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