-
公开(公告)号：CN103985652B
公开(公告)日：2016-09-21
申请号：CN201310049375.2
申请日：2013-02-07
Applicant: 北京智朗芯光科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种晶片应力测量装置，属于半导体器件技术领域。包括探测光发生装置、分束镜、腔室、样品托盘和位置探测装置，样品托盘置于腔室底部，晶片置于样品托盘上，腔室顶部设有狭缝窗口，探测光发生装置发出的探测光经过分束镜后垂直射向晶片，依次经过分束镜和狭缝窗口后垂直射向晶片，被晶片反射，依次经过狭缝窗口和分束镜后射向位置探测装置，样品托盘能够带动晶片旋转，使探测光在晶片上扫描。本发明还公开了基于该测量装置的测量方法。应用该测量装置及测量方法能够同时测量晶片X方向及Y方向应力的晶片应力。
-
公开(公告)号：CN104807495A
公开(公告)日：2015-07-29
申请号：CN201410036443.6
申请日：2014-01-24
Applicant: 北京智朗芯光科技有限公司
IPC: G01D21/02
Abstract: 本发明公开了一种监测晶片生长薄膜特性的装置及其用途，属于半导体材料无损检测领域。该装置包括第一激光光源、第二激光光源、第一二相色镜、分束镜、第二二相色镜、第一探测器、第二探测器、位置探测器、腔室、狭缝窗口、样品托盘和转轴。该装置及其用途能够集成实现待测晶片反射率、温度和应力三个特性参数集成监测。
-
公开(公告)号：CN104129634A
公开(公告)日：2014-11-05
申请号：CN201310158773.8
申请日：2013-05-02
Applicant: 北京智朗芯光科技有限公司
IPC: B65G47/74
Abstract: 本发明公开了一种升降机构，属于样品装载与卸载的装置技术领域。该升降机构包括限位轴、滑块和至少两组定位组件，滑块套设于限位轴，定位组件设置于滑块，限位轴上沿竖直方向设有定位区间，定位组件能够卡扣于定位区间，使得滑块在升降后的位置能够被固定。该升降机构结构简单，该升降机构能够借助滑块在限位轴上实现升降移动，并且，该升降机构能够借助定位区间与定位组件的配合使得滑块在升降后的位置能够被固定。
-
公开(公告)号：CN104134621B
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：CN201310158775.7
申请日：2013-05-02
Applicant: 北京智朗芯光科技有限公司 , 中国科学院微电子研究所
IPC: H01L21/67 , H01L21/677
Abstract: 本发明公开了一种晶圆片辅助装载装置，属于样品装载与卸载的装置技术领域。该装载装置包括升降机构、晶圆片台、至少两个移动轴、限位板、两根限位导轨和底板。该装载装置能够借助升降机构与移动轴、限位板、两根限位导轨和底板之间的相互配合实现晶圆片台的上下移动和水平移动，从而方便晶圆片样品的取放，辅助实现晶圆片样品装载，并且使交互空间有限的手动装载过程安全、稳定。
-
公开(公告)号：CN104697637A
公开(公告)日：2015-06-10
申请号：CN201310655561.0
申请日：2013-12-06
Applicant: 北京智朗芯光科技有限公司
IPC: G01J5/00
Abstract: 本发明公开了一种薄膜生长的实时测温方法，属于半导体制造技术领域。该方法包括获得双波长测温结构的薄膜生长反应腔的校准系数；测量实际热辐射功率，将校准系数和实际热辐射功率代入公式，计算得到薄膜生长反应腔内薄膜的温度。该方法由于双波长测温结构所依附的薄膜生长反应腔经过校准，计算得到的薄膜的温度值更接近真值。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104697636A
公开(公告)日：2015-06-10
申请号：CN201310654540.7
申请日：2013-12-06
Applicant: 北京智朗芯光科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种薄膜生长反应腔室设备实时测温系统自校准装置，属于半导体制造技术领域。该装置包括实际热辐射比值获取单元和校准系数计算单元，实际热辐射比值获取单元用于获取实际热辐射比值；校准系数计算单元根据实际热辐射比值，在理论热辐射比值-温度曲线上与实际热辐射比值对应的点，并将该点对应的温度T的值代入公式，分别得到校准系数m1和m2。该装置能够得到双波长测温结构中第一种波长λ1和第二种波长λ2分别对应的校准系数m1和m2，从而实现了薄膜生长反应腔室设备实时测温系统自校准，能够保证外延片生长温度测量一致而又精确。
-
公开(公告)号：CN104134621A
公开(公告)日：2014-11-05
申请号：CN201310158775.7
申请日：2013-05-02
Applicant: 北京智朗芯光科技有限公司 , 中国科学院微电子研究所
IPC: H01L21/67 , H01L21/677
Abstract: 本发明公开了一种晶圆片辅助装载装置，属于样品装载与卸载的装置技术领域。该装载装置包括升降机构、晶圆片台、至少两个移动轴、限位板、两根限位导轨和底板。该装载装置能够借助升降机构与移动轴、限位板、两根限位导轨和底板之间的相互配合实现晶圆片台的上下移动和水平移动，从而方便晶圆片样品的取放，辅助实现晶圆片样品装载，并且使交互空间有限的手动装载过程安全、稳定。
-
公开(公告)号：CN104697974A
公开(公告)日：2015-06-10
申请号：CN201310651513.4
申请日：2013-12-04
Applicant: 北京智朗芯光科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种在线实时检测外延片生长的装置，属于半导体材料制造设备技术领域。该装置MOCVD反应室、光学组件、拉曼散射光谱产生系统、拉曼散射光谱接收系统、数据分析系统、光电开关、触发信号电路和操作电路。该装置结构简单、参数易协调一致且实时检测数据量明显降低。
-
公开(公告)号：CN104697972A
公开(公告)日：2015-06-10
申请号：CN201310646667.4
申请日：2013-12-04
Applicant: 北京智朗芯光科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种在线实时检测外延片生长的方法，属于半导体材料制造设备技术领域。该方法根据各外延片对应的实时拉曼散射光谱数据，实时分析各外延片带隙、微结构、组分信息，并实时反馈各外延片的波长偏差，从而在线实时检测各外延片的生长信息。该方法参数易协调一致且实时检测数据量明显降低，应用本发明提供的在线实时检测外延片生长的方法能够减小外延片质量差及报废带来的损失。
-
公开(公告)号：CN104567663A
公开(公告)日：2015-04-29
申请号：CN201310498667.4
申请日：2013-10-22
Applicant: 北京智朗芯光科技有限公司
IPC: G01B11/00
Abstract: 本发明公开了一种三维移动装置，属于光学测量技术领域。该装置包括底座、固定连接件、X方向移动平台、Y方向移动平台、限位板、升降机构和承载机构。该装置的升降机构受限于由固定连接件的第一通孔、X方向移动平台的第二通孔、Y方向移动平台的第三通孔和限位板的第四通孔形成的容置空间，操作X方向移动平台能够使该升降机构沿X方向移动，操作Y方向移动平台能够是该升降机构沿Y方向移动，该升降机构本身能够沿Z方向移动，因此，固定连接于该升降机构的承载机构能够分别沿XYZ三个方向移动到精确的测量位置。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
27
records
(took 0.058 seconds)
