公开(公告)号：CN112928174B

公开(公告)日：2023-09-19

申请号：CN202110190212.0

申请日：2021-02-18

Applicant: 北京信息科技大学

Inventor： 曹阳 ,  王晨凤 ,  陈浩

IPC: H01L31/0352 ,  H01L31/032 ,  H01L31/09 ,  H01L31/18 ,  B82Y30/00

Abstract: 一种纳米材料修饰透光薄膜的光电探测器，能够显著提高光电探测器的性能，制备简单、成本低廉，在实际应用中具有广阔前景。包括：中空凹槽结构、透光薄膜、第一纳米材料层、第二纳米材料层、沉积电极；透光薄膜的上、下表面分别设置第一纳米材料层、第二纳米材料层，沉积电极在第二纳米材料层的下表面，然后将透光薄膜固定于中空凹槽结构上，从而使透光薄膜处于悬浮状态；入射光线依次经过第一纳米材料层、透光薄膜、第二纳米材料层、沉积电极。还提供了制备方法。

公开(公告)号：CN112928174A

公开(公告)日：2021-06-08

申请号：CN202110190212.0

申请日：2021-02-18

Applicant: 北京信息科技大学

Inventor： 曹阳 ,  王晨凤 ,  陈浩

IPC: H01L31/0352 ,  H01L31/032 ,  H01L31/09 ,  H01L31/18 ,  B82Y30/00

Abstract: 一种纳米材料修饰透光薄膜的光电探测器，能够显著提高光电探测器的性能，制备简单、成本低廉，在实际应用中具有广阔前景。包括：中空凹槽结构、透光薄膜、第一纳米材料层、第二纳米材料层、沉积电极；透光薄膜的上、下表面分别设置第一纳米材料层、第二纳米材料层，沉积电极在第二纳米材料层的下表面，然后将透光薄膜固定于中空凹槽结构上，从而使透光薄膜处于悬浮状态；入射光线依次经过第一纳米材料层、透光薄膜、第二纳米材料层、沉积电极。还提供了制备方法。