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公开(公告)号：CN106744866B
公开(公告)日：2021-01-01
申请号：CN201611162591.8
申请日：2013-02-22
申请人： 加州理工学院
发明人： 大卫·A·博伊德
IPC分类号： C01B32/186 , C23C16/26 , C23C16/02 , C23C16/52
摘要： 本申请涉及用于石墨烯形成的方法和系统。一种用于石墨烯形成的方法包括提供基底并使所述基底经受减压环境。所述方法还包括提供载气和碳源并且使所述基底的至少一部分暴露于所述载气和所述碳源。所述方法还包括在所述基底的所述至少一部分上进行表面处理工艺并且使所述碳源的一部分转变成布置在所述基底的所述至少一部分上的石墨烯。
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公开(公告)号：CN107419236A
公开(公告)日：2017-12-01
申请号：CN201710654905.4
申请日：2014-01-10
申请人： 加州理工学院
IPC分类号： C23C16/26 , C23C16/44 , C23C16/511 , H01L29/92
CPC分类号： C23C16/26 , C01B32/184 , C01B32/186 , C23C16/4405 , C23C16/511 , Y10T428/24355 , H01L29/92
摘要： 本申请涉及用于石墨烯形成的方法和系统。一种形成石墨烯的方法包括将基底放置在处理室中并且将包括氢气和氮气的清洁气体引入到处理室中。该方法还包括将碳源引入到处理室中并且在处理室中引发微波等离子体。该方法还包括使基底经受清洁气体和碳源的流动持续预定的时间段以形成石墨烯。
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公开(公告)号：CN107419236B
公开(公告)日：2019-07-12
申请号：CN201710654905.4
申请日：2014-01-10
申请人： 加州理工学院
IPC分类号： C23C16/26 , C23C16/44 , C23C16/511 , H01L29/92
CPC分类号： C23C16/26 , C01B32/184 , C01B32/186 , C23C16/4405 , C23C16/511 , Y10T428/24355
摘要： 本申请涉及用于石墨烯形成的方法和系统。一种形成石墨烯的方法包括将基底放置在处理室中并且将包括氢气和氮气的清洁气体引入到处理室中。该方法还包括将碳源引入到处理室中并且在处理室中引发微波等离子体。该方法还包括使基底经受清洁气体和碳源的流动持续预定的时间段以形成石墨烯。
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公开(公告)号：CN104919077A
公开(公告)日：2015-09-16
申请号：CN201480004713.3
申请日：2014-01-10
申请人： 加州理工学院
IPC分类号： C23C14/02
CPC分类号： C23C16/26 , C01B32/184 , C01B32/186 , C23C16/4405 , C23C16/511 , Y10T428/24355
摘要： 一种形成石墨烯的方法包括将基底放置在处理室中并且将包括氢气和氮气的清洁气体引入到处理室中。该方法还包括将碳源引入到处理室中并且在处理室中引发微波等离子体。该方法还包括使基底经受清洁气体和碳源的流动持续预定的时间段以形成石墨烯。
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公开(公告)号：CN104136368A
公开(公告)日：2014-11-05
申请号：CN201380010837.8
申请日：2013-02-22
申请人： 加州理工学院
发明人： 大卫·A·博伊德
CPC分类号： C01B31/0453 , B01J19/088 , B01J19/22 , B01J2219/0879 , B01J2219/0894 , B82Y30/00 , B82Y40/00 , C01B32/186 , C23C16/0245 , C23C16/26 , C23C16/52 , C23C16/545 , H01J37/32082 , H01J37/32449 , H01J37/32522 , H01J37/32816 , H01J2237/335 , H01L21/02046 , H01L21/02425 , H01L21/02527 , H01L21/0262 , H01L21/02661 , H01L29/1606 , H01L29/32
摘要： 一种用于石墨烯形成的方法包括提供基底并使所述基底经受减压环境。所述方法还包括提供载气和碳源并且使所述基底的至少一部分暴露于所述载气和所述碳源。所述方法还包括在所述基底的所述至少一部分上进行表面处理工艺并且使所述碳源的一部分转变成布置在所述基底的所述至少一部分上的石墨烯。
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公开(公告)号：CN104919077B
公开(公告)日：2017-08-29
申请号：CN201480004713.3
申请日：2014-01-10
申请人： 加州理工学院
IPC分类号： C23C14/02
CPC分类号： C23C16/26 , C01B32/184 , C01B32/186 , C23C16/4405 , C23C16/511 , Y10T428/24355
摘要： 一种形成石墨烯的方法包括将基底放置在处理室中并且将包括氢气和氮气的清洁气体引入到处理室中。该方法还包括将碳源引入到处理室中并且在处理室中引发微波等离子体。该方法还包括使基底经受清洁气体和碳源的流动持续预定的时间段以形成石墨烯。
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公开(公告)号：CN106744866A
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201611162591.8
申请日：2013-02-22
申请人： 加州理工学院
发明人： 大卫·A·博伊德
IPC分类号： C01B32/186 , C23C16/26 , C23C16/02 , C23C16/52
摘要： 本申请涉及用于石墨烯形成的方法和系统。一种用于石墨烯形成的方法包括提供基底并使所述基底经受减压环境。所述方法还包括提供载气和碳源并且使所述基底的至少一部分暴露于所述载气和所述碳源。所述方法还包括在所述基底的所述至少一部分上进行表面处理工艺并且使所述碳源的一部分转变成布置在所述基底的所述至少一部分上的石墨烯。
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公开(公告)号：CN104136368B
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201380010837.8
申请日：2013-02-22
申请人： 加州理工学院
发明人： 大卫·A·博伊德
CPC分类号： C01B31/0453 , B01J19/088 , B01J19/22 , B01J2219/0879 , B01J2219/0894 , B82Y30/00 , B82Y40/00 , C01B32/186 , C23C16/0245 , C23C16/26 , C23C16/52 , C23C16/545 , H01J37/32082 , H01J37/32449 , H01J37/32522 , H01J37/32816 , H01J2237/335 , H01L21/02046 , H01L21/02425 , H01L21/02527 , H01L21/0262 , H01L21/02661 , H01L29/1606 , H01L29/32
摘要： 一种用于石墨烯形成的方法包括提供基底并使所述基底经受减压环境。所述方法还包括提供载气和碳源并且使所述基底的至少一部分暴露于所述载气和所述碳源。所述方法还包括在所述基底的所述至少一部分上进行表面处理工艺并且使所述碳源的一部分转变成布置在所述基底的所述至少一部分上的石墨烯。
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公开(公告)号：CN1894438A
公开(公告)日：2007-01-10
申请号：CN200480037309.2
申请日：2004-12-14
申请人： 加州理工学院
CPC分类号： B01J19/0046 , B01J2219/00495 , B01J2219/00527 , B01J2219/00747 , B82Y30/00 , C23C16/483
摘要： 用化学气相沉积形成材料膜的方法。所述方法包括提供包含至少一种金属纳米结构图案的衬底，所述金属纳米结构由选定材料制成。所述方法包括确定所述纳米结构的所述选定材料的等离子体振子共振频率，以及用具有预定频率的电磁源在所述等离子体振子共振频率下激发部分所述选定材料以使所述选定材料的热能增加。所述方法包括在包含在所述等离子体振子共振频率下激发的所述选定材料的所述衬底上面施加一种或更多种化学前体，以及在至少所述选定材料的所述部分上面选择性沉积膜。
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