采用频率输出的霍尔传感器
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117420484A

    公开(公告)日:2024-01-19

    申请号:CN202311302725.1

    申请日:2023-10-09

    Abstract: 本发明提供一种采用频率输出的霍尔传感器,属于传感器技术领域。所述霍尔传感器包括:补偿电路,用于提供与外加磁场无关的参考电压;所述参考电压随温度的变化规律和测量电路相同;测量电路,用于根据外加磁场产生霍尔电压;还用于测量激励源的频率,并根据激励源的频率确定外加磁场的大小;减法器,用于计算参考电压和霍尔电压的电压差值,并将所述电压差值反馈给激励源;测量电路激励源,用于为测量电路提供驱动电流;以及用于根据所述电压差值进行负反馈,使得所述霍尔电压的取值始终和所述参考电压相等。本发明利用霍尔电压对激励电源的频率响应特性,将霍尔电压转变为频率信号,通过对频率信号的测量来得到磁场的强度值。

    单芯片集成式电流传感器及制造方法

    公开(公告)号:CN118362774A

    公开(公告)日:2024-07-19

    申请号:CN202410526979.X

    申请日:2024-04-29

    Abstract: 本发明涉及电子传感器领域,提供一种单芯片集成式电流传感器及制造方法。所述单芯片集成式电流传感器包括:电流测量单元、电磁感应取能单元以及无线通信单元,电流测量单元基于磁通门技术探测待测电流,电磁感应取能单元基于电磁感应原理产生感应电流,无线通信单元采用偶极子天线技术发送和接收信号;电流测量单元、电磁感应取能单元以及无线通信单元一体化集成于单芯片上。本发明的集成式电流传感器,可以利用微机电系统加工工艺将电流检测、取能、通信等功能结构一体化集成在单芯片上,可批量化生产,生产成本较低,且体积小、重量轻,有利于在长距离输电线路上进行大量布置。

    单芯片集成式电流传感器及制造方法

    公开(公告)号:CN118362774B

    公开(公告)日:2024-09-24

    申请号:CN202410526979.X

    申请日:2024-04-29

    Abstract: 本发明涉及电子传感器领域,提供一种单芯片集成式电流传感器及制造方法。所述单芯片集成式电流传感器包括:电流测量单元、电磁感应取能单元以及无线通信单元,电流测量单元基于磁通门技术探测待测电流,电磁感应取能单元基于电磁感应原理产生感应电流,无线通信单元采用偶极子天线技术发送和接收信号;电流测量单元、电磁感应取能单元以及无线通信单元一体化集成于单芯片上。本发明的集成式电流传感器,可以利用微机电系统加工工艺将电流检测、取能、通信等功能结构一体化集成在单芯片上,可批量化生产,生产成本较低,且体积小、重量轻,有利于在长距离输电线路上进行大量布置。

    磁通门传感芯片的制作方法及磁通门传感芯片

    公开(公告)号:CN118330518A

    公开(公告)日:2024-07-12

    申请号:CN202410307486.7

    申请日:2024-03-18

    Abstract: 本发明提供一种磁通门传感芯片的制作方法及磁通门传感芯片,属于传感芯片技术领域。所述磁通门传感芯片的制作方法包括:分别在两片硅片上刻蚀出磁芯槽、螺线管线圈槽和通孔,并至少在其中一片硅片上刻蚀出电极腔,两片硅片上的磁芯槽和通孔的位置相对应,两片硅片上的螺线管线圈槽的方向相反,所述电极腔与螺线管线圈槽连通;将两片硅片进行键合,使其形成闭合的磁芯槽和线圈结构;采用液态金属浇铸技术对所述闭合的线圈结构浇铸,形成磁通门线圈,得到加工好的晶圆;将所述加工好的晶圆进行划片,得到磁通门传感芯片。避免使用电镀工艺,磁芯结构不受限,磁芯厚度可以比电镀工艺提高一个数量级,提高了磁通门传感器的检测灵敏度。

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