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公开(公告)号：CN114923957A
公开(公告)日：2022-08-19
申请号：CN202210396980.6
申请日：2022-04-15
Applicant: 北京信息科技大学
Inventor： 曹阳 , 祝俊怡 , 陈浩 , 范波
IPC: G01N27/04
Abstract: 公开一种基于氧化石墨烯的湿度传感器，结构简单，响应时间更短，灵敏度更高。其包括：绝缘基底(1)、金电极(2)、氧化石墨烯薄膜(3)；绝缘基底是平整的，两个平行的金电极真空热蒸镀在绝缘基底上，这三者形成一个绝缘凹槽，在绝缘凹槽的上方设置氧化石墨烯薄膜。还提供了制备方法。
