用化学气相沉积形成材料膜的方法。所述方法包括提供包含至少一种金属纳米结构图案的衬底，所述金属纳米结构由选定材料制成。所述方法包括确定所述纳米结构的所述选定材料的等离子体振子共振频率，以及用具有预定频率的电磁源在所述等离子体振子共振频率下激发部分所述选定材料以使所述选定材料的热能增加。所述方法包括在包含在所述等离子体振子共振频率下激发的所述选定材料的所述衬底上面施加一种或更多种化学前体，以及在至少所述选定材料的所述部分上面选择性沉积膜。