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公开(公告)号:CN113284970A
公开(公告)日:2021-08-20
申请号:CN202110505645.0
申请日:2021-05-10
IPC: H01L31/101 , H01L31/028 , H01L31/0288 , H01L31/0352 , H01L31/18
Abstract: 本发明提出一种碳纳米管超宽带光电探测器及其制备方法,利用碳纳米管薄膜与功函数不同的两种金属复合,分别对碳纳米管实现p掺杂和n掺杂。碳纳米管薄膜可以实现从紫外到太赫兹波段的超宽带光吸收;悬空结构可以减小热耗散;金属的附着可以减缓热传导,提高薄膜温度;掺杂区域的存在又可以有效地将热能转化成光电压。最终可以实现从紫外光到太赫兹波段的高性能、自供电的超宽带快速光电探测。
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公开(公告)号:CN113284970B
公开(公告)日:2022-10-14
申请号:CN202110505645.0
申请日:2021-05-10
IPC: H01L31/101 , H01L31/028 , H01L31/0288 , H01L31/0352 , H01L31/18
Abstract: 本发明提出一种碳纳米管超宽带光电探测器及其制备方法,利用碳纳米管薄膜与功函数不同的两种金属复合,分别对碳纳米管实现p掺杂和n掺杂。碳纳米管薄膜可以实现从紫外到太赫兹波段的超宽带光吸收;悬空结构可以减小热耗散;金属的附着可以减缓热传导,提高薄膜温度;掺杂区域的存在又可以有效地将热能转化成光电压。最终可以实现从紫外光到太赫兹波段的高性能、自供电的超宽带快速光电探测。
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公开(公告)号:CN112928174B
公开(公告)日:2023-09-19
申请号:CN202110190212.0
申请日:2021-02-18
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: H01L31/0352 , H01L31/032 , H01L31/09 , H01L31/18 , B82Y30/00
Abstract: 一种纳米材料修饰透光薄膜的光电探测器,能够显著提高光电探测器的性能,制备简单、成本低廉,在实际应用中具有广阔前景。包括:中空凹槽结构、透光薄膜、第一纳米材料层、第二纳米材料层、沉积电极;透光薄膜的上、下表面分别设置第一纳米材料层、第二纳米材料层,沉积电极在第二纳米材料层的下表面,然后将透光薄膜固定于中空凹槽结构上,从而使透光薄膜处于悬浮状态;入射光线依次经过第一纳米材料层、透光薄膜、第二纳米材料层、沉积电极。还提供了制备方法。
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公开(公告)号:CN112928174A
公开(公告)日:2021-06-08
申请号:CN202110190212.0
申请日:2021-02-18
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: H01L31/0352 , H01L31/032 , H01L31/09 , H01L31/18 , B82Y30/00
Abstract: 一种纳米材料修饰透光薄膜的光电探测器,能够显著提高光电探测器的性能,制备简单、成本低廉,在实际应用中具有广阔前景。包括:中空凹槽结构、透光薄膜、第一纳米材料层、第二纳米材料层、沉积电极;透光薄膜的上、下表面分别设置第一纳米材料层、第二纳米材料层,沉积电极在第二纳米材料层的下表面,然后将透光薄膜固定于中空凹槽结构上,从而使透光薄膜处于悬浮状态;入射光线依次经过第一纳米材料层、透光薄膜、第二纳米材料层、沉积电极。还提供了制备方法。
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