固态成像器件及其制造方法

    公开(公告)号:CN108352390B

    公开(公告)日:2023-01-13

    申请号:CN201680065440.2

    申请日:2016-11-14

    Abstract: 本发明提供一种可以较低成本地形成固态成像器件的固态成像器件及固态成像器件的制造方法。本实施方式的固态成像器件(1a)具备:基板(2);多个微透镜(6),其形成于基板(2)的一个面上;凹透镜(7),其形成于多个微透镜(6)中相邻的微透镜(6)彼此的边界部、并且向基板(2)的一个面凹陷,该固态成像器件(1a)的制造方法具备透镜形成步骤,其中,通过使用灰调掩模(50)的光刻法一并形成微透镜(6)及凹透镜(7)。

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